Tray and substrate fixing device
Номер патента: US20240158916A1
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Kazuya Takada, Norio Shiraiwa
Принадлежит: Shinko Electric Industries Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Kazuya Takada, Norio Shiraiwa
Принадлежит: Shinko Electric Industries Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of fixing substrate using electrostatic chuck and substrate processing apparatus including the same
Номер патента: US20170098567A1. Автор: Chang-Oh Jeong,Su-Kyoung YANG,Gyung-Min Baek,Yoon-Yong Park. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-06.