Preparatory photoresist discharging device for substrate coater apparatus and substrate coating method using same
Номер патента: KR101154184B1
Опубликовано: 18-06-2012
Автор(ы): 이경일
Принадлежит: 주식회사 케이씨텍
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-06-2012
Автор(ы): 이경일
Принадлежит: 주식회사 케이씨텍
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Etching apparatus for use in manufacture of flat panel display device and manufacturing method using the same
Номер патента: US20070151950A1. Автор: Chun Il Kim. Владелец: LG Philips LCD Co Ltd. Дата публикации: 2007-07-05.