Silicon oxidation method

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Method of forming a silicon oxide layer using pulsed nitrogen plasma implantation

Номер патента: US20020127882A1. Автор: Wei-Wen Chen. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2002-09-12.

Method of Forming a Nitrogen-Enriched Region within Silicon-Oxide-Containing Masses

Номер патента: US20090215253A1. Автор: Gurtej S. Sandhu,John T. Moore,Neal R. Rueger. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-08-27.

Etching of silicon oxide film

Номер патента: US20080254636A1. Автор: Shigeki Tozawa,Yusuke Muraki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-10-16.

Method for forming silicon oxide film and for manufacturing capacitor and semiconductor device

Номер патента: US20070218637A1. Автор: Yoshiko Harada,Naotada Ogura. Владелец: Yamaha Corp. Дата публикации: 2007-09-20.

Method of post-deposition treatment for silicon oxide film

Номер патента: US12100588B2. Автор: Toshiya Suzuki. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-09-24.

Semiconductor device having gate insulating film of silicon oxide and silicon nitride films

Номер патента: US20010019158A1. Автор: Masahiro Ushiyama,Toshiyuki Mine,Shimpei Tsujikawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-09-06.

Method and apparatus for forming silicon oxide film on tungsten film

Номер патента: US20190043712A1. Автор: Koji Sasaki,Toshiyuki Ikeuchi,Kyungseok KO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-07.

Method and apparatus for forming silicon oxide film on tungsten film

Номер патента: US10636649B2. Автор: Koji Sasaki,Toshiyuki Ikeuchi,Kyungseok KO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-04-28.

Method of post-deposition treatment for silicon oxide film

Номер патента: US20230343587A1. Автор: Toshiya Suzuki. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-10-26.

Silicon oxide based gate dielectric layer

Номер патента: US20040097026A1. Автор: David Müller,Gregory Timp. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2004-05-20.

Silicon oxide based gate dielectric layer

Номер патента: US20020100946A1. Автор: David Müller,Gregory Timp. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2002-08-01.

Structures containing titanium silicon oxide

Номер патента: US20100176442A1. Автор: Leonard Forbes,Kie Y. Ahn. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-07-15.

Ion-assisted oxidation methods and the resulting structures

Номер патента: US20020048888A1. Автор: Li Li,Pai-Hung Pan. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-04-25.

METHODS FOR FORMING DOPED SILICON OXIDE THIN FILMS

Номер патента: US20150147875A1. Автор: Fukuda Hideaki,NISKANEN Antti,Fukazawa Atsuki,Nakano Ryu,Haukka Suvi,Takamure Noboru,Namba Kunitoshi. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-28.

High-K-Last Manufacturing Process for Embedded Memory with Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon (Sonos) Memory Cells

Номер патента: US20170194334A1. Автор: Wu Wei Cheng,Chen I-Ching. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-06.

Process for minimizing boron depletion in N-channel FET at the silicon-silicon oxide interface

Номер патента: US4596068A. Автор: Solomon F. Peters, Jr.. Владелец: HARRIS CORP. Дата публикации: 1986-06-24.

Method for creating barriers to metal contamination in silicon oxides

Номер патента: US20040121550A1. Автор: Vladimir Zubkov,Sheldon Aronowitz,Grace Sun. Владелец: LSI Logic Corp. Дата публикации: 2004-06-24.

Selective removal of a silicon oxide layer

Номер патента: US20100041189A1. Автор: Markus Müller,Pascal Besson,Alexandre Mondot. Владелец: NXP BV. Дата публикации: 2010-02-18.

Semiconductor device, method for forming silicon oxide film, and apparatus for forming silicon oxide film

Номер патента: EP1130634A1. Автор: Tadahiro Ohmi. Владелец: OHMI, Tadahiro. Дата публикации: 2001-09-05.

Method for fabricating a nitrided silicon-oxide gate dielectric

Номер патента: TWI232522B. Автор: Toshiharu Furukawa,James S Nakos,Anthony I Chou,Jay S Burnham,Margaret L Gibson. Владелец: Ibm. Дата публикации: 2005-05-11.

Etching of silicon oxide film

Номер патента: TW200901313A. Автор: Shigeki Tozawa,Yusuke Muraki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-01-01.

Method and Apparatus for Forming Silicon Oxide Film, and Storage Medium

Номер патента: US20190080913A1. Автор: HISHIYA Shingo,KIKAMA Eiji,KO Kyungseok,SHIMA Hiromi. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

Method of forming silicon oxide film

Номер патента: US9472394B2. Автор: Jun Sato,Yuichiro Morozumi,Hiroki Murakami,Toshiyuki Ikeuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-18.

