• Главная
  • Precursors suitable for high temperature atomic layer deposition of silicon-containing films

Precursors suitable for high temperature atomic layer deposition of silicon-containing films

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Precursors Suitable For High Temperature Atomic Layer Deposition Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20180057362A1. Автор: Mark Saly. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-01.

Precursors Suitable For High Temperature Atomic Layer Deposition Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20180057362A1. Автор: Saly Mark. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-01.

Precursors Suitable For High Temperature Atomic Layer Deposition Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20160099146A1. Автор: Mark Saly. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-04-07.

Precursors Suitable For High Temperature Atomic Layer Deposition Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20160099146A1. Автор: Saly Mark. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Methods For Making Silicon Containing Films That Have High Carbon Content

Номер патента: US20220145453A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Moo-Sung Kim. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2022-05-12.

Methods for making silicon containing films that have high carbon content

Номер патента: SG10201907962WA. Автор: Lei Xinjian,Chandra Haripin,Kim Moo-Sung. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-03-30.

Methods for making silicon containing films that have high carbon content

Номер патента: EP3620550B1. Автор: Chandra Haripin,XINJIAN LEI,Moo-Sung Kim. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-05-01.

Precursors for high-temperature deposition of silicon-containing films

Номер патента: WO2021158633A2. Автор: Adrien Lavoie,Douglas Walter Agnew. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-08-12.

Method for forming silicon-containing film, and silicon-containing film formed thereby

Номер патента: US20240318305A1. Автор: Jin Sik Kim,Byung Kwan KIM,Da Som YU. Владелец: UP Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Plasma enhanced deposition of silicon-containing films at low temperature

Номер патента: WO2022132524A1. Автор: Rui CHENG,Karthik Janakiraman,Aykut Aydin. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-06-23.

Functionalized cyclosilazanes as precursors for high growth rate silicon-containing films

Номер патента: US12057310B2. Автор: Manchao Xiao,Matthew R Macdonald. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-08-06.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: EP3802913A1. Автор: Madhukar B. Rao,Robert G. Ridgeway,Raymond N. Vrtis. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-04-14.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: WO2019241183A1. Автор: Madhukar B. Rao,Robert G. Ridgeway,Raymond N. Vrtis. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2019-12-19.

Silicon precursor compounds and method for forming silicon-containing films

Номер патента: WO2022226174A1. Автор: Bryan C. Hendrix,Soojin Lee,Sungsil CHO,Dahye Kim,HwanSoo KIM. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2022-10-27.

Silicon precursor compounds and method for forming silicon-containing films

Номер патента: EP4326921A1. Автор: Bryan C. Hendrix,Soojin Lee,Sungsil CHO,Dahye Kim,HwanSoo KIM. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-02-28.

Method and apparatus for depositing a silicon-containing film

Номер патента: US20160379868A1. Автор: Jun Sato,Masahiro Murata,Hiroyuki Kikuchi,Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-12-29.

Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film

Номер патента: US11821078B2. Автор: Eiichiro Shiba,Yoshinori Ota,Toshikazu Hamada,Takeru Kuwano. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-11-21.

Method for forming silicon-containing film and film forming apparatus

Номер патента: US20240087883A1. Автор: Nobuo Matsuki,Yoshinori Morisada,Daisuke Oba. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Compositions and methods using same for carbon doped silicon containing films

Номер патента: WO2023220650A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Steven Gerard Mayorga. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2023-11-16.

Deposition of amorphous silicon-containing films

Номер патента: WO2004017365A2. Автор: Michael A. Todd. Владелец: ASM AMERICA, INC.. Дата публикации: 2004-02-26.

COMPOSITIONS AND METHODS USING SAME FOR DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20170338109A1. Автор: Xiao Manchao,Lei Xinjian,Kim Moo-Sung,MacDonald Matthew R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-23.

High temperature atomic layer deposition of silicon-containing films

Номер патента: CN106992114B. Автор: 韩冰,雷新建,H·钱德拉,A·麦利卡尔珠南,王美良. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-02-19.

SELECTIVE INHIBITION IN ATOMIC LAYER DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20170117134A1. Автор: Leeser Karl F.,Henri Jon,Hausmann Dennis M.,van Schravendijk Bart J.,Tang Shane. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-27.

SELECTIVE INHIBITION IN ATOMIC LAYER DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20180138028A1. Автор: Leeser Karl F.,Henri Jon,Hausmann Dennis M.,van Schravendijk Bart J.,Tang Shane. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-17.

SELECTIVE INHIBITION IN ATOMIC LAYER DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20160148800A1. Автор: Leeser Karl F.,Henri Jon,Hausmann Dennis M.,van Schravendijk Bart J.,Tang Shane. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-26.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: IL261283B1. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2024-10-01.

Film deposition method of silicon-containing film

Номер патента: KR20160104562A. Автор: 준 사토,시게히로 미우라. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2016-09-05.

Substituted Silacyclopropane Precursors And Their Use For The Deposition Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20150162191A1. Автор: Thompson David,Saly Mark. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-11.

Substituted silacyclopropane precursors and their use for the deposition of silicon-containing films

Номер патента: WO2015088901A1. Автор: David Thompson,Mark Saly. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2015-06-18.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: WO2020257550A1. Автор: Raymond Nicholas Vrtis,Robert Gordon Ridgeway. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2020-12-24.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: IL305582A. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2023-10-01.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: IL260069B2. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2024-02-01.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: IL260069B1. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2023-10-01.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: EP3802913A4. Автор: Madhukar B. Rao,Robert G. Ridgeway,Raymond N. Vrtis. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2022-02-16.

Compositions and methods using same for non-conformal deposition of silicon-containing films

Номер патента: EP4013903A4. Автор: XINJIAN LEI,Tingmin Wang,Meiliang WANG. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2023-12-13.

Compositions and methods using same for deposition of silicon-containing film

Номер патента: SG11202011890XA. Автор: Robert G Ridgeway,Raymond N Vrtis,Madhukar B Rao. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-12-30.

Method for forming carbon rich silicon-containing films

Номер патента: US12037681B2. Автор: Thomas H. Baum,Bryan C. Hendrix,Sungsil CHO,Seobong CHANG,Jae Eon Park. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-07-16.

Forming method of silicon-containing thin film

Номер патента: KR20140059155A. Автор: 한원석,고원용. Владелец: 주식회사 유피케미칼. Дата публикации: 2014-05-15.

FUNCTIONALIZED CYCLOSILAZANES AS PRECURSORS FOR HIGH GROWTH RATE SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20220044929A1. Автор: Xiao Manchao,MacDonald Matthew R.. Владелец: VERSUM PATENTS US, LLC. Дата публикации: 2022-02-10.

Silyl Substituted Organoamines as Precursors for High Growth Rate Silicon-Containing Films

Номер патента: US20190088474A1. Автор: Xiao Manchao,MacDonald Matthew R.. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2019-03-21.

Functionalized Cyclosilazanes as Precursors For High Growth Rate Silicon-Containing Films

Номер патента: US20180342390A1. Автор: Manchao Xiao,Matthew R. Macdonald. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2018-11-29.

Functionalized cyclosilazanes as precursors for high growth rate silicon-containing films

Номер патента: WO2018217877A1. Автор: Manchao Xiao,Matthew R. Macdonald. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2018-11-29.

Atomic-layer-chemical-vapor-deposition of films that contain silicon dioxide

Номер патента: EP1248865A1. Автор: Suvi Haukka,Marko Tuominen,Eva Aro. Владелец: ASM Microchemistry Oy. Дата публикации: 2002-10-16.

Atomic-layer-chemical-vapor-deposition of films that contain silicon dioxide

Номер патента: EP1248865B1. Автор: Suvi Haukka,Marko Tuominen,Eva Aro. Владелец: ASM International NV. Дата публикации: 2016-10-05.

The deposition of flowable silicon-containing film

Номер патента: CN109477214A. Автор: D·汤普森,A·B·玛里克,M·萨利,P·曼纳,L·卡鲁塔拉格,T·阿肖克. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-15.

Method for forming silicon-containing film, and silicon-containing film formed thereby

Номер патента: WO2023003398A1. Автор: 김병관,김진식,유다솜. Владелец: 주식회사 유피케미칼. Дата публикации: 2023-01-26.

Atomic-layer-chemical-vapor-deposition of films that contain silicon dioxide

Номер патента: AU2374301A. Автор: Suvi Haukka,Marko Tuominen,Eva Aro. Владелец: ASM Microchemistry Oy. Дата публикации: 2001-06-12.

METHOD OF FORMING SILICON-CONTAINING FILM

Номер патента: US20190096664A1. Автор: TONEGAWA Yamato,WATANABE Tsubasa. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-28.

AMINO(IODO)SILANE PRECURSORS FOR ALD/CVD SILICON-CONTAINING FILM APPLICATIONS AND METHODS OF USING THE SAME

Номер патента: US20160115593A1. Автор: Kuchenbeiser Glenn,LEFEVRE Bastien. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-28.

METHOD OF FORMING SILICON-CONTAINING FILM

Номер патента: US20180144931A1. Автор: TONEGAWA Yamato,WATANABE Tsubasa. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-24.

METHOD FOR FORMING CARBON RICH SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20200354830A1. Автор: Hendrix Bryan C.,Baum Thomas H.,Chang Seobong,PARK Jae Eon,CHO Sungsil. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-12.

METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING A SILICON-CONTAINING FILM

Номер патента: US20160379868A1. Автор: Sato Jun,Miura Shigehiro,Kikuchi Hiroyuki,MURATA Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-29.

METHOD FOR FORMING CARBON RICH SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20220364225A1. Автор: Hendrix Bryan C.,Baum Thomas H.,Chang Seobong,PARK Jae Eon,CHO Sungsil. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-17.

Precursors for depositing silicon containing films and processes thereof

Номер патента: US20040146644A1. Автор: Manchao Xiao,Arthur Hochberg,Kirk Cuthill. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2004-07-29.

Precursors for depositing silicon containing films

Номер патента: US20070004931A1. Автор: Manchao Xiao,Arthur Hochberg,Kirk Cuthill. Владелец: Cuthill Kirk S. Дата публикации: 2007-01-04.

Precursors for depositing silicon containing films

Номер патента: US7288145B2. Автор: Manchao Xiao,Arthur Kenneth Hochberg,Kirk Scott Cuthill. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2007-10-30.

Method for forming carbon rich silicon-containing films

Номер патента: WO2020227505A1. Автор: Thomas H. Baum,Bryan C. Hendrix,Sungsil CHO,Seobong CHANG,Jae Eon Park. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2020-11-12.

