Sputtering Cathode, Sputtering Device, and Method for Producing Film-Formed Body

04-07-2019 дата публикации

Номер:

US20190203346A1

Автор: Hiroshi Iwata, Ippei Sato, Keiichi Hashimoto, Naonori SHIBATA, Naoya Okada, Toshiyuki NEDU, Yuta TAKAKUWA

Принадлежит: Keihin Ramtech Co Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/34 C23C14/340 C23C14/3407 C23C14/35 C23C14/352 C23C14/5 C23C14/54 C23C14/541 C23C14/56 C23C14/562 C23C14/564 F F2 F28 F28F F28F3 F28F3/F28F3/1 F28F3/12 F28F5 F28F5/F28F5/0 F28F5/02 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/327 H01J37/3275 H01J37/32752 H01J37/3277 H01J37/34 H01J37/340 H01J37/3405 H01J37/341 H01J37/3411 H01J37/3414 H01J37/342 H01J37/3423 H01J37/344 H01J37/3447 H01J37/345 H01J37/3452 H01J37/348 H01J37/3488 H05 H05H H05H1 H05H1/H05H1/4 H05H1/46 H05H1/5 H05H1/50

IPC - классификация

F F2 F28 F28F F28F3 F28F3/F28F3/1 F28F3/12 F28F5 F28F5/F28F5/0 F28F5/02 H H0 H05 H05H H05H1 H05H1/H05H1/5 H05H1/50

Получить PDF