METHOD FOR EXTENDING LIFETIME OF AN ION SOURCE

20-09-2012 дата публикации

Номер:

US20120235058A1

Автор: Ashwini Sinha, Lloyd A. BROWN

Принадлежит: Praxair Technology Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/00 H01J2237/002 H01J2237/02 H01J2237/022 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/08 H01J37/3 H01J37/31 H01J37/317 H01J37/3171

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J27 H01J27/H01J27/0 H01J27/08 H01J27/1 H01J27/14 H05 H05H H05H5 H05H5/H05H5/0 H05H5/08

Получить PDF