Pressure measuring instrument and substrate processing apparatus including the pressure measuring instrument
Номер патента: JP5993312B2
Опубликовано: 14-09-2016
Автор(ы): 悟 小池
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-09-2016
Автор(ы): 悟 小池
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pressure measuring apparatus
Номер патента: RU2330252C2. Автор: Томас ФЕССЕЛЕ,Ханс-Мартин ХОХЕНБЕРГЕР,Винфрид КУНТ,Томас ФЕССЕЛЕ (DE),Ханс-Мартин ХОХЕНБЕРГЕР (DE),Винфрид КУНТ (DE). Владелец: Роберт Бош Гмбх. Дата публикации: 2008-07-27.