Slurry for chemical-mechanical polishing of copper and use thereof

27-05-2014 дата публикации

Номер:

US8734665B2

Автор: Eric J. White, Eva A. Shah, Graham M. Bates, Jason P. Ritter, Joseph K. Comeau, Matthew T. Tiersch, Michael T. Brigham

Принадлежит: International Business Machines Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/02 C09K C09K3 C09K3/C09K3/1 C09K3/14 C09K3/146 C09K3/1463 C09K3/147 C09K3/1472 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212 H01L23 H01L23/H01L23/5 H01L23/53 H01L23/532 H01L23/5323 H01L23/53238 H01L29 H01L292 H01L2924 H01L2924/H01L2924/0 H01L2924/00 H01L2924/000 H01L2924/0002

IPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F3 C23F3/C23F3/0 C23F3/00 C23F3/04 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

Получить PDF