Method for generating a mathematical model for positioning individual mirrors of a facet mirror in an optical system
Номер патента: US20220066196A1
Опубликовано: 03-03-2022
Автор(ы): Markus Holz, Norman Kretzschmar, Ulrich Mueller
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-03-2022
Автор(ы): Markus Holz, Norman Kretzschmar, Ulrich Mueller
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Immersion objective optical system, exposure apparatus, device fabrication method, and boundary optical element
Номер патента: WO2008047587A3. Автор: Hironori Ikezawa,Yasuhiro Omura. Владелец: Nippon Kogaku KK. Дата публикации: 2008-07-17.