半导体装置的制造方法和等离子体蚀刻装置
Номер патента: CN102169823B
Опубликовано: 25-11-2015
Автор(ы): 栉引理人, 西村荣一
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-11-2015
Автор(ы): 栉引理人, 西村荣一
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device manufacturing method and plasma etching apparatus
Номер патента: US8772172B2. Автор: Eiichi Nishimura,Masato Kushibiki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-07-08.