Precursors suitable for high temperature atomic layer deposition of silicon-containing films
Номер патента: US09957165B2
Опубликовано: 01-05-2018
Автор(ы): Mark Saly
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-05-2018
Автор(ы): Mark Saly
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Precursors Suitable For High Temperature Atomic Layer Deposition Of Silicon-Containing Films
Номер патента: US20180057362A1. Автор: Mark Saly. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-01.