Rotary body module and chemical mechanical polishing apparatus having the same
Номер патента: US11590628B2
Опубликовано: 28-02-2023
Автор(ы): Byoungho Kwon, Hyunjoon Park, Kuntack Lee, Seungchul Han, Taemin EARMME, Yonghee Lee, Yungjun Kim
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-02-2023
Автор(ы): Byoungho Kwon, Hyunjoon Park, Kuntack Lee, Seungchul Han, Taemin EARMME, Yonghee Lee, Yungjun Kim
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Rotary body module and chemical mechanical polishing apparatus having the same
Номер патента: US20210008686A1. Автор: Kuntack Lee,Yonghee Lee,Byoungho Kwon,Taemin EARMME,Seungchul Han,Yungjun Kim,Hyunjoon Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2021-01-14.