钨化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法
Номер патента: CN110831950A
Опубликовано: 21-02-2020
Автор(ы): 斋藤昭夫, 白鸟翼, 青木雄太郎
Принадлежит: Adeka Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-02-2020
Автор(ы): 斋藤昭夫, 白鸟翼, 青木雄太郎
Принадлежит: Adeka Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin-film forming raw material, thin-film and method of producing thin-film
Номер патента: US20240301553A1. Автор: Atsushi Yamashita,Masako HATASE,Chiaki MITSUI. Владелец: Adeka Corp. Дата публикации: 2024-09-12.