Method for configuring gas supply for electronics fabrication facilities
Номер патента: US20100249972A1
Опубликовано: 30-09-2010
Автор(ы): Jeremy Michael Cabral, Shrikar Chakravarti
Принадлежит: Praxair Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-09-2010
Автор(ы): Jeremy Michael Cabral, Shrikar Chakravarti
Принадлежит: Praxair Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for dimensioning gas supply for electronics fabrication facilities
Номер патента: WO2010117553A1. Автор: Shrikar Chakravarti,Jeremy Michael Cabral. Владелец: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2010-10-14.