Semiconductor wafer storage system and method of supplying fluid for semiconductor wafer storage
Номер патента: US20200176293A1
Опубликовано: 04-06-2020
Автор(ы): Chul-jun Park, Gi-nam PARK, Jongsam KIM, Junyong Lee, Kyubum CHO, Sangkyung Lee, Taijo JEON, Yong-Jun Ahn
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-06-2020
Автор(ы): Chul-jun Park, Gi-nam PARK, Jongsam KIM, Junyong Lee, Kyubum CHO, Sangkyung Lee, Taijo JEON, Yong-Jun Ahn
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer storage and transport system and method of operation of wafer storage and transport system
Номер патента: US20240006215A1. Автор: Ji Hun Kim,Hyuk Kwon,Sung-Hoon Lee,Sang Hyuk Park,Young-Kyu Kim,Youn Gon Oh,Jeong Kwan Jung. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-01-04.