Shaped apertures in an ion implanter
Номер патента: WO2008053139A2
Опубликовано: 08-05-2008
Автор(ы): Geoffrey Ryding, Marvin Farley, Stephen Hays, Takao Sakase
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-05-2008
Автор(ы): Geoffrey Ryding, Marvin Farley, Stephen Hays, Takao Sakase
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Shaped apertures in an ion implanter
Номер патента: WO2008053139A3. Автор: Marvin Farley,Takao Sakase,Geoffrey Ryding,Stephen Hays. Владелец: Stephen Hays. Дата публикации: 2008-10-02.