Capacitor, MEMS device, and method of manufacturing the MEMS device
Номер патента: US09548162B2
Опубликовано: 17-01-2017
Автор(ы): Chil Young Ji
Принадлежит: LG Innotek Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-01-2017
Автор(ы): Chil Young Ji
Принадлежит: LG Innotek Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Deposition method and a deposition apparatus of fine particles, a forming method and a forming apparatus of carbon nanotubes, and a semiconductor device and a manufacturing method of the same
Номер патента: US20150207074A1. Автор: Noriyoshi Shimizu,Yuji Awano. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2015-07-23.