Method for forming silicon-containing film

Номер патента: JP6456185B2. Автор: 佐藤 潤,潤 佐藤,繁博 三浦. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-01-23.

Compositions and methods for depositing silicon-containing films using the same

Номер патента: CN113025992A. Автор: M·R·麦克唐纳,萧满超,雷新建,金武性. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-06-25.

Compositions and methods using same for carbon doped silicon containing films

Номер патента: IL291934B2. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2024-01-01.

Deposition and etch of silicon-containing layer

Номер патента: WO2024006211A1. Автор: Bo Gong,Ching-Yun Chang,Nuoya YANG,Andrew John McKerrow,Yuxi Wang. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-01-04.

Silicon-containing film, resin composition, and pattern formation method

Номер патента: US8791020B2. Автор: Yoshikazu Yamaguchi,Masato Tanaka,Yukio Nishimura,Takashi Mori. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2014-07-29.

Deposition of silicon-containing films from hexachlorodisilane

Номер патента: CN101094732A. Автор: 安东尼·迪朴,艾伦·约翰·利思,吴昇昊. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-12-26.

Inhibitors for selective deposition of silicon containing films

Номер патента: US20090111246A1. Автор: Matthias BAUER,Pierre Tomasini. Владелец: ASM America Inc. Дата публикации: 2009-04-30.

Deposition of silicon-containing films from hexachlorodisilane

Номер патента: WO2005036593A3. Автор: Anthony Dip,Seungho Oh,Allen John Leith. Владелец: Allen John Leith. Дата публикации: 2006-11-09.

High Temperature Silicon Oxide Atomic Layer Deposition Technology

Номер патента: US20180076023A1. Автор: Xia Li-Qun,LI NING,Nguyen Victor,Balseanu Mihaela,Trinh Cong,Saly Mark,Yan Wenbo. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

Metal organic precursor for deposition of silicon containing thin film

Номер патента: KR101308572B1. Автор: 김호섭,최정현,염호영. Владелец: 주식회사 유엠티. Дата публикации: 2013-09-13.

Method of manufacturing silicon-containing film and method of manufacturing photovoltaic device

Номер патента: US20140342489A1. Автор: Yoshiyuki Nasuno,Atsushi Tomyo. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2014-11-20.

Silicon precursor and method for manufacturing silicon-containing film using the same

Номер патента: CN111511752A. Автор: 昔壮衒,朴正佑,安宰奭,朴钟律,任民赫. Владелец: Hansong Chemical Co ltd. Дата публикации: 2020-08-07.

Methods of selectively depositing silicon-containing films

Номер патента: US20090117717A1. Автор: Pierre Tomasini,Nyles Cody. Владелец: ASM America Inc. Дата публикации: 2009-05-07.

Atomic layer deposition of protective coatings for semiconductor process chamber components

Номер патента: US12104246B2. Автор: Jennifer Y. Sun,David Fenwick. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-01.

Selective deposition of silicon nitride

Номер патента: US20200266048A1. Автор: Han Wang,Thomas H. Baum,Bryan C. Hendrix,Eric CONDO. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2020-08-20.

Atomic layer deposition of silicon carbon nitride based materials

Номер патента: US09837263B2. Автор: Viljami Pore. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-12-05.

Atomic layer deposition of high k metal oxides

Номер патента: EP1535319A2. Автор: Sang-In Lee,Yoshihide Senzaki,Sang-Kyoo Lee. Владелец: Integrated Process Systems Ltd. Дата публикации: 2005-06-01.

Atomic layer deposition of high k metal oxides

Номер патента: EP1535319A4. Автор: Sang-In Lee,Yoshihide Senzaki,Sang-Kyoo Lee. Владелец: Integrated Process Systems Ltd. Дата публикации: 2008-05-28.

Atomic layer deposition equipment and process method

Номер патента: US20220119946A1. Автор: Jing-Cheng Lin,Ching-Liang Yi,Yun-Chi Hsu,Hsin-Yu Yao. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2022-04-21.

Atomic layer deposition equipment and process method

Номер патента: US20220178022A1. Автор: Jing-Cheng Lin,Ta-Hao Kuo. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2022-06-09.

Si precursors for deposition of SiN at low temperatures

Номер патента: US09824881B2. Автор: SHANG Chen,Viljami Pore,Antti J. Niskanen. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-11-21.

Ultrathin atomic layer deposition film accuracy thickness control

Номер патента: US20230298884A1. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie,Jun Qian,Purushottam Kumar,Seiji Matsuyama. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US20130178070A1. Автор: Ki-Hyun Kim,Ki-Vin Im,Hoon-Sang Choi,Moon-hyeong Han. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2013-07-11.

Atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US20190019657A1. Автор: Keisuke Washio,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2019-01-17.

Selective deposition of SiOC thin films

Номер патента: US12068156B2. Автор: Jan Willem Maes,David Kurt De Roest,Oreste Madia. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-08-20.

Plasma atomic layer deposition

Номер патента: US12077864B2. Автор: Harm C. M. Knoops,Koen de Peuter,Wilhelmus M. M. Kessels. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-09-03.

Advanced precursors for selective atomic layer deposition using self-assembled monolayers

Номер патента: US20220136106A1. Автор: Stacey F. Bent,Il-Kwon Oh. Владелец: Leland Stanford Junior University. Дата публикации: 2022-05-05.

Atomic layer deposition of silicon carbon nitride based materials

Номер патента: US20180082838A1. Автор: Viljami Pore. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-03-22.

Atomic layer deposition of silicon carbon nitride based materials

Номер патента: US20160307751A1. Автор: Viljami Pore. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2016-10-20.

Methods of atomic-layer deposition of hafnium oxide/erbium oxide bi-layer as advanced gate dielectrics

Номер патента: US20140291776A1. Автор: Jinhong Tong. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2014-10-02.

Deposition of boron nitride films using hydrazido-based precursors

Номер патента: US20230098689A1. Автор: Timothee Blanquart,Charles DEZELAH. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-03-30.

Method to control the interfacial layer for deposition of high dielectric constant films

Номер патента: US20050070079A1. Автор: Yoshi Ono,John Conley. Владелец: Sharp Laboratories of America Inc. Дата публикации: 2005-03-31.

Loss prevention during atomic layer deposition

Номер патента: US20230154754A1. Автор: Jason Alexander VARNELL,Joseph R. Abel,Douglas Walter Agnew. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-05-18.

Atomic layer deposition method of forming an oxide comprising layer on a substrate

Номер патента: US20060003102A1. Автор: Demetrius Sarigiannis,Shuang Meng,Garo Derderian. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-01-05.

Radical oxidation and/or nitridation during metal oxide layer deposition process

Номер патента: US6884685B2. Автор: Ricardo Garcia,Hsing H. Tseng,Tien Ying Luo. Владелец: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC. Дата публикации: 2005-04-26.

Apparatus and concept for minimizing parasitic chemical vapor deposition during atomic layer deposition

Номер патента: EP1238421A4. Автор: Ofer Sneh,Carl Galewski. Владелец: Genus Inc. Дата публикации: 2006-06-21.

Method for depositing a nanolaminate film by atomic layer deposition

Номер патента: US6930059B2. Автор: Yoshi Ono,Rajendra Solanki,John F. Conley, Jr.. Владелец: Sharp Laboratories of America Inc. Дата публикации: 2005-08-16.

Laser-Assisted Atomic Layer Deposition of 2D Metal Chalcogenide Films

Номер патента: US20180216232A1. Автор: Ganesh Sundaram. Владелец: Ultratech Inc. Дата публикации: 2018-08-02.

Thermal atomic layer deposition of ternary gallium oxide thin films

Номер патента: US20230167548A1. Автор: Adam Hock,Michael James Foody. Владелец: Illinois Institute of Technology. Дата публикации: 2023-06-01.

Layer deposition method and layer deposition apparatus

Номер патента: US20240030024A1. Автор: HyungSuk Jung,Hanjin Lim,Intak Jeon. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-01-25.

Scandium precursor for sc2o3 or sc2s3 atomic layer deposition

Номер патента: US20230058025A1. Автор: Patricio E. Romero. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2023-02-23.

Scandium precursor for sc2o3 or sc2s3 atomic layer deposition

Номер патента: US20190202842A1. Автор: Patricio E. Romero. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2019-07-04.

Scandium precursor for sc2o3 or sc2s3 atomic layer deposition

Номер патента: US20240092804A1. Автор: Patricio E. Romero. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2024-03-21.

Scandium precursor for SC2O3 or SC2S3 atomic layer deposition

Номер патента: US11866453B2. Автор: Patricio E. Romero. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2024-01-09.

Plasma-enhanced atomic layer deposition of conductive material over dielectric layers

Номер патента: WO2010088015A2. Автор: Dong Li,Steven Marcus,Robert B. Milligan. Владелец: ASM AMERICA, INC.. Дата публикации: 2010-08-05.

Plasma-enhanced atomic layer deposition of conductive material over dielectric layers

Номер патента: US20140008803A1. Автор: Dong Li,Steven Marcus,Robert B. Milligan. Владелец: ASM America Inc. Дата публикации: 2014-01-09.

Atomic layer deposition of p-type oxide semiconductor thin films

Номер патента: US20160190290A1. Автор: Kenji Nomura,John Hyunchul Hong. Владелец: Qualcomm Mems Technologies Inc. Дата публикации: 2016-06-30.

Atomic layer deposition of p-type oxide semiconductor thin films

Номер патента: EP3241234A1. Автор: Kenji Nomura,John Hyunchul Hong. Владелец: SnapTrack Inc. Дата публикации: 2017-11-08.

An atomic layer deposition apparatus and an arrangement

Номер патента: US20240337019A1. Автор: Pekka Soininen,Matti Malila,Markus Bosund,Pasi MERILÄINEN,Olli-Pekka Suhonen. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2024-10-10.

Method of forming a layer of material using an atomic layer deposition process

Номер патента: WO2007146537B1. Автор: Neal Rueger,John Smythe. Владелец: John Smythe. Дата публикации: 2008-12-18.

Method of forming a layer of material using an atomic layer deposition process

Номер патента: EP2027304A2. Автор: Neal Rueger,John Smythe. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2009-02-25.

Area-Selective Atomic Layer Deposition Of Passivation Layers

Номер патента: US20220130659A1. Автор: Yong Wang,John Sudijono,Doreen Wei Ying Yong,Andrea Leoncini. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-04-28.

Method for atomic layer deposition

Номер патента: US9506144B2. Автор: Hsin-Yi Lee,Ching-Shun Ku. Владелец: NATIONAL SYNCHROTRON RADIATION RESEARCH CENTER. Дата публикации: 2016-11-29.

