Radical oxidation and/or nitridation during metal oxide layer deposition process
Номер патента: US6884685B2
Опубликовано: 26-04-2005
Автор(ы): Hsing H. Tseng, Ricardo Garcia, Tien Ying Luo
Принадлежит: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-04-2005
Автор(ы): Hsing H. Tseng, Ricardo Garcia, Tien Ying Luo
Принадлежит: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Atomic layer deposition of high k metal oxides
Номер патента: EP1535319A2. Автор: Sang-In Lee,Yoshihide Senzaki,Sang-Kyoo Lee. Владелец: Integrated Process Systems Ltd. Дата публикации: 2005-06-01.