Silicon oxidation method
Номер патента: US20040262682A1
Опубликовано: 30-12-2004
Автор(ы): Damien Lenoble
Принадлежит: STMICROELECTRONICS SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-12-2004
Автор(ы): Damien Lenoble
Принадлежит: STMICROELECTRONICS SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of forming a silicon oxide layer using pulsed nitrogen plasma implantation
Номер патента: US20020127882A1. Автор: Wei-Wen Chen. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2002-09-12.