Peak-based endpointing for chemical mechanical polishing
Номер патента: US09564377B2
Опубликовано: 07-02-2017
Автор(ы): Boguslaw A. Swedek, David J. Lischka, Dominic J. Benvegnu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-02-2017
Автор(ы): Boguslaw A. Swedek, David J. Lischka, Dominic J. Benvegnu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Peak-based endpointing for chemical mechanical polishing
Номер патента: US09799578B2. Автор: Dominic J. Benvegnu,Boguslaw A. Swedek,David J. Lischka. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-24.