FILM THICKNESS MEASURING DEVICE AND FILM THICKNESS MEASURING METHOD
Номер патента: US20140022564A1
Опубликовано: 23-01-2014
Автор(ы): KAWAI Shingo, YAMADA Takeo, YAMAMOTO Takeshi
Принадлежит: NIRECO CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-01-2014
Автор(ы): KAWAI Shingo, YAMADA Takeo, YAMAMOTO Takeshi
Принадлежит: NIRECO CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film thickness measurement device and film thickness measurement method
Номер патента: US8885173B2. Автор: Motoyuki Watanabe,Kenichi Ohtsuka,Tetsuhisa Nakano. Владелец: Hamamatsu Photonics KK. Дата публикации: 2014-11-11.