Mask blank and method of manufacturing an imprinting mold
Номер патента: US20130105441A1
Опубликовано: 02-05-2013
Автор(ы): Masahiro Hashimoto, Osamu Nozawa
Принадлежит: Hoya Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-05-2013
Автор(ы): Masahiro Hashimoto, Osamu Nozawa
Принадлежит: Hoya Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Mask blank and method of manufacturing an imprinting mold
Номер патента: US8883022B2. Автор: Masahiro Hashimoto,Osamu Nozawa. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2014-11-11.