Cascade Method and Apparatus for Generating Increased Duality Modulation of Electromagnetic Radiation
Номер патента: US20140300968A1
Опубликовано: 09-10-2014
Автор(ы): Daniel Joseph Mirell, Stuart Gary Mirell
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-10-2014
Автор(ы): Daniel Joseph Mirell, Stuart Gary Mirell
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Illuminating method and illuminating apparatus for carrying out the same, and projection exposure method and projection exposure apparatus for carrying out the same
Номер патента: US5016149A. Автор: Minoru Tanaka,Yoshitada Oshida,Tetsuzo Tanimoto,Yasuhiro Yoshitake. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1991-05-14.