Method for forming cobalt barrier layer and metal interconnection process
Номер патента: US09449872B1
Опубликовано: 20-09-2016
Автор(ы): Jingxun FANG, TONG Lei
Принадлежит: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-09-2016
Автор(ы): Jingxun FANG, TONG Lei
Принадлежит: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Composite barrier layers
Номер патента: US20240006235A1. Автор: FENG CHEN,Jiajie Cen,Zheng JU,Jeffrey W. Antis,Bengamin Schmiege. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-01-04.