Verfahren zum Herstellen von Scheiben aus einkristallinem Silizium oder Germanium

31-03-1966 дата публикации

Номер:

CH0000409886A

Автор: Josef Dr Grabmeier, GRABMEIER JOSEF DR, GRABMEIER JOSEF DR, GRABMEIER,JOSEF,DR.

Принадлежит: Siemens Ag, SIEMENS AG, SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT

Контакты:

Номер заявки: 14-00-1961542

Дата заявки: 14-12-1961

[1]

[2]

[3]

CPC - классификация

B B2 B28 B28D B28D5 B28D5/B28D5/0 B28D5/00 B28D5/000 B28D5/0005 C C3 C30 C30B C30B1 C30B15 C30B15/C30B15/1 C30B15/14 C30B15/2 C30B15/20 C30B15/3 C30B15/30 C30B3 C30B33 C30B33/C30B33/0 C30B33/00 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/020 H01L21/0200 H01L21/02008 H01L21/3 H01L21/30 H01L21/302 H01L29 H01L29/H01L29/0 H01L29/04 H01L29/045 H1 H10 H10D H10D6 H10D62 H10D62/H10D62/4 H10D62/40 H10D62/405

IPC - классификация

B B2 B28 B28D B28D5 B28D5/B28D5/0 B28D5/00 C C3 C30 C30B C30B1 C30B15 C30B15/C30B15/1 C30B15/14 C30B15/2 C30B15/20 C30B15/3 C30B15/30 C30B3 C30B33 C30B33/C30B33/0 C30B33/00 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/30 H01L21/302 H01L29 H01L29/H01L29/0 H01L29/04