Plasma treatment to improve adhesion between hardmask film and silicon oxide film

Номер патента: US09865459B2. Автор: Abhijit Basu Mallick,Pramit MANNA,Rui CHENG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-09.

Semiconductor device with impurity layer as channel stopper immediately under silicon oxide film

Номер патента: US5994190A. Автор: Shingo Hashimoto. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 1999-11-30.

Forming method of silicon oxide film, and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: TW201101391A. Автор: Yoshinobu Tanaka,Hirokazu Ueda,Yusuke Ohsawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-01-01.

FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20150332917A1. Автор: Sato Jun,Chou Pao-Hwa. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-19.

Reduced pattern loading using silicon oxide multi-layers

Номер патента: US20120225565A1. Автор: Paul Edward Gee,Shankar Venkataraman,Sidharth Bhatia. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-09-06.

Method and apparatus for forming silicon oxide film on tungsten film

Номер патента: US20190043712A1. Автор: Koji Sasaki,Toshiyuki Ikeuchi,Kyungseok KO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-07.

Method for Growing Very Thick Thermal Local Silicon Oxide Structures and Silicon Oxide embedded Spiral Inductors

Номер патента: US20200105860A1. Автор: Osman Ersed Akcasu. Владелец: Nanohenry Inc. Дата публикации: 2020-04-02.

Self-aligned shielding of silicon oxide

Номер патента: US09875907B2. Автор: Fei Wang,Mikhail Korolik,Robert Jan Visser,Nitin K. Ingle,Anchuan Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-23.

Self-aligned shielding of silicon oxide

Номер патента: US09859128B2. Автор: Fei Wang,Mikhail Korolik,Robert Jan Visser,Nitin K. Ingle,Anchuan Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-02.

Method for Reducing Loss of Dielectric Layer in IO Silicon Oxide Removal Process

Номер патента: US20240071760A1. Автор: Zhenquan Li. Владелец: Shanghai Huali Integrated Circuit Corp. Дата публикации: 2024-02-29.

Method and apparatus for depositing a silicon oxide film

Номер патента: US20020090455A1. Автор: Katsuhisa Yuda,Manabu Ikemoto. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 2002-07-11.

A semiconductor device having fluorine doped silicon oxide films

Номер патента: GB2357902A. Автор: Tatsuya Usami,Hiraku Ishikawa. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2001-07-04.

Method and device for etching silicon oxide

Номер патента: US12125709B2. Автор: Akifumi YAO,Shoi Suzuki. Владелец: Central Glass Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-22.

Method and device for etching silicon oxide

Номер патента: US11715641B2. Автор: Akifumi YAO,Shoi Suzuki. Владелец: Central Glass Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-01.

Silicon oxide silicon nitride stack ion-assisted etch

Номер патента: US09997366B2. Автор: Qing Xu,Qian Fu,Zhongkui Tan,Hua Xiang,Wenbing HU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-06-12.

Selective deposition of silicon oxide

Номер патента: US20190115207A1. Автор: Dennis M. Hausmann,David Charles Smith. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2019-04-18.

Method of etching silicon oxide film

Номер патента: US20150056808A1. Автор: Kazuhiro Kubota,Yoshinobu Hayakawa,Masahiro Ogasawara,Hikaru Watanabe,Masafumi Urakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-02-26.

Methods of uniformly removing silicon oxide and an intermediate semiconductor device

Номер патента: US8435904B2. Автор: Nishant Sinha,Joseph N. Greeley,Gurtej S. Sandhu. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2013-05-07.

Methods of removing silicon oxide and gaseous mixtures for achieving same

Номер патента: US20090275205A1. Автор: Paul A. Morgan,J. Neil Greeley,Mark W. Kiehlbauch. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2009-11-05.

Precision masking using silicon nitride and silicon oxide

Номер патента: US3592707A. Автор: Ralph J Jaccodine. Владелец: Bell Telephone Laboratories Inc. Дата публикации: 1971-07-13.

Polishing liquid composition for silicon oxide films

Номер патента: US20230279266A1. Автор: Norihito Yamaguchi,Masaki Inoue. Владелец: Kao Corp. Дата публикации: 2023-09-07.

Low temperature silicon oxide gap fill

Номер патента: WO2023230065A1. Автор: Srinivas D. Nemani,Ellie Y. Yieh,Bhargav S. CITLA,Soham ASRANI. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-11-30.

