Polishing system including a hydrostatic fluid bearing support
Номер патента: US6244945B1
Опубликовано: 12-06-2001
Автор(ы): David E. Weldon, Shu-Hsin Kao, Tim H. Huynh
Принадлежит: Mosel Vitelic Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-06-2001
Автор(ы): David E. Weldon, Shu-Hsin Kao, Tim H. Huynh
Принадлежит: Mosel Vitelic Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Hydrostatic fluid bearing support with adjustable inlet heights
Номер патента: US6454641B1. Автор: Shu-Hsin Kao,David E. Weldon,Tim H. Huynh. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-09-24.