Multi-spectral microscopic imaging spanning the visible and short-wave infrared range
Номер патента: EP4016190A1
Опубликовано: 22-06-2022
Автор(ы): Abdulkadir YURT, Geert Vanmeerbeeck, Murali Jayapala, Ziduo Lin
Принадлежит: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-06-2022
Автор(ы): Abdulkadir YURT, Geert Vanmeerbeeck, Murali Jayapala, Ziduo Lin
Принадлежит: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical metrology utilizing short-wave infrared wavelengths
Номер патента: US12111580B2. Автор: Vladimir Levinski,Amnon Manassen,Raviv YOHANAN,Avi Abramov,Yoav GRAUER,Ariel Hildesheim,Michael SHENTCIS,Shlomo Eisenbach,Eitan Hajaj,Etay Lavert,Diana Shaphirov,Isaac Salib,Iftach Nir. Владелец: KLA Corp. Дата публикации: 2024-10-08.