Chalcogenide-CNT Hybrid Thin Film and Method for Preparing the Same
Номер патента: KR101190917B1
Опубликовано: 12-10-2012
Автор(ы): 선종백, 신현진, 정현담
Принадлежит: 삼성코닝정밀소재 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-10-2012
Автор(ы): 선종백, 신현진, 정현담
Принадлежит: 삼성코닝정밀소재 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for fabricating trihalodisilane and method for fabricating semiconductor device using the same
Номер патента: US20230264963A1. Автор: Min Soo Kang,Byung Keun Hwang,Woo Ri Bae,Byeong Ok Cho,Sun Hye Hwang,Sheby Mary George,Ji Eun Yun,Seong Tae OH. Владелец: WONIK MATERIALS CO Ltd. Дата публикации: 2023-08-24.