Relay lens used in an illumination system of a lithography system
Номер патента: US20040008408A1
Опубликовано: 15-01-2004
Автор(ы): Lev Ryzhikov, Stanislav Smirnov
Принадлежит: Asml Holding Nv
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-01-2004
Автор(ы): Lev Ryzhikov, Stanislav Smirnov
Принадлежит: Asml Holding Nv
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Chromatically corrected imaging illumination optical unit for use in a lithographic projection exposure apparatus
Номер патента: WO2024156598A1. Автор: Alexander Epple,Stig Bieling,Markus Schwab,Henning Mehnert. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-08-02.