Method and apparatus for minimizing propagation losses in wavelength selective filters
Номер патента: TW200921168A
Опубликовано: 16-05-2009
Автор(ы): Yurii A Vlasov
Принадлежит: Ibm
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2009
Автор(ы): Yurii A Vlasov
Принадлежит: Ibm
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Illuminating method and illuminating apparatus for carrying out the same, and projection exposure method and projection exposure apparatus for carrying out the same
Номер патента: US5016149A. Автор: Minoru Tanaka,Yoshitada Oshida,Tetsuzo Tanimoto,Yasuhiro Yoshitake. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1991-05-14.