Method and apparatus for chemical-mechanical planarization of microelectronic substrates with a carrier and membrane
Номер патента: US6872131B2
Опубликовано: 29-03-2005
Автор(ы): Nathan R. Brown
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-03-2005
Автор(ы): Nathan R. Brown
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for chemical-mechanical planarization of microelectronic substrates with a carrier and membrane
Номер патента: US20010039173A1. Автор: Nathan Brown. Владелец: BROWN NATHAN R.. Дата публикации: 2001-11-08.