Three-dimensional memory device and method of making thereof including expanded support openings and double spacer word line contact formation
Номер патента: US20240250023A1
Опубликовано: 25-07-2024
Автор(ы): Jixin Yu, Johann Alsmeier, Koichi Matsuno, Ruogu Matthew ZHU, Seyyed Ehsan Esfahani Rashidi
Принадлежит: SanDisk Technologies LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-07-2024
Автор(ы): Jixin Yu, Johann Alsmeier, Koichi Matsuno, Ruogu Matthew ZHU, Seyyed Ehsan Esfahani Rashidi
Принадлежит: SanDisk Technologies LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Three-dimensional memory device including laterally separated source lines and method of making the same
Номер патента: US20240127864A1. Автор: James Kai,Johann Alsmeier,Masaaki Higashitani. Владелец: SanDisk Technologies LLC. Дата публикации: 2024-04-18.