Method for manufacturing n-type silicon single crystal, n-type silicon single crystal ingot, silicon wafer and epitaxial silicon wafer
Номер патента: KR102315981B1
Опубликовано: 21-10-2021
Автор(ы): 야스후미 카와카미, 야스히토 나루시마, 유우지 츠츠미, 코이치 마에가와, 후쿠오 오가와
Принадлежит: 가부시키가이샤 사무코
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-10-2021
Автор(ы): 야스후미 카와카미, 야스히토 나루시마, 유우지 츠츠미, 코이치 마에가와, 후쿠오 오가와
Принадлежит: 가부시키가이샤 사무코
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
N-type silicon single crystal production method, n-type silicon single crystal ingot, silicon wafer, and epitaxial silicon wafer
Номер патента: US11377755B2. Автор: Yasuhito Narushima,Fukuo Ogawa,Koichi MAEGAWA,Yasufumi KAWAKAMI,Yuuji Tsutsumi. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2022-07-05.