Atomic layer deposition of p-type oxide semiconductor thin films

Номер патента: WO2016109118A1. Автор: Kenji Nomura,John Hyunchul Hong. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2016-07-07.

An atomic layer deposition apparatus and an arrangement

Номер патента: EP4384651A1. Автор: Pekka Soininen,Matti Malila,Markus Bosund,Pasi MERILÄINEN,Olli-Pekka Suhonen. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2024-06-19.

Process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB2618996A. Автор: Andersson Markus,Medrano Catalan Jose. Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2023-11-29.

Process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: WO2023203352A1. Автор: Markus Andersson,Jose MEDRANO CATALAN. Владелец: Nexeon Limited. Дата публикации: 2023-10-26.

Method for Hydrophobization of Surface of Silicon-Containing Film by ALD

Номер патента: US20160093485A1. Автор: Matsushita Kiyohiro,ISHIKAWA Dai,Nakano Akinori,Kobayashi Akiko. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-31.

FORMATION OF SILICON-CONTAINING THIN FILMS

Номер патента: US20180151355A1. Автор: Fukazawa Atsuki. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

Formation of silicon-containing thin films

Номер патента: US10186420B2. Автор: Atsuki Fukazawa. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2019-01-22.

Pulsed chemical vapor deposition of metal-silicon-containing films

Номер патента: KR101696957B1. Автор: 코리 와즈다. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-01-16.

Methods to Prepare Silicon-Containing Films

Номер патента: US20150249007A1. Автор: Xiao Manchao,Lei Xinjian,"ONeill Mark Leonard",Han Bing. Владелец: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.. Дата публикации: 2015-09-03.

METHOD OF DEPOSITING A SILICON-CONTAINING FILM

Номер патента: US20160254136A1. Автор: Sato Jun,Miura Shigehiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-01.

Method of forming silicon-containing films

Номер патента: TW200931520A. Автор: Christian Dussarrat. Владелец: Air Liquide. Дата публикации: 2009-07-16.

High Temperature Silicon Oxide Atomic Layer Deposition Technology

Номер патента: US20160099143A1. Автор: Xia Li-Qun,LI NING,Nguyen Victor,Balseanu Mihaela,Trinh Cong,Saly Mark,Yan Wenbo. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Deposition Of Flowable Silicon-Containing Films

Номер патента: US20180025907A1. Автор: Thompson David,Mallick Abhijit Basu,Saly Mark,Kalutarage Lakmal C.,Manna Pramit,Ashok Tejasvi. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-25.

METHOD OF ETCHING SILICON CONTAINING FILMS SELECTIVELY AGAINST EACH OTHER

Номер патента: US20210104413A1. Автор: GOHIRA Taku,Tominaga Sho. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-08.

METHOD OF ETCHING SILICON CONTAINING FILMS SELECTIVELY AGAINST EACH OTHER

Номер патента: US20190244829A1. Автор: GOHIRA Taku,Tominaga Sho. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-08.

Plasma Doping Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20140273524A1. Автор: Xia Li-Qun,LI NING,Nguyen Victor,HILKENE MARTIN A.,SCOTNEY-CASTLE MATTHEW D.,Balseanu Mihaela. Владелец: . Дата публикации: 2014-09-18.

Methods of selective deposition of heavily doped epitaxial SiGe

Номер патента: US7517775B2. Автор: Yihwan Kim,Arkadii V. Samoilov. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2009-04-14.

Low temperature etchant for treatment of silicon-containing surfaces

Номер патента: US20070224830A1. Автор: Arkadii Samoilov. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-09-27.

Low temperature etchant for treatment of silicon-containing surfaces

Номер патента: US8492284B2. Автор: Arkadii Samoilov. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-07-23.

ORGANOSILANE PRECURSORS FOR ALD/CVD SILICON-CONTAINING FILM APPLICATIONS

Номер патента: US20150004317A1. Автор: Dussarrat Christian,Pallem Venkateswara R.,Kuchenbeiser Glenn. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-01.

Method for forming a silicon-containing film

Номер патента: US20060198966A1. Автор: Takahiro Kamei,Yuriko Kaino. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2006-09-07.

Methods of atomic layer deposition of hafnium oxide as gate dielectrics

Номер патента: WO2013177557A3. Автор: Jinhong Tong. Владелец: Intermolecular, Inc. Дата публикации: 2014-01-16.

Methods of atomic layer deposition of hafnium oxide as gate dielectrics

Номер патента: WO2013177557A2. Автор: Jinhong Tong. Владелец: Intermolecular, Inc. Дата публикации: 2013-11-28.

Post polish anneal of atomic layer deposition barrier layers

Номер патента: US20070004230A1. Автор: SRIDHAR Balakrishnan,Kevin O'Brien,Steven Johnston. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2007-01-04.

Methods of etching silicon-containing films on silicon substrates

Номер патента: US20110028000A1. Автор: Dmitry Poplavskyy,Elena Rogojina,Eric Rosenfeld. Владелец: INNOVALIGHT INC. Дата публикации: 2011-02-03.

Processes for depositing silicon-containing films using same

Номер патента: EP4092154A1. Автор: XINJIAN LEI,Alan Charles Cooper,Jianheng LI,John Francis Lehmann. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2022-11-23.

Method for high temperature annealing of a nitride semiconductor layer

Номер патента: US10121876B2. Автор: Katsunori Ueno,Masaharu Edo,Shinya Takashima. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 2018-11-06.

Technique to deposit sidewall passivation for high aspect ratio cylinder etch

Номер патента: US09997372B2. Автор: Eric A. Hudson,Joseph Scott Briggs. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-06-12.

Atomic layer deposited dielectric layers

Номер патента: EP1599899A2. Автор: Leonard Forbes,Kie Y. Ahn. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2005-11-30.

Method for high-temperature annealing a multilayer wafer

Номер патента: US20070298363A1. Автор: Walter Schwarzenbach,Christophe Malleville,Vivien Renauld. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2007-12-27.

Atomic layer deposited (ald) oxide semiconductors for integrated circuits (ics)

Номер патента: US20230178441A1. Автор: Peide Ye,Mengwei Si. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2023-06-08.

Continuous process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: WO2023194754A1. Автор: Jose MEDRANO CATALAN. Владелец: Nexeon Limited. Дата публикации: 2023-10-12.

Synthesis of silicon-containing products

Номер патента: CA3183335A1. Автор: Richard K. Holman,Adrian Pullen. Владелец: 6K Inc. Дата публикации: 2022-02-10.

Process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB2618996B. Автор: Andersson Markus,Medrano Catalan Jose. Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2024-06-05.

Process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202205891D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2022-06-08.

Continuous process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB2617396A. Автор: Medrano Catalan Jose. Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2023-10-11.

Atomic layer deposition epitaxial silicon growth for tft flash memory cell

Номер патента: US20130200384A1. Автор: Fumitake Mieno. Владелец: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp. Дата публикации: 2013-08-08.

Method of Fabricating CIGS By Selenization At High Temperature

Номер патента: US20130122642A1. Автор: Haifan Liang. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2013-05-16.

Methods for depositing silicon-containing films

Номер патента: US11851756B2. Автор: XINJIAN LEI,Ming Li,Manchao Xiao,Robert G. Ridgeway,Raymond N. Vrtis. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2023-12-26.

Compositions and methods for depositing silicon-containing films

Номер патента: US20240093366A1. Автор: XINJIAN LEI,Ming Li,Manchao Xiao,Robert G. Ridgeway,Raymond N. Vrtis. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-03-21.

Compositions and methods for depositing silicon-containing films

Номер патента: EP3682041A1. Автор: XINJIAN LEI,Ming Li,Manchao Xiao,Robert G. Ridgeway,Raymond N. Vrtis. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-07-22.

COMPOSITIONS AND METHODS FOR DEPOSITING SILICON-CONTAINING FILMS

Номер патента: US20200270749A1. Автор: Li Ming,Xiao Manchao,Lei Xinjian,RIDGEWAY ROBERT G.,VRTIS RAYMOND N.. Владелец: . Дата публикации: 2020-08-27.

Composition and method for low temperature deposition of silicon-containing films

Номер патента: US20040138489A1. Автор: Jeffrey Roeder,Thomas Baum,Ziyun Wang,Chongying Xu,Bryan Hendrix. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-07-15.

Silicon-containing film and silicon-containing film forming method

Номер патента: CN104160062B. Автор: 藤元高佳,山下雅充,岩出卓. Владелец: Toray Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-21.

Silicon-containing film, forming material, making method, and semiconductor device

Номер патента: US20080274627A1. Автор: Yoshitaka Hamada,Jun Kawahara. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2008-11-06.

Methods to prepare silicon-containing films

Номер патента: US8703625B2. Автор: Liu Yang,Bing Han,Manchao Xiao,Kirk S. Cuthill,Mark L. O'Neill. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2014-04-22.

Methods to prepare silicon-containing films

Номер патента: CN102191479B. Автор: 杨柳,M·L·奥尼尔,韩冰,萧满超,K·S·卡瑟尔. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2013-09-18.

Two-step atomic layer deposition of copper layers

Номер патента: EP1558783A2. Автор: Yoshihide Senzaki. Владелец: Aviza Technology Inc. Дата публикации: 2005-08-03.

METHOD OF PLASMA ENHANCED ATOMIC LAYER DEPOSITION OF TaC AND TaCN FILMS HAVING GOOD ADHESION TO COPPER

Номер патента: WO2007111780A3. Автор: Tadahiro Ishizaka. Владелец: Tadahiro Ishizaka. Дата публикации: 2008-01-17.

Atomic layer deposition of copper using surface-activating agents

Номер патента: WO2006033731A2. Автор: Jeffrey Scott Thompson. Владелец: E.I. DUPONT DE NEMOURS AND COMPANY. Дата публикации: 2006-03-30.

Atomic layer deposition passivation for via

Номер патента: US20170368823A1. Автор: Zhizhang Chen,Mohammed Saad Shaarawi,Roberto A Pugliese, Jr.. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2017-12-28.

Atomic layer deposition passivation for via

Номер патента: EP3231007A1. Автор: Zhizhang Chen,Mohammed Saad Shaarawi,Jr. Roberto A. Pugliese. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2017-10-18.

Method for tuning a deposition rate during an atomic layer deposition process

Номер патента: US20140248772A1. Автор: Jiang Lu,Mei Chang,Paul Ma,Joseph F. Aubuchon. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-09-04.

