Optical measuring system for thicknesses of thin and thick films and 3D surface profile using a polarized pixel array
Номер патента: KR101987402B1
Опубликовано: 10-06-2019
Автор(ы): 김재완, 김종안, 박정재, 진종한
Принадлежит: 한국표준과학연구원
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-06-2019
Автор(ы): 김재완, 김종안, 박정재, 진종한
Принадлежит: 한국표준과학연구원
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin films and surface topography measurement using polarization resolved interferometry
Номер патента: US11761753B2. Автор: Boris V. Kamenev. Владелец: Svarog LLC. Дата публикации: 2023-09-19.