Plasma tuning rods in microwave resonator plasma sources
Номер патента: TWI563534B
Опубликовано: 21-12-2016
Автор(ы): Jianping Zhao, Lee Chen, Merritt Funk, Peter L G Ventzek, Toshihiko Iwao
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Опубликовано: 21-12-2016
Автор(ы): Jianping Zhao, Lee Chen, Merritt Funk, Peter L G Ventzek, Toshihiko Iwao
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Hybrid plasma source and operation method thereof
Номер патента: US11895765B2. Автор: Chwung-Shan Kou. Владелец: Finesse Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-06.