Staircase structure in three-dimensional memory device and method for forming the same
Номер патента: EP3953969B1
Опубликовано: 29-05-2024
Автор(ы): Di Wang, Wenxi Zhou, Zhiliang Xia, Zhong Zhang
Принадлежит: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-05-2024
Автор(ы): Di Wang, Wenxi Zhou, Zhiliang Xia, Zhong Zhang
Принадлежит: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Staircase structure in three-dimensional memory device and method for forming the same
Номер патента: EP4401116A3. Автор: Zhiliang Xia,Di Wang,Zhong Zhang,Wenxi Zhou. Владелец: Yangtze Memory Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-04.