半導体装置の検査装置

16-02-1998 дата публикации

Номер:

JP0002714727B2

Автор: 明彦中野

Принадлежит: Sharp Corp

Контакты:

Номер заявки: 3119441

Дата заявки: 22-04-1991

CPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B3 B24B37 B24B37/B24B37/0 B24B37/00 B24B37/005 G G0 G01 G01R G01R3 G01R31 G01R31/G01R31/3 G01R31/30 G01R31/308 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/672 H01L21/6725 H01L21/67259

IPC - классификация

B B2 B24 B24B B24B3 B24B37 B24B37/B24B37/0 B24B37/04 G G0 G01 G01N G01N1 G01N1/G01N1/2 G01N1/28 G01N1/3 G01N1/32 G01N2 G01N21 G01N21/G01N21/8 G01N21/88 G01R G01R3 G01R31 G01R31/G01R31/3 G01R31/30 G01R31/308 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/00 H01L21/6 H01L21/66