Multiple-pattern forming methods
Номер патента: US09753370B2
Опубликовано: 05-09-2017
Автор(ы): Chang-Young Hong, Cheng-Bai Xu, Choong-Bong LEE, Cong Liu, James C. Taylor, Jung Woo Kim, Lori Anne Joesten, Phillip D. Hustad, Shintaro Yamada
Принадлежит: Dow Global Technologies LLC, Rohm and Haas Electronic Materials Korea Ltd, Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-09-2017
Автор(ы): Chang-Young Hong, Cheng-Bai Xu, Choong-Bong LEE, Cong Liu, James C. Taylor, Jung Woo Kim, Lori Anne Joesten, Phillip D. Hustad, Shintaro Yamada
Принадлежит: Dow Global Technologies LLC, Rohm and Haas Electronic Materials Korea Ltd, Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
MULTIPLE-PATTERN FORMING METHODS
Номер патента: US20160062232A1. Автор: Kim Jung Woo,LIU Cong,Hustad Phillip D.,Yamada Shintaro,Xu Cheng-bai,Lee Choong-Bong,Hong Chang-Young,Taylor James C.,Joesten Lori Anne. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-03.