Low temperature silicon oxide gap fill

Номер патента: US20230386829A1. Автор: Srinivas D. Nemani,Ellie Y. Yieh,Bhargav S. CITLA,Soham ASRANI. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-30.

Polishing liquid composition for silicon oxide film

Номер патента: US11814547B2. Автор: Norihito Yamaguchi,Haruhiko Doi,Masaki Inoue,Masato Sugahara,Takanao SEIKE. Владелец: Kao Corp. Дата публикации: 2023-11-14.

Process for forming silicon oxide film

Номер патента: US5314724A. Автор: Hatanaka Masanobu,Yuji Furumura,Atuhiro Tsukune. Владелец: Fujitsu Vlsi Ltd. Дата публикации: 1994-05-24.

Method of forming a silicon oxide layer

Номер патента: US20020197888A1. Автор: Tang Yu,Cheng-Chieh Huang,Tse-Wei Liu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2002-12-26.

Method and device for etching silicon oxide

Номер патента: US20230274944A1. Автор: Akifumi YAO,Shoi Suzuki. Владелец: Central Glass Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-31.

Deposition of silicon oxide films

Номер патента: US20020155730A1. Автор: Kevin Mukai,Srinivas Nemani. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2002-10-24.

Etch stop use in etching of silicon oxide

Номер патента: US20010003679A1. Автор: J. Rolfson,David Cathey,Valerie Ward,Karen Winchester. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-06-14.

Silicon oxide silicon nitride stack ion-assisted etch

Номер патента: US20180108532A1. Автор: Qing Xu,Qian Fu,Zhongkui Tan,Hua Xiang,Wenbing HU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-04-19.

Polishing liquid composition for silicon oxide film

Номер патента: US11795346B2. Автор: Yohei Uchida. Владелец: Kao Corp. Дата публикации: 2023-10-24.

Etching solution having silicon oxide corrosion inhibitor and method of using the same

Номер патента: EP3666852A2. Автор: LEE Yi-Chia,LIU Wen Dar,Chang Chung-Yi. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-06-17.

Method and apparatus for etching the silicon oxide layer of a semiconductor substrate

Номер патента: US20120196445A1. Автор: Kwon-Taek Lim. Владелец: Pukyong National University. Дата публикации: 2012-08-02.

Etching solution having silicon oxide corrosion inhibitor and method of using the same

Номер патента: EP3666852A3. Автор: LEE Yi-Chia,LIU Wen Dar,Chang Chung-Yi. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-08-19.

Anodic oxidizer, anodic oxidation method

Номер патента: US20040084317A1. Автор: Mitsuru Ushijima,Yasushi Yagi,Kazutsugu Aoki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-05-06.

Anodic oxidization methods

Номер патента: US20010021566A1. Автор: Yasushi Kubota,Hideki Uochi,Hongyong Zhang,Yutaka Takafuji,Yosuke Tsukamoto. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-09-13.

Silicon oxide patterning using cvd photoresist

Номер патента: WO2002027777A3. Автор: Gill Lee. Владелец: Infineon Technologies Corp. Дата публикации: 2002-08-29.

Silicon oxide patterning using cvd photoresist

Номер патента: EP1320877A2. Автор: Gill Lee. Владелец: Infineon Technologies North America Corp. Дата публикации: 2003-06-25.

Silicon oxide patterning using cvd photoresist

Номер патента: WO2002027777A2. Автор: Gill Lee. Владелец: Infineon Technologies North America Corp.. Дата публикации: 2002-04-04.

Selectively lateral growth of silicon oxide thin film

Номер патента: US20170125239A1. Автор: Abhijit Basu Mallick,Yihong Chen,Kelvin Chan,Shaunak Mukherjee. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-05-04.

Selectively lateral growth of silicon oxide thin film

Номер патента: US20170323777A1. Автор: Abhijit Basu Mallick,Yihong Chen,Kelvin Chan,Shaunak Mukherjee. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-11-09.

Polishing liquid composition for silicon oxide film

Номер патента: US20230420260A1. Автор: Norihito Yamaguchi,Masato Sugahara. Владелец: Kao Corp. Дата публикации: 2023-12-28.

Method of improving the radiation resistance of silicon transistors with a silicon oxide coating

Номер патента: US3829961A. Автор: R Bauerlein,D Uhl. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1974-08-20.

Silicon oxide film growing apparatus

Номер патента: US5376176A. Автор: Atsushi Kuriyama. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 1994-12-27.

Starting material for use in forming silicon oxide film and method for forming silicon oxide film using same

Номер патента: US20120071006A1. Автор: Song Yun Kang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-03-22.

