Vicinal gallium nitride substrate for high quality homoepitaxy

10-10-2006 дата публикации

Номер:

US7118813B2

Автор: George R. Brandes, Jeffrey S. Flynn, Robert P. Vaudo, Xueping Xu

Принадлежит: Cree Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C3 C30 C30B C30B2 C30B25 C30B25/C30B25/1 C30B25/18 C30B29 C30B29/C30B29/4 C30B29/40 C30B29/403 C30B29/406 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/2 H01L21/20 H01L29 H01L29/H01L29/0 H01L29/04 H01L29/045 H01L29/2 H01L29/20 H01L29/200 H01L29/2003 Y Y1 Y10 Y10T Y10T4 Y10T42 Y10T428 Y10T428/Y10T428/3 Y10T428/31 Y10T8 Y10T83 Y10T83/Y10T83/0 Y10T83/05 Y10T83/052 Y10T83/0524

IPC - классификация

C C3 C30 C30B C30B2 C30B25 C30B25/C30B25/1 C30B25/18 C30B29 C30B29/C30B29/4 C30B29/40 C30B29/403 C30B9 C30B9/C30B9/1 C30B9/10

Получить PDF