Atomic layer deposition with nitridation and oxidation

Номер патента: US20070059945A1. Автор: Nima Mohklesi. Владелец: SanDisk Corp. Дата публикации: 2007-03-15.

Tungsten nitride atomic layer deposition processes

Номер патента: US7745329B2. Автор: Ming Li,Lee Luo,Shulin Wang,Aihua Chen,Ulrich Kroemer. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-06-29.

Method for manufacturing aluminum metal interconnection layer by atomic layer deposition method

Номер патента: US6143659A. Автор: Hyeun-seog Leem. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2000-11-07.

Atomic layer deposition of metal films

Номер патента: US11970776B2. Автор: Patrick A. Van Cleemput,Seshasayee Varadarajan,Joshua Collins,Hanna Bamnolker,Griffin John Kennedy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-04-30.

Atomic layer deposition of metal-containing films using surface-activating agents

Номер патента: EP1920081A2. Автор: Jeffery Scott Thompson. Владелец: EI Du Pont de Nemours and Co. Дата публикации: 2008-05-14.

Copper (II) Complexes for Deposition of Copper Films by Atomic Layer Deposition

Номер патента: US20080044687A1. Автор: Alexander Zak Bradley,Jeffery Scott Thompson,Kyung-ho Park. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-02-21.

Method for tuning a deposition rate during an atomic layer deposition process

Номер патента: WO2010132172A2. Автор: Jiang Lu,Mei Chang,Joseph F. Aubuchon,Paul F. Ma. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-11-18.

Silicon precursor materials, silicon-containing films, and related methods

Номер патента: EP4396393A1. Автор: Sungsil CHO,HwanSoo KIM,Yoonhae Kim,KieJin Park. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-07-10.

Silicon precursor materials, silicon-containing films, and related methods

Номер патента: US20240308856A1. Автор: Sungsil CHO,HwanSoo KIM,Yoonhae Kim,KieJin Park. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-09-19.

Continuous process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB2617396B. Автор: Medrano Catalan Jose. Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2024-08-21.

Plasma Deposition of Amorphous Semiconductors at Microwave Frequencies

Номер патента: US20120040518A1. Автор: David Strand,Stanford R. Ovshinsky,Boil Pashmakov,Patrick Klersy. Владелец: Patrick Klersy. Дата публикации: 2012-02-16.

DECOMPOSITION OF SILICON-CONTAINING PRECURSORS ON POROUS SCAFFOLD MATERIALS

Номер патента: US20200020935A1. Автор: Feaver Aaron M.,Costantino Henry R.,Sakshaug Avery J.,Timmons Christopher. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-16.

Continuous process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202205192D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2022-05-25.

Process for low temperature atomic layer deposition of Rh

Номер патента: US20020197814A1. Автор: Stefan Uhlenbrock,Eugene Marsh. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-12-26.

Lead-free solder alloy for high-temperature environments

Номер патента: CA2641812A1. Автор: Alex Duncan,Andy Hrametz. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-06-19.

Methods for coating a substrate with magnesium fluoride via atomic layer deposition

Номер патента: US20240247368A1. Автор: Hoon Kim,Jue Wang,Ming-Huang Huang. Владелец: Corning Inc. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate web coating by atomic layers deposition

Номер патента: RU2605408C2. Автор: Свен ЛИНДФОРС. Владелец: Пикосан Ой. Дата публикации: 2016-12-20.

Mask and Reticle Protection with Atomic Layer Deposition (ALD)

Номер патента: US20220197131A1. Автор: Birol Kuyel. Владелец: Nano Master Inc. Дата публикации: 2022-06-23.

Wet Etching of Silicon Containing Antireflective Coatings

Номер патента: US20150187596A1. Автор: John Fitzsimmons,Gregory Nowling. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2015-07-02.

For the smooth siconi etch of silicon-containing film

Номер патента: CN102687249B. Автор: D·杨,J·唐,N·英格尔. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-01-20.

High temperature fine grain aluminum heater

Номер патента: US09917001B2. Автор: Robert T. Hirahara,Calvin Augason,Abhi Desai. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Low Temperature Deposition of Silicon Containing Layers in Superconducting Circuits

Номер патента: US20170186935A1. Автор: Greer Frank,Bonetti Joseph Anthony,Zhu Wenxian. Владелец: INTERMOLECULAR, INC.. Дата публикации: 2017-06-29.

NON-HALOGEN ETCHING OF SILICON-CONTAINING MATERIALS

Номер патента: US20190019690A1. Автор: Ingle Nitin K.,Pandit Mandar B.,Ling Mang-Mang,Choi Tom. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-01-17.

Wet Etching of Silicon Containing Antireflective Coatings

Номер патента: US20150187596A1. Автор: Nowling Gregory,Fitzsimmons John. Владелец: Intermolecular Inc.. Дата публикации: 2015-07-02.

SELECTIVE REMOVAL OF SILICON-CONTAINING MATERIALS

Номер патента: US20200168463A1. Автор: KIM Kwang-Soo,Ingle Nitin,Choi Tom,KO Jungmin. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-05-28.

Selective removal of silicon-containing materials

Номер патента: US11437242B2. Автор: Kwang-Soo Kim,Nitin Ingle,Jungmin Ko,Thomas Choi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-09-06.

Electrical passivation of silicon-containing surfaces using organic layers

Номер патента: EP1307919A1. Автор: Nathan S. Lewis,William Royea. Владелец: California Institute of Technology CalTech. Дата публикации: 2003-05-07.

Electrical passivation of silicon-containing surfaces using organic layers

Номер патента: US20020139975A1. Автор: Nathan Lewis,William Royea. Владелец: California Institute of Technology CalTech. Дата публикации: 2002-10-03.

Method and apparatus for etching silicon-containing film

Номер патента: TW201013775A. Автор: Takashi Satoh,Shunsuke Kunugi. Владелец: Sekisui Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2010-04-01.

Smooth siconi etch for silicon-containing films

Номер патента: KR101425629B1. Автор: 동칭 양,징 탕,니틴 잉글. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2014-07-31.

Etching method for silicon-containing film

Номер патента: JP5002073B2. Автор: 聡 真弓,崇 佐藤,俊介 功刀. Владелец: Sekisui Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2012-08-15.

Method and apparatus for etching silicon-containing films

Номер патента: KR101209351B1. Автор: ?스께 구누기. Владелец: 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-12-07.

Method for etching silicon-containing film

Номер патента: KR101200139B1. Автор: 다까시 사또,?스께 구누기,사또시 마유미. Владелец: 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-11-13.

SILICON-CONTAINING FILM AND METHOD FOR FORMING SILICON-CONTAINING FILM

Номер патента: US20150027531A1. Автор: Yamashita Masamichi,Iwade Takashi,Fujimoto Takayoshi. Владелец: TORAY ENGINEERING CO., LTD.. Дата публикации: 2015-01-29.

Atomic layer deposition powder coating

Номер патента: EP2347031A2. Автор: Christophe Detavernier,Davy Deduytsche,Johan Haemers. Владелец: Universiteit Gent. Дата публикации: 2011-07-27.

Atomic layer deposition with in-situ sputtering

Номер патента: WO2024050252A1. Автор: Pulkit Agarwal,Gengwei Jiang,Pei-Chi Liu,Jonathan Grant BAKER. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-03-07.

An atomic layer deposition reaction chamber and an atomic layer deposition reactor

Номер патента: US20240344197A1. Автор: Pekka Soininen,Markus Bosund,Pasi MERILÄINEN,Esko Karppanen. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2024-10-17.

Atomic layer deposition of lithium boron comprising nanocomposite solid electrolytes

Номер патента: US11946139B2. Автор: Anil U. Mane,Jeffrey W. Elam,Devika Choudhury. Владелец: UChicago Argonne LLC. Дата публикации: 2024-04-02.

Method for controlling the amount of silicon contained as an impurity in high carbon ferrochromium

Номер патента: US3765871A. Автор: K Yamagishi,K Nakagawa,S Eda,H Iwabuchi. Владелец: Nippon Kokan Ltd. Дата публикации: 1973-10-16.

Mixtures of silicon-containing coupling reagents

Номер патента: US20110034584A1. Автор: Philipp Albert,Andre Hasse,Oliver Klockmann,Karsten Korth,Manuel Friedel. Владелец: EVONIK DEGUSSA GmbH. Дата публикации: 2011-02-10.

Compositions and methods using same for silicon containing films

Номер патента: EP3902938A1. Автор: XINJIAN LEI,Ming Li,Manchao Xiao,Matthew R. Macdonald,Meiliang WANG. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-11-03.

Chromium refractory metal alloys conductors for use in high temperature integrated circuits

Номер патента: WO1997030476A1. Автор: George Gabriel Goetz,Warren Michael Dawson. Владелец: Alliedsignal Inc.. Дата публикации: 1997-08-21.

Silicide layers in contacts for high-k/metal gate transistors

Номер патента: EP1972004A2. Автор: Mark T. Bohr. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2008-09-24.

Atomic layer deposition on 3d nand structures

Номер патента: US20240266177A1. Автор: YU PAN,Juwen Gao,Xiaolan Ba,Ruopeng DENG,Tianhua YU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-08.

Atomic layer deposition bonding layer for joining two semiconductor devices

Номер патента: US12094849B2. Автор: Chyi-Tsong Ni,Kuang-Wei Cheng. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Utilizing atomic layer deposition for programmable device

Номер патента: US20030098461A1. Автор: Tyler Lowrey,Charles Dennison. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-05-29.

Atomic layer deposition on 3D NAND structures

Номер патента: US11972952B2. Автор: YU PAN,Juwen Gao,Xiaolan Ba,Ruopeng DENG,Tianhua YU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-04-30.

Atomic layer deposition of CMOS gates with variable work functions

Номер патента: US20040036129A1. Автор: Leonard Forbes,Kie Ahn. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2004-02-26.

Apparatus for an electric feedthrough for high temperature, high pressure, and highly corrosive environments

Номер патента: US12009650B1. Автор: II James L. Wall. Владелец: First Ammonia Motors Inc. Дата публикации: 2024-06-11.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: US20200381709A1. Автор: Benjamin Yong Park,Frederic C. Bonhomme,Heidi Leighette Anderson. Владелец: Enevate Corp. Дата публикации: 2020-12-03.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: US20210367226A1. Автор: Benjamin Yong Park,Frederic C. Bonhomme,Heidi Leighette Anderson. Владелец: Enevate Corp. Дата публикации: 2021-11-25.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: US12126011B2. Автор: Benjamin Yong Park,Frederic Bonhomme,Heidi Anderson. Владелец: Enevate Corp. Дата публикации: 2024-10-22.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: WO2020247522A1. Автор: Benjamin Park,Frederic C. Bonhomme,Heidi Leighette Anderson. Владелец: ENEVATE CORPORATION. Дата публикации: 2020-12-10.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: EP3977553A1. Автор: Benjamin Park,Frederic C. Bonhomme,Heidi Leighette Anderson. Владелец: Enevate Corp. Дата публикации: 2022-04-06.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: EP3977553A4. Автор: Benjamin Park,Frederic C Bonhomme,Heidi Leighette Anderson. Владелец: Enevate Corp. Дата публикации: 2024-09-04.

