PLASMA PROCESSING APPARATUS AND GAS INTRODUCING METHOD

03-06-2021 дата публикации

Номер:

US20210166918A1

Автор: Keigo TOYODA, Manabu Tsuruta, Mayo UDA

Принадлежит: Tokyo Electron Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/00 H01J2237/006 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/20 H01J37/3 H01J37/32 H01J37/320 H01J37/3208 H01J37/32082 H01J37/324 H01J37/3244 H01J37/32449 H01J37/327 H01J37/3271 H01J37/32715 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6706 H01L21/67069 H01L21/68 H01L21/683 H01L21/6831

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/20 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/68 H01L21/683 H01L21/6831 H01L21/6833

Получить PDF