Method for depositing a silicon oxide layer
Номер патента: US5965203A
Опубликовано: 12-10-1999
Автор(ы): Oswald Spindler, Zvonimir Gabric
Принадлежит: SIEMENS AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-10-1999
Автор(ы): Oswald Spindler, Zvonimir Gabric
Принадлежит: SIEMENS AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
METHOD FOR DEPOSITING A THIN LAYER ON AN OXIDE LAYER OF A SUBSTRATE
Номер патента: FR2869325B1. Автор: Jean Francois Damlencourt,Olivier Renault. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2006-06-16.