Method for producing a reflective optical element of a projection exposure system and reflective optical element for a projection exposure system, projection objective and projection exposure system
Номер патента: DE102018211596A1
Опубликовано: 16-01-2020
Автор(ы): Christoph Petri, Matthias Käs, Matthias Manger, Pavel Alexeev, Steffen Bezold, Walter Pauls
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-01-2020
Автор(ы): Christoph Petri, Matthias Käs, Matthias Manger, Pavel Alexeev, Steffen Bezold, Walter Pauls
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reflective optical element, illumination optical unit, projection exposure apparatus, and method for producing a protective layer
Номер патента: US20230205090A1. Автор: Sandro Hoffmann,Valentin Jonatan Bolsinger,Sandra Haschke. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-06-29.