COMPOUND FOR FORMING ORGANIC FILM, AND ORGANIC FILM COMPOSITION USING THE SAME, PROCESS FOR FORMING ORGANIC FILM, AND PATTERNING PROCESS
Номер патента: US20130337649A1
Опубликовано: 19-12-2013
Автор(ы): KORI Daisuke, Noda Kazumi, OGIHARA Tsutomu, Tachibana Seiichiro, WATANABE Takeru, YANO Toshiharu
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-12-2013
Автор(ы): KORI Daisuke, Noda Kazumi, OGIHARA Tsutomu, Tachibana Seiichiro, WATANABE Takeru, YANO Toshiharu
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
COMPOSITION FOR FORMING TITANIUM-CONTAINING RESIST UNDERLAYER FILM AND PATTERNING PROCESS
Номер патента: US20140193975A1. Автор: Tachibana Seiichiro,OGIHARA Tsutomu,UEDA Takafumi,TANEDA Yoshinori. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2014-07-10.