METHODS FOR PRELITHIATION OF SILICON CONTAINING ELECTRODES

Номер патента: US20210104737A1. Автор: Liu Xiaohua,Lee David J.,Teng Shiang Jen,PARK BENJAMIN YONG,Bonhomme Frederic,Ho Tracy,Vietnam Mai. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-08.

METHODS FOR PRELITHIATION OF SILICON CONTAINING ELECTRODES

Номер патента: US20220278316A1. Автор: Liu Xiaohua,Lee David J.,Teng Shiang Jen,PARK BENJAMIN YONG,Bonhomme Frederic,Ho Tracy,Vietnam Mai. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-01.

SURFACE MODIFICATION OF SILICON-CONTAINING ELECTRODES USING CARBON DIOXIDE

Номер патента: US20200381709A1. Автор: Bonhomme Frederic C.,PARK BENJAMIN YONG,Anderson Heidi Leighette. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-03.

SURFACE MODIFICATION AND ENGINEERING OF SILICON-CONTAINING ELECTRODES

Номер патента: US20200381710A1. Автор: Ji Liwen,PARK BENJAMIN YONG. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-03.

Surface modification of silicon-containing electrodes using carbon dioxide

Номер патента: US11450845B2. Автор: Benjamin Yong Park,Frederic C. Bonhomme,Heidi Leighette Anderson. Владелец: Enevate Corp. Дата публикации: 2022-09-20.

High temperature hot conductors

Номер патента: US4010120A. Автор: Horst Walch. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1977-03-01.

Methods For Making Silicon Containing Films That Have High Carbon Content

Номер патента: US20200071819A1. Автор: Lei Xinjian,Chandra Haripin,Kim Moo-Sung. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2020-03-05.

Embedded packaging for high voltage, high temperature operation of power semiconductor devices

Номер патента: US20210020573A1. Автор: Thomas MacElwee. Владелец: GaN Systems Inc. Дата публикации: 2021-01-21.

Embedded packaging for high voltage, high temperature operation of power semiconductor devices

Номер патента: US20200328158A1. Автор: Thomas MacElwee. Владелец: GaN Systems Inc. Дата публикации: 2020-10-15.

Atomic layer deposition of ultrathin tunnel barriers

Номер патента: US20190013463A1. Автор: Judy Z. Wu,Jamie Wilt,Ryan Goul,Jagaran Acharya. Владелец: University of Kansas. Дата публикации: 2019-01-10.

High temperature interconnect assemblies for high temperature electronics utilizing transition pads

Номер патента: US8704356B2. Автор: Alex A. Ned. Владелец: Kulite Semiconductor Products Inc. Дата публикации: 2014-04-22.

Electronic device interconnections for high temperature operability

Номер патента: US09917067B1. Автор: Sorin Stefanescu. Владелец: Kulite Semiconductor Products Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

High-temperature circuit structures

Номер патента: RU2248538C2. Автор: Джеймс Д. ПАРСОНЗ. Владелец: Хитроникс. Дата публикации: 2005-03-20.

Silicon precursors and method for low temperature cvd of silicon-containing films

Номер патента: US20080081106A1. Автор: Ashutosh Misra,Ziyun Wang,Ravi Laxman. Владелец: AIR LIQUIDE ELECTRONICS US LP. Дата публикации: 2008-04-03.

Purification of silicon-containing materials

Номер патента: US20050054211A1. Автор: Jean-Marc Girard,Mindi Xu,Tay Sayasane. Владелец: Tay Sayasane. Дата публикации: 2005-03-10.

Process for the production of silicon-containing and carbon-containing raw material mouldings and the use of such mouldings

Номер патента: GB2088840A. Автор: . Владелец: COC Luxembourg SA. Дата публикации: 1982-06-16.

Preparation method of silicon-containing layered double hydroxide

Номер патента: CN113023730B. Автор: 李海平,田震,侯万国,杜娜,宋淑娥. Владелец: Shandong University. Дата публикации: 2022-04-05.

Process for the production of silicon-containing and carboncontaining raw material mouldings and the use of such mouldings

Номер патента: ZA811436B. Автор: G Lask. Владелец: COC Luxembourg SA. Дата публикации: 1982-03-31.

Deposition of low-k films

Номер патента: US20220325412A1. Автор: Ning Li,Mark Saly,Thomas Knisley,Bhaskar Jyoti Bhuyan,Mihaela A. Balseanu,Shuaidi ZHANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-10-13.

Deposition of low-k films

Номер патента: US11970777B2. Автор: Ning Li,Mark Saly,Thomas Knisley,Bhaskar Jyoti Bhuyan,Mihaela A. Balseanu,Shuaidi ZHANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-30.

Deposition of low-k films

Номер патента: US20220154337A1. Автор: Ning Li,Mark Saly,Thomas Knisley,Bhaskar Jyoti Bhuyan,Mihaela A. Balseanu,Shuaidi ZHANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-05-19.

Organosilicon precursors for deposition of silicon-containing films

Номер патента: US20220234903A1. Автор: XINJIAN LEI,Manchao Xiao,Richard Ho,Ronald M. Pearlstein. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2022-07-28.

SOLID SOURCE AND METHOD FOR THE SYNTHESIS OF SILICON-CONTAINING PRECURSORS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Номер патента: US20160347620A1. Автор: SCARLETE Mihai,AKTIK Cetin. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-01.

Zinc-oxide surge arrester for high-temperature operation

Номер патента: EP2426678A3. Автор: Ching-Hohn Lien,Jie-An Zhu,Xing-Xiang Huang,Zhi-Xian Xu,Ting-Yi Fang. Владелец: SFI Electronics Technology Inc. Дата публикации: 2012-09-05.

Anode and method for forming a zinc metal anode using molecular layer deposition

Номер патента: CA3123894A1. Автор: Jian Liu,Huibing He. Владелец: University of British Columbia. Дата публикации: 2021-09-16.

Battery cell and module battery for high-temperature operating secondary battery

Номер патента: US20240088470A1. Автор: Motohiro FUKUHARA. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Method for attachment of silicon-containing compounds to a surface and for the synthesis of hypervalent silicon-compounds

Номер патента: CA2622087C. Автор: Jeffrey Owens. Владелец: Individual. Дата публикации: 2014-10-28.

Method for attachment of silicon-containing compounds to a surface and for the synthesis of hypervalent silicon-compounds

Номер патента: CA2622087A1. Автор: Jeffrey Owens. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-03-22.

Method for attachment of silicon-containing compounds to a surface and for synthesis of hypervalent silicon-compounds

Номер патента: SG2014004998A. Автор: Jeffery Owens. Владелец: Alexium Ltd. Дата публикации: 2014-04-28.

Method for attachment of silicon-containing compounds to a surface and for the synthesis of hypervalent silicon-compounds

Номер патента: AU2006290509A1. Автор: Jeffrey Owens. Владелец: Alexium Ltd. Дата публикации: 2007-03-22.

Method for attachment of silicon-containing compounds to a surface and for synthesis of hypervalent silicon-compounds

Номер патента: AU2010209527A1. Автор: Jeffery Owens. Владелец: Alexium Ltd. Дата публикации: 2011-08-18.

Method for attachment of silicon-containing compounds to a surface and for synthesis of hypervalent silicon-compounds

Номер патента: US8815351B2. Автор: Jeffrey R. Owens. Владелец: US Air Force. Дата публикации: 2014-08-26.

Use of silicon-containing polymers to improve red mud flocculation in the bayer process

Номер патента: CA2684493A1. Автор: Howard I. Heitner,Donald Paul Spitzer,Qi Dai,H-L Tony Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-10-30.

Use of silicon-containing polymers to improve red mud flocculation in the bayer process

Номер патента: AP2009004994A0. Автор: Donald P Spitzer,Qi Dai,H-L Tony Chen. Владелец: Cytec Tech Corp. Дата публикации: 2009-10-31.

Atomic layer deposition encapsulation for acoustic wave devices

Номер патента: US20120091855A1. Автор: Merrill Albert Hatcher, JR.,John Robert Siomkos,Jayanti Jaganatha Rao. Владелец: RF Micro Devices Inc. Дата публикации: 2012-04-19.

System for atomic layer deposition on flexible substrates and method for the same

Номер патента: WO2017188947A1. Автор: Brian Einstein Lassiter. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-11-02.

Methods for depositing carbon conducting films by atomic layer deposition

Номер патента: US20240124977A1. Автор: Jean-Sebastien Materne Lehn. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2024-04-18.

Janus membranes via atomic layer deposition

Номер патента: US12012559B2. Автор: Seth B. Darling,Ruben WALDMAN,Hao-Cheng Yang. Владелец: UChicago Argonne LLC. Дата публикации: 2024-06-18.

Organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes for deposition of silicon-containing films

Номер патента: US11912730B2. Автор: Matthew R. Macdonald,John F. Lehmann. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-02-27.

Organoamino-functionalized linear and cyclic oligosiloxanes for deposition of silicon-containing films

Номер патента: IL257372B. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2022-01-01.

Organoamino-functionalized cyclic oligosiloxanes for deposition of silicon-containing films

Номер патента: EP4110968A4. Автор: Matthew R. Macdonald,John J. LEHMANN. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2023-09-13.

Halide-functionalized cyclotrisilazanes as precursors for deposition of silicon-containing films

Номер патента: IL314388A. Автор: . Владелец: Versum Mat Us Llc. Дата публикации: 2024-09-01.

Organosilane precursors for ald/cvd/sod of silicon-containing film applications

Номер патента: US20220220132A1. Автор: Guillaume Husson,Claudia Fafard. Владелец: American Air Liquide Inc. Дата публикации: 2022-07-14.

Substituted Silacyclopropane Precursors And Their Use For The Deposition Of Silicon-Containing Films

Номер патента: US20160031916A1. Автор: Thompson David,Saly Mark. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

Compositions and Methods Using Same for Deposition of Silicon-Containing Film

Номер патента: US20190376178A1. Автор: RIDGEWAY ROBERT G.,VRTIS RAYMOND N.,Rao Madhukar B.. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2019-12-12.

