Optical assembly for increasing the etendue
Номер патента: US09678432B2
Опубликовано: 13-06-2017
Автор(ы): Christoph Hennerkes, Ingo Saenger
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-06-2017
Автор(ы): Christoph Hennerkes, Ingo Saenger
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical assembly for increasing the etendue
Номер патента: EP2972587A1. Автор: Ingo Sänger,Christoph Hennerkes. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2016-01-20.