多層物体のミリング

31-07-2024 дата публикации

Номер:

JP7526209B2

Автор: イェフダザー

Принадлежит: アプライドマテリアルズイスラエルリミテッド

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B2 B23 B23Q B23Q1 B23Q1/B23Q1/3 B23Q1/30 B23Q1/7 B23Q1/70 B23Q1/706 B23Q15 B23Q15/B23Q15/2 B23Q15/22 B23Q15/225 B27 B27C B27C5 B27C5/B27C5/0 B27C5/00 G G0 G05 G05B G05B2 G05B22 G05B221 G05B2219 G05B2219/G05B2219/4 G05B2219/45 G05B2219/451 G05B2219/4514 G05B2219/45145 G05B2219/49 G05B2219/490 G05B2219/4906 G05B2219/49065 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/311 H01J2237/3114 H01J2237/317 H01J2237/3174 H01J2237/31749 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/08 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/305 H01J37/3056 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6706 H01L21/67069 H01L21/6709 H01L21/67092

IPC - классификация

B B2 B23 B23Q B23Q1 B23Q1/B23Q1/3 B23Q1/30 B23Q1/7 B23Q1/70 H H0 H01 H01J H01J2 H01J27 H01J27/H01J27/2 H01J27/22

Получить PDF