Method for controlling the amount of silicon contained as an impurity in high carbon ferrochromium

Номер патента: ZA721603B. Автор: K Yamagishi,K Nakagawa,S Eda,H Iwabuchi. Владелец: Nippon Kokan Kk. Дата публикации: 1972-11-29.

Film-forming composition, silicon-containing film, and resist pattern-forming method

Номер патента: US12098282B2. Автор: Tatsuya Sakai,Hiromitsu Tanaka,Tomoaki Seko,Nozomi SATOU,Tomoya TAJI. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2024-09-24.

REMOVAL OF SILICON-CONTAINING CHEMICALS FROM HYDROCARBON STREAMS

Номер патента: US20190144763A1. Автор: Al-Sabawi Mustafa,Mitchell Lindsay A.. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-16.

Bulk Polymerization of Silicone-Containing Copolymers

Номер патента: US20180148517A1. Автор: Ellis Mark F.,Sherman Audrey A.,Kumar Ramesh C.,Emslander Jeffrey O.,Peloquin Richard L.,Mackey Sonja S.. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

Bulk Polymerization of Silicone-Containing Copolymers

Номер патента: US20180148518A1. Автор: Ellis Mark F.,Sherman Audrey A.,Kumar Ramesh C.,Emslander Jeffrey O.,Peloquin Richard L.,Mackey Sonja S.. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

Corrosion resistant sealant for EBC of silicon-containing substrate and processes for preparing same

Номер патента: US20060280955A1. Автор: Irene Spitsberg,Brian Hazel. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2006-12-14.

Manufacture of silicon-containing modified polyvinyl alcohol

Номер патента: JPS63196603A. Автор: Takashi Nakajima,Toshio Tamura,隆 中島,敏雄 田村. Владелец: Unitika Chemical Co Ltd. Дата публикации: 1988-08-15.

PROCESS FOR THE PREPARATION OF SILICON-CONTAINING ISOCYANATE COMPOUNDS

Номер патента: FR2574796B1. Автор: Goichi Yamaguchi,Akira Kurashima,Akira Machiya. Владелец: Kaseihin Cy Inc C S. Дата публикации: 1990-11-02.

ORGANIC COMPOUNDS OF SILICON CONTAINING FLUORINE

Номер патента: IT981296B. Автор: . Владелец: Ici Ltd. Дата публикации: 1974-10-10.

Process for the catalytic hydrotreating of silicon containing hydrocarbon feedstock

Номер патента: EP1925654A1. Автор: Kim Grøn Knudsen,Rasmus Breivik. Владелец: Haldor Topsoe AS. Дата публикации: 2008-05-28.

Method of molding of silicon-containing contact lenses

Номер патента: HK1006555A1. Автор: Yu-Chin Lai. Владелец: Bausch & Lomb. Дата публикации: 1999-03-05.

Synthetic method of silicon-containing polycarboxylic acid water reducing agent and product thereof

Номер патента: CN107200819B. Автор: 朱伟亮. Владелец: SHANGHAI TAIJIE CHEMICAL CO Ltd. Дата публикации: 2020-01-07.

Production of silicon-containing porous carbonaceous material

Номер патента: JPH11240779A. Автор: Mitsuo Enomoto,三男 榎本. Владелец: Tokai Carbon Co Ltd. Дата публикации: 1999-09-07.

Preparation of silicone-containing polyimide prepolymer and cured polyimides obtained therefrom.

Номер патента: DE68917952D1. Автор: Kouichi Kunimune,Yoshiya Kutsuzawa. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 1994-10-13.

Process for the catalytic hydrotreating of silicon containing hydrocarbon feedstock

Номер патента: CN101186844A. Автор: R·布赖维克,K·G·努德森. Владелец: Haldor Topsoe AS. Дата публикации: 2008-05-28.

Process for the catalytic hydrotreating of silicon containing hydrocarbon feed stock.

Номер патента: MX2007014402A. Автор: Kim Groen Knudsen,Rasmus Breivik. Владелец: Topsoe Haldor As. Дата публикации: 2009-02-17.

HYDROGEN PEROXIDE SURFACES OF SILICONE-CONTAINING ELECTRIC RADIANT QUALITIES

Номер патента: DE60207225T2. Автор: N. Vijay MADI,W. Jerald LEEKER,A. Clayton VANSCOY. Владелец: AK Steel Properties Inc. Дата публикации: 2006-07-27.

Preparation method of silicon-containing high vinyl polybutadiene

Номер патента: CN108610457B. Автор: 华静,耿洁婷,刘金慧,马玉. Владелец: Qingdao University of Science and Technology. Дата публикации: 2020-11-06.

Preparation method of silicon-containing vinyl chloride copolymer

Номер патента: CN108148160B. Автор: 邓敏,文仕敏,缑可贞,佘国华. Владелец: Yibin Tianyuan Group Co Ltd. Дата публикации: 2020-06-09.

Composites of silicon-containing polymers that encapsulate functional materials

Номер патента: KR100851811B1. Автор: 유승범,김영백,베로니카 김. Владелец: 베로니카 김. Дата публикации: 2008-08-13.

Treatment method of silicon-containing micro powder organic waste liquid

Номер патента: CN115367845A. Автор: 戴国辉,虞恺,姚昌文. Владелец: WUXI ZHONGTIAN SOLID WASTE DISPOSAL CO Ltd. Дата публикации: 2022-11-22.

SURFACE TREATMENT OF SILICONE-CONTAINING MEDICAL DEVICES

Номер патента: DE60115218T2. Автор: A. Joseph McGEE,L. Paul VALINT,A. James BONAFINI. Владелец: Bausch and Lomb Inc. Дата публикации: 2006-04-13.

Process for the catalytic hydrotreating of silicon containing hydrocarbon feedstock

Номер патента: ZA200710053B. Автор: Breivik Rasmus,Knudsen Kim Groen. Владелец: Haldor Topsoe AS. Дата публикации: 2008-11-26.

Deposition Of Carbon Doped Silicon Oxide

Номер патента: US20200248309A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Matthew R. Macdonald,Meiliang WANG. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-08-06.

High temperature composite honeycomb

Номер патента: EP4003723A1. Автор: Robert Charles LOESCH,Merid Minasse HAILE,Earl Frederick AYLE,Clark Russell SMITH. Владелец: Hexcel Corp. Дата публикации: 2022-06-01.

Deposition of carbon doped silicon oxide

Номер патента: EP3902939A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Matthew R. Macdonald,Meiliang WANG. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-11-03.

High temperature composite honeycomb

Номер патента: US20210024711A1. Автор: Robert Charles LOESCH,Merid Minasse HAILE,Earl Frederick AYLE,Clark Russell SMITH. Владелец: Hexcel Corp. Дата публикации: 2021-01-28.

High temperature lubricant composition

Номер патента: CA2449778C. Автор: Michael A. Mchenry,Dale D. Carr,Jeffrey A. Hutter. Владелец: Royal Lubricants Inc. Дата публикации: 2011-11-01.

NICKEL-BASED ALLOYS SUITABLE FOR USE AT HIGH TEMPERATURES

Номер патента: FR2391286B1. Автор: . Владелец: Huntington Alloys Corp. Дата публикации: 1985-09-27.

Thermal insulation materials suitable for use at high temperatures, and process for making said materials

Номер патента: GB202000898D0. Автор: . Владелец: Mersen Scotland Holytown Ltd. Дата публикации: 2020-03-04.

METHOD FOR MANUFACTURING SILICON-CONTAINING FILM

Номер патента: US20140154415A1. Автор: Nasuno Yoshiyuki,TOMYO Atsushi. Владелец: SHARP KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2014-06-05.

PATTERN-FORMING METHOD, AND SILICON-CONTAINING FILM-FORMING COMPOSITION

Номер патента: US20200117091A1. Автор: SEKO Tomoaki,SAKAI Tetsuya,SATOU Nozomi,TAJI Tomoya. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2020-04-16.

ORGANOSILANE PRECURSORS FOR ALD/CVD SILICON-CONTAINING FILM APPLICATIONS

Номер патента: US20150166576A1. Автор: Dussarrat Christian,Pallem Venkateswara R.,Kuchenbeiser Glenn. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-18.

Compositions And Methods Using Same for Silicon Containing Films

Номер патента: US20200247830A1. Автор: Li Ming,Xiao Manchao,Lei Xinjian,MacDonald Matthew R.,Wang Meiliang. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2020-08-06.

ORGANODISILANE PRECURSORS FOR ALD/CVD SILICON-CONTAINING FILM APPLICATIONS

Номер патента: US20170298510A1. Автор: Pallem Venkateswara R.,HUSSON Guillaume,Kuchenbeiser Glenn. Владелец: . Дата публикации: 2017-10-19.

COMPOSITION FOR SILICON-CONTAINING FILM FORMATION, PATTERN-FORMING METHOD, AND POLYSILOXANE COMPOUND

Номер патента: US20150355546A1. Автор: DEI Satoshi,SUZUKI Junya,SEKO Tomoaki. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2015-12-10.

ORGANOSILANE PRECURSORS FOR ALD/CVD SILICON-CONTAINING FILM APPLICATIONS AND METHODS OF USING THE SAME

Номер патента: US20180355483A1. Автор: Kuchenbeiser Glenn,FAFARD Claudia. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-13.

Organoamino-functional cyclic oligosiloxanes for depositing silicon-containing films

Номер патента: CN115443347A. Автор: M·R·麦克唐纳,J·J·莱曼. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2022-12-06.

Aminosilane compound, silicon-containing film forming composition containing the same

Номер патента: TWI789503B. Автор: 川上純一,平元輝. Владелец: 日商住友精化股份有限公司. Дата публикации: 2023-01-11.

Methods to prepare silicon-containing films

Номер патента: EP2363512A1. Автор: Liu Yang,Bing Han,Manchao Xiao,Kirk S. Cuthill,Mark L. O'Neill. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2011-09-07.

Method and apparatus for forming silicon containing films

Номер патента: WO2003060184A3. Автор: Lee Luo,Paul Meissner,Shulin Wang,Ramaseshan Suryanarayanan Iyer,Aihau Chen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-04-22.

Method for depositing silicon-containing films

Номер патента: TW200715376A. Автор: Helmuth Treichel,Yoshikazu Okuyama,Jon S Owyang. Владелец: Aviza Tech Inc. Дата публикации: 2007-04-16.

Compositions and methods using same for silicon containing films

Номер патента: SG11202108234QA. Автор: XINJIAN LEI,Ming Li,Manchao Xiao,Meiliang WANG,Matthew R Macdonald. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-08-30.

