Semiconductor device or thin-film transistor manufacturing apparatus and manufacturing method
Номер патента: US6103557A
Опубликовано: 15-08-2000
Автор(ы): Shiro Nakanishi
Принадлежит: Sanyo Electric Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-08-2000
Автор(ы): Shiro Nakanishi
Принадлежит: Sanyo Electric Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin film transistor, manufacturing process for thin film transistor, and laser annealing apparatus
Номер патента: US20190140103A1. Автор: Makoto Hatanaka,Michinobu Mizumura,Tetsuya Kiguchi. Владелец: V Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-09.