Composition for forming organic film, patterning process, and compound
Номер патента: US20230280655A1
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): Daisuke Kori, Shohei Iwamori
Принадлежит: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): Daisuke Kori, Shohei Iwamori
Принадлежит: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Composition for forming organic film, patterning process, and compound
Номер патента: EP4239408A1. Автор: Daisuke Kori,Shohei Iwamori. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-06.