Anti-static spacer for high temperature curing process of flexible printed circuit board

Номер патента: EP1839467A4. Автор: Tae Young Kim,Jong Eun Kim,Kwang Suck Suh. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-07-29.

Anti-static spacer for high temperature curing process of flexible printed circuit board

Номер патента: WO2006073295A1. Автор: Tae Young Kim,Jong Eun Kim,Kwang Suck Suh. Владелец: Kwang Suck Suh. Дата публикации: 2006-07-13.

Atomic layer deposition in acoustic wave resonators

Номер патента: WO2023091813A1. Автор: Douglas CARLSON,Rathnait LONG. Владелец: MACOM Technology Solutions Holdings, Inc.. Дата публикации: 2023-05-25.

Device and method of atomic-layer deposition of coating on substrate surface

Номер патента: RU2704875C2. Автор: Тимо МАЛИНЕН. Владелец: Пикосан Ой. Дата публикации: 2019-10-31.

Coating on particles by atomic layer deposition

Номер патента: RU2728343C1. Автор: Марко Пудас. Владелец: Пикосан Ой. Дата публикации: 2020-07-29.

Deposition of ultra-thin functional coatings on flexible materials

Номер патента: EP4437159A1. Автор: Chee Hau TEOH,Jhi Yong LOKE,Kevin Musselman. Владелец: Nfinite Nanotechnology Inc. Дата публикации: 2024-10-02.

Deposition of ultra-thin functional coatings on flexible materials

Номер патента: CA3239134A1. Автор: Chee Hau TEOH,Jhi Yong LOKE,Kevin Musselman. Владелец: Nfinite Nanotechnology Inc. Дата публикации: 2023-06-01.

Copper(I) complexes and processes for deposition of copper films by atomic layer deposition

Номер патента: US20080075958A1. Автор: Kyung-ho Park. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-03-27.

Method for vapour deposition of a film onto a substrate

Номер патента: EP1299572A2. Автор: Margreet Albertine Anne-Marie Van Wijck. Владелец: ASM International NV. Дата публикации: 2003-04-09.

Method and device for atomic layer deposition

Номер патента: RU2702669C2. Автор: Тимо МАЛИНЕН,Юхана КОСТАМО,Вэй-Минь ЛИ,Теро ПИЛЬВИ. Владелец: Пикосан Ой. Дата публикации: 2019-10-09.

High Damage Threshold and Highly Reliable Broad-band Mid-IR Coatings for High Power Fluoride Fiber Laser

Номер патента: US20230287557A1. Автор: Wei Lu,Feng Niu,Yimin Hu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-09-14.

High damage threshold and highly reliable broad-band mid-IR coatings for high power fluoride fiber laser

Номер патента: US11959164B2. Автор: Wei Lu,Feng Niu,Yimin Hu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-04-16.

Atomic layer deposition on optical structures

Номер патента: US20230212739A1. Автор: Ludovic Godet,Rutger MEYER TIMMERMAN THIJSSEN,Jinrui GUO. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-07-06.

Atomic layer deposition apparatus

Номер патента: FI20195590A1. Автор: Pekka Soininen,Pekka J Soininen,Hulda AMINOFF,Ville MIIKKULAINEN. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2020-12-29.

Coating fabric substrate by deposition of atomic layers

Номер патента: RU2600462C2. Автор: Свен ЛИНДФОРС. Владелец: Пикосан Ой. Дата публикации: 2016-10-20.

Enhanced deposition of layer on substrate using radicals

Номер патента: WO2012112795A1. Автор: Sang In LEE. Владелец: SYNOS TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2012-08-23.

Textile including fibers deposited with material using atomic layer deposition for increased rigidity and strength

Номер патента: US20130023172A1. Автор: Sang In LEE. Владелец: Synos Technology Inc. Дата публикации: 2013-01-24.

Atomic layer deposition of metal phosphates and lithium silicates

Номер патента: US9765431B2. Автор: Mikko Ritala,Markku Leskelä,Timo Hatanpää,Jani Hämäläinen,Jani Holopainen. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-09-19.

Steel for high-temperature carburized gear shaft and manufacturing method for steel

Номер патента: US20240360538A1. Автор: Sixin Zhao,Zongze Huang,Jiaqiang GAO. Владелец: Baoshan Iron and Steel Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-31.

New concept of high-temperature soldering

Номер патента: RU2585886C2. Автор: Пер ШЁДИН,Кристиан ВАЛЬТЕР. Владелец: Альфа Лаваль Корпорейт Аб. Дата публикации: 2016-06-10.

Antimicrobial nanolaminates using vapor deposited methods such as atomic layer deposition

Номер патента: EP4395800A1. Автор: Prerna Goradia,Neil Amit GORADIA. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-07-10.

Method of forming very reactive metal layers by a high vacuum plasma enhanced atomic layer deposition system

Номер патента: US20160083842A1. Автор: Feng Niu,Peter Chow. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-03-24.

Stability of refractory materials in high temperature steam

Номер патента: US11753717B2. Автор: Alan W. Weimer,Amanda HOSKINS,Charles Musgrove. Владелец: University of Colorado. Дата публикации: 2023-09-12.

Stability of refractory materials in high temperature steam

Номер патента: US20240043996A1. Автор: Alan W. Weimer,Amanda HOSKINS,Charles Musgrave. Владелец: University of Colorado. Дата публикации: 2024-02-08.

Atomic layer deposition apparatus for powders

Номер патента: US12031208B2. Автор: Jing-Cheng Lin,Jung-Hua Chang,Chia-Cheng Ku. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-07-09.

Metamaterial and method for forming a metamaterial using atomic layer deposition

Номер патента: EP2971229A1. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Gary O'brien,Fabian Purkl,John Provine. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2016-01-20.

Apparatus and method for making atomic layer deposition on fine powders

Номер патента: US09951419B2. Автор: Ying-Bing JIANG,Hongxia Zhang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-04-24.

Deposition of beta-gallium oxide thin films

Номер патента: US20220325409A1. Автор: Elham RAFIE BORUJENY. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-10-13.

Atomic-layer deposition method using compound gas jet

Номер патента: US20160237564A1. Автор: Kam Chuen Ng,Ronald Steven Cok,Kurt D. Sieber. Владелец: Eastman Kodak Co. Дата публикации: 2016-08-18.

Atomic layer deposition method of metal (ii), (0), or (iv) containing film layer

Номер патента: EP4034689A1. Автор: James. D PARISH,Andrew. L JOHNSON. Владелец: University of Bath. Дата публикации: 2022-08-03.

Atomic-layer deposition apparatus

Номер патента: US09976216B2. Автор: Kam Chuen Ng,Ronald Steven Cok,Kurt D. Sieber. Владелец: Eastman Kodak Co. Дата публикации: 2018-05-22.

Apparatus and method for atomic layer deposition on substrates

Номер патента: US7754013B2. Автор: Ernst H. A. Granneman. Владелец: ASM International NV. Дата публикации: 2010-07-13.

Method for high-temperature distillation of residual oil in a limited time

Номер патента: AU2003250003A1. Автор: Helmut Heurich,Udo Zentner,Hans-Jurgen Weiss. Владелец: LURGI GMBH. Дата публикации: 2004-07-14.

Method for high-temperature distillation of residual oil in a limited time

Номер патента: US20060138030A1. Автор: Helmut Heurich,Udo Zentner,Hans-Jurgen Weiss. Владелец: Lurgi Lentjes AG. Дата публикации: 2006-06-29.

Method for high-temperature distillation of residual oil in a limited time

Номер патента: AU2003250003B2. Автор: Helmut Heurich,Udo Zentner,Hans-Jurgen Weiss. Владелец: Lurgi Lentjes AG. Дата публикации: 2006-12-21.

Atomic layer deposition method of metal (ii), (0), or (iv) containing film layer

Номер патента: US20220356576A1. Автор: Andrew L. Johnson,James D. PARISH. Владелец: University of Bath. Дата публикации: 2022-11-10.

Refractory monitoring system for high-voltage and high-temperature environment applications

Номер патента: WO2024158427A1. Автор: Yakup Bayram,Alexander RUEGE,John DONAHOO. Владелец: PANERATECH, INC.. Дата публикации: 2024-08-02.

Methods for forming a boron nitride film by a plasma enhanced atomic layer deposition process

Номер патента: US20230272527A1. Автор: Atsuki Fukazawa. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-08-31.

Improved methods for atomic layer deposition

Номер патента: WO2008010941A3. Автор: Ce Ma,Qing Min Wang,Graham McFarlane,Patrick J Helly. Владелец: Patrick J Helly. Дата публикации: 2008-07-31.

Atomic layer deposition method of metal (II), (0), or (IV) containing film layer

Номер патента: GB2587401A9. Автор: D Parish James,L Johnson Andrew. Владелец: University of Bath. Дата публикации: 2024-01-17.

Atomic layer deposition (ald) device

Номер патента: RU2752059C1. Автор: Марко Пудас,Тимо МАЛИНЕН,Никлас ХОЛМ,Юхана КОСТАМО. Владелец: Пикосан Ой. Дата публикации: 2021-07-22.

Single source precursors for atomic layer deposition

Номер патента: GB2439996A. Автор: Anthony Copland Jones. Владелец: Epichem Ltd. Дата публикации: 2008-01-16.

Conformal deposition for high voltage isolation

Номер патента: US20230160927A1. Автор: Tim VANGERVEN,Brecht Put. Владелец: Melexis Technologies SA. Дата публикации: 2023-05-25.

Explosive composition for high temperature applications

Номер патента: US4076563A. Автор: Peter D. Zavitsanos,Martin M. West,William G. Browne. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1978-02-28.

An atomic layer deposition apparatus

Номер патента: EP4314380A1. Автор: Jonas Andersson,Pekka Soininen,Johannes Wesslin. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2024-02-07.

Method of Fabricating a Uniformly Aligned Planar Array of Nanowires Using Atomic Layer Deposition

Номер патента: US20150132489A1. Автор: Steven Howard Snyder. Владелец: Individual. Дата публикации: 2015-05-14.

An atomic layer deposition apparatus

Номер патента: WO2022207978A1. Автор: Jonas Andersson,Pekka Soininen,Johannes Wesslin. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2022-10-06.

Atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US20240018652A1. Автор: Jonas Andersson,Pekka Soininen,Johannes Wesslin. Владелец: BENEQ OY. Дата публикации: 2024-01-18.