Starting material for use in forming silicon oxide film and method for forming silicon oxide film using same

Номер патента: US8753988B2. Автор: Song Yun Kang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-06-17.

Method and system for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers

Номер патента: US20230349043A1. Автор: Takashi Yoshida,René Vervuurt. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-11-02.

Silicon Oxide Layer for Oxidation Resistance and Method Forming Same

Номер патента: US20200161170A1. Автор: Chung-Chi Ko,Wan-Yi Kao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-05-21.

Low temperature deposition of silicon oxide films

Номер патента: SG194085A1. Автор: Baljit Singh,Curtis Dove,Mehdi Balooch,Eduard Gil Paran Tesnado. Владелец: Asia Union Electronic Chemical Corp. Дата публикации: 2013-11-29.

Liquid phase conformal silicon oxide spin-on deposition

Номер патента: WO2022169934A1. Автор: Robert D. Clark. Владелец: Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.. Дата публикации: 2022-08-11.

Liquid phase conformal silicon oxide spin-on deposition

Номер патента: US20220254630A1. Автор: Robert D. Clark. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

Low temperature deposition of silicon oxide films

Номер патента: WO2012141908A8. Автор: Baljit Singh,Curtis Dove,Mehdi Balooch,Eduard Gil Paran Tesnado. Владелец: Asia Union Electronic Chemical Corporation. Дата публикации: 2012-11-22.

Low temperature deposition of silicon oxide films

Номер патента: EP2697826A1. Автор: Baljit Singh,Curtis Dove,Mehdi Balooch,Eduard Gil Paran Tesnado. Владелец: Asia Union Electronic Chemical Corp. Дата публикации: 2014-02-19.

Composition for atomic layer deposition of high quality silicon oxide thin films

Номер патента: EP4288579A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Steven G. Mayorga. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2023-12-13.

Composition for atomic layer deposition of high quality silicon oxide thin films

Номер патента: US20240158915A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Steven G. Mayorga. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-05-16.

Method and apparatus for silicone oxide deposition on large area substrates

Номер патента: EP1644972A2. Автор: Wendell T. Blonigan,Quanyuan Shang,Sanjay D. Yadav. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2006-04-12.

Surface oxidation method for wafer

Номер патента: US11094534B2. Автор: HAO WANG,Xiangyu Li,Huijun Xu,Yujia ZHUANG. Владелец: Shanghai Simgui Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-17.

Surface oxidation method for wafer

Номер патента: US20200343086A1. Автор: HAO WANG,Xiangyu Li,Huijun Xu,Yujia ZHUANG. Владелец: Shanghai Simgui Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-29.

Selective removal of a silicon oxide layer

Номер патента: TW200746311A. Автор: Markus Müller,Pascal Besson,Alexandre Mondot. Владелец: St Microelectronics Crolles 2. Дата публикации: 2007-12-16.

Silicon oxide film evaluation method and semiconductor device fabrication method

Номер патента: US20040082084A1. Автор: Takehiko Okajima. Владелец: Oki Electric Industry Co Ltd. Дата публикации: 2004-04-29.

Silicon oxide film evaluation method and semiconductor device fabrication method

Номер патента: US6890776B2. Автор: Takehiko Okajima. Владелец: Oki Electric Industry Co Ltd. Дата публикации: 2005-05-10.

Method for forming silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) memory cell

Номер патента: US11956966B2. Автор: Chia-Ching Hsu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2024-04-09.

Thin film storage transistor with silicon oxide nitride charge trapping layer

Номер патента: US20220392529A1. Автор: Scott Brad Herner. Владелец: Sunrise Memory Corp. Дата публикации: 2022-12-08.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon memory cell

Номер патента: US20240215251A1. Автор: Chia-Ching Hsu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) memory cell for FINFET and forming method thereof

Номер патента: US11882699B2. Автор: LIANG Yi,Zhiguo Li,Chi REN. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2024-01-23.

Method of manufacturing a memory device comprising introducing a dopant into silicon oxide

Номер патента: US11991939B2. Автор: Yoshinori Kumura. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-05-21.

Method of forming silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) memory cell for FinFET

Номер патента: US11856771B2. Автор: LIANG Yi,Zhiguo Li,Chi REN. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2023-12-26.

Method for the formation of a silicon oxide film

Номер патента: US5372842A. Автор: Takashi Nakamura,Motoshi Sasaki,Katsutoshi Mine. Владелец: Dow Corning Toray Silicone Co Ltd. Дата публикации: 1994-12-13.

ReRAM cells with diffusion-resistant metal silