Laser apparatus, extreme ultraviolet light generation system including the laser apparatus, and method for controlling the laser apparatus
Номер патента: WO2012114172A1
Опубликовано: 30-08-2012
Автор(ы): Kenichi Miyao, Motoki Niwano, Osamu Wakabayashi
Принадлежит: Gigaphoton Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-08-2012
Автор(ы): Kenichi Miyao, Motoki Niwano, Osamu Wakabayashi
Принадлежит: Gigaphoton Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Laser gas regenerating apparatus and electronic device manufacturing method
Номер патента: US20200403371A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Osamu Wakabayashi,Takeshi Asayama,Hiroaki Tsushima,Yousuke FUJIMAKI. Владелец: GIGAPHOTON INC. Дата публикации: 2020-12-24.