Atomic layer deposition for continuous, high-speed thin films

Номер патента: US12006570B2. Автор: Angel YANGUAS-GIL,Jeffrey W. Elam,Joseph A. Libera. Владелец: UChicago Argonne LLC. Дата публикации: 2024-06-11.

High temperature well packer

Номер патента: CA1237657A. Автор: Phillip H. Manderscheid. Владелец: Hughes Tool Co. Дата публикации: 1988-06-07.

Coated-type silicon-containing film stripping process

Номер патента: EP2196858B1. Автор: Tsutomu Ogihara,Takafumi Ueda,Toshiharu Yano,Shozo Shirai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2013-12-04.

Coated-type silicon-containing film stripping process

Номер патента: TW201035701A. Автор: Tsutomu Ogihara,Takafumi Ueda,Toshiharu Yano,Shozo Shirai. Владелец: Shinetsu Chemical Co. Дата публикации: 2010-10-01.

Cross dual tensile comprehensive test platform and method suitable for high-temperature conditions

Номер патента: NL2026662A. Автор: Chen Liang. Владелец: Univ Shandong. Дата публикации: 2021-06-07.

Method and unit for high-temperature gas mixture separation

Номер патента: RU2642559C2. Автор: . Владелец: Благодаров Юрий Петрович. Дата публикации: 2018-01-25.

Burner device for high-temperature air combustion

Номер патента: US09869468B2. Автор: Masato Tamura,Takahiro Kozaki. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2018-01-16.

Electrical connectivity to high temperature film sensor devices

Номер патента: EP4375632A1. Автор: Otto Gregory,Paul F. Croteau,Kevin RIVERA,Andrew A. Consiglio. Владелец: RTX Corp. Дата публикации: 2024-05-29.

Maintenance management device and method for high-temperature furnace equipment

Номер патента: US20170284740A1. Автор: Shigeki Ishii,Satoshi Kadoya,Katsumi Morikawa,Yuichi Kumazawa. Владелец: Azbil Corp. Дата публикации: 2017-10-05.

Non-invasive process fluid temperature indication for high temperature applications

Номер патента: EP3857192A1. Автор: Jason H. Rud. Владелец: Rosemount Inc. Дата публикации: 2021-08-04.

Non-invasive process fluid temperature indication for high temperature applications

Номер патента: WO2020068551A1. Автор: Jason H. Rud. Владелец: Rosemount Inc. Дата публикации: 2020-04-02.

Material for high-temperature electrochemical equipment and process of its production

Номер патента: RU2050642C1. Автор: . Владелец: Груздев Александр Иванович. Дата публикации: 1995-12-20.

Diaphragm valve for atomic layer deposition

Номер патента: GB2418005A. Автор: Teemu Lang,Hannu Leskinen,Pekka Kuosmanen,Bradley J Aitchison,Kari Haerkoenen,Jarmo Ilmari Maula. Владелец: Planar Systems Inc. Дата публикации: 2006-03-15.

Temperature sensor for high temperature

Номер патента: US09927303B2. Автор: Takashi Mihara,Mitsuaki Mochizuki. Владелец: Okazaki Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Piston with keystone second ring groove for high temperature internal combustion engines

Номер патента: WO2015179278A1. Автор: Norbert G. SCHNEIDER. Владелец: FEDERAL-MOGUL CORPORATION. Дата публикации: 2015-11-26.

Piston with keystone second ring groove for high temperature internal combustion engines

Номер патента: EP3146188A1. Автор: Norbert G. SCHNEIDER. Владелец: Federal Mogul LLC. Дата публикации: 2017-03-29.

Non-slip mat for high temperature early warning

Номер патента: LU100013B1. Автор: Guihua Lin. Владелец: Nanan Datai Bathrooms Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-07.

Shaft-Seal Device for High-Temperature Fluid

Номер патента: US20120326394A1. Автор: TAO Hu,Taiji Hashimoto,Masanobu Ninomiya,Eiji Okumachi. Владелец: Nippon Pillar Packing Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-27.

Method for high throughput screening of antioxidants at near ambient temperatures

Номер патента: US20050239208A1. Автор: Clifford Adams,Tom Verleyen,Stefaan Dyck,Waut Dooghe. Владелец: Kemin Industries Inc. Дата публикации: 2005-10-27.

Metal seat for high-temperature liquid valves

Номер патента: RU2499173C2. Автор: Вальтер РИККАРДИ. Владелец: Тайко Вэлвз Энд Контроулз Италия С.Р.Л.. Дата публикации: 2013-11-20.

Plasma Enhanced Cyclic Chemical Vapor Deposition of Silicon- Containing Films

Номер патента: US20120171874A1. Автор: . Владелец: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.. Дата публикации: 2012-07-05.

REMOTE HYDROGEN PLASMA SOURCE OF SILICON CONTAINING FILM DEPOSITION

Номер патента: US20120171852A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-07-05.

Processes for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202406457D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2024-06-19.

PRocess for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202218883D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2023-01-25.

Continuous process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202205892D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2022-06-08.

Process forthe arylation of silicon-containing aromatic compounds

Номер патента: AU2315262A. Автор: BRYSON McCALL and BRIAN BEARD MILLWARD ERNEST. Владелец: Monsanto Chemicals Ltd. Дата публикации: 1964-04-16.

Halogenation of silicon-containing materials

Номер патента: AU253332B2. Автор: Arkless and Colin Francis Cole Kenneth. Владелец: British Titan Products Co Ltd. Дата публикации: 1963-06-27.

Coloring by use of silicon-containing azo complex dye

Номер патента: JPS56125456A. Автор: Ichiro Kijima,Takahisa Misonoo,Yoshikami Abe. Владелец: Nippon Kayaku Co Ltd. Дата публикации: 1981-10-01.

Halogenation of silicon-containing materials

Номер патента: CA665688A. Автор: Arkless Kenneth,F. Cole Colin. Владелец: British Titan Products Co Ltd. Дата публикации: 1963-06-25.

Halogenation of silicon-containing materials

Номер патента: AU1267961A. Автор: Arkless and Colin Francis Cole Kenneth. Владелец: British Titan Products Co Ltd. Дата публикации: 1963-06-27.

Process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202411355D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2024-09-18.

Method for Attachment of Silicon-Containing Compounds to a Surface and for Synthesis of Hypervalent Silicon-Compounds

Номер патента: US20120128930A1. Автор: Owens Jeffery R.. Владелец: . Дата публикации: 2012-05-24.

LOW TEMPERATURE ETCHANT FOR TREATMENT OF SILICON-CONTAINING SURFACES

Номер патента: US20120070961A1. Автор: . Владелец: Applied Materials. Дата публикации: 2012-03-22.

Production of silicon containing high tensile gulvanized plate

Номер патента: JPS5484821A. Автор: Masashi Hasegawa,Takashi Matsukura,Fumishiro Koubun,Takehiko Itou. Владелец: Nisshin Steel Co Ltd. Дата публикации: 1979-07-06.

Desilication method of silicon-containing cryolite

Номер патента: CN103011222A. Автор: 郭慧,罗文斌,刘善军,旷戈,谢文菊,臧运凯. Владелец: FUZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-04-03.

Production of silicon-containing polymer

Номер патента: JPH1045857A. Автор: Tadahiro Yoneda,大成 富久,成史 倉本,Shigefumi Kuramoto,忠弘 米田,Taisei Fuku. Владелец: NIPPON SHOKUBAI CO LTD. Дата публикации: 1998-02-17.

Production of silicon-containing cast iron

Номер патента: JPS6447805A. Автор: Shigetaka Uchida,Hirohisa Nakajima,Osamu Yamase,Masabumi Ikeda. Владелец: Nippon Kokan Ltd. Дата публикации: 1989-02-22.

Removing method of silicon-containing compound in waste steel pickling liquid

Номер патента: JPS60106580A. Автор: Genji Kosho,古庄 源治. Владелец: KEMIRAITO KOGYO KK. Дата публикации: 1985-06-12.

Process forthe arylation of silicon-containing aromatic compounds

Номер патента: AU269145B2. Автор: BRYSON McCALL and BRIAN BEARD MILLWARD ERNEST. Владелец: Monsanto Chemicals Ltd. Дата публикации: 1964-04-16.

Production of silicon-containing resins

Номер патента: CA507921A. Автор: H. Bunnell Raymond. Владелец: Allied Chemical and Dye Corp. Дата публикации: 1954-12-07.

Process for the preparation of silicon-containing composite particles

Номер патента: GB202319648D0. Автор: . Владелец: Nexeon Ltd. Дата публикации: 2024-01-31.

SILICON-CONTAINING FILM, RESIN COMPOSITION, AND PATTERN FORMATION METHOD

Номер патента: US20120129352A1. Автор: . Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2012-05-24.

PATTERNING PROCESS AND COMPOSITION FOR FORMING SILICON-CONTAINING FILM USABLE THEREFOR

Номер патента: US20120238095A1. Автор: . Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2012-09-20.

Silicon-containing film forming composition and pattern forming method

Номер патента: JP6503630B2. Автор: 真義 石川,博允 田中. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2019-04-24.

Coating liquid for forming silicon-containing film

Номер патента: JPH1067967A. Автор: Yuji Yoshida,祐司 吉田,Hideaki Nezu,Satoshi Taguchi,敏 田口,秀明 根津. Владелец: Sumitomo Chemical Co Ltd. Дата публикации: 1998-03-10.

Method and apparatus for etching silicon-containing film

Номер патента: JP2010062433A. Автор: 俊介 功刀,Shunsuke Kunugi. Владелец: Sekisui Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2010-03-18.

APPARATUS AND METHOD FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION

Номер патента: US20120003396A1. Автор: . Владелец: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurweten schappelijk onderzoek TNO. Дата публикации: 2012-01-05.

PROCESS FOR HIGH EFFICIENCY, LOW POLLUTION FUEL CONVERSION

Номер патента: US20120000403A1. Автор: Taplin,JR. Harry R.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Replacement Gate Approach for High-K Metal Gate Stacks Based on a Non-Conformal Interlayer Dielectric

Номер патента: US20120001263A1. Автор: Richter Ralf,Frohberg Kai. Владелец: GLOBALFOUNDRIES INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

HIGH TEMPERATURE HEAP BIOLEACHING PROCESS

Номер патента: US20120000318A1. Автор: KOHR William J.,SHRADER Vandy,JOHANSSON Chris. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

ALIGNMENT OF DIGITAL IMAGES AND LOCAL MOTION DETECTION FOR HIGH DYNAMIC RANGE (HDR) IMAGING

Номер патента: US20120002890A1. Автор: Mathew Binu K.. Владелец: Apple Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.