CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION, PHOTO-CURABLE DRY FILM, MAKING METHOD, PATTERN FORMING PROCESS, AND ELECTRIC/ELECTRONIC PART PROTECTING FILM
Номер патента: US20130149645A1
Опубликовано: 13-06-2013
Автор(ы): Miyazaki Takashi, Takemura Katsuya, Urano Hiroyuki
Принадлежит: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-06-2013
Автор(ы): Miyazaki Takashi, Takemura Katsuya, Urano Hiroyuki
Принадлежит: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION, PHOTO-CURABLE DRY FILM, MAKING METHOD, PATTERNING PROCESS, AND ELECTRIC/ELECTRONIC PART-PROTECTING FILM
Номер патента: US20160097974A1. Автор: Takemura Katsuya,SOGA Kyoko,ASAI Satoshi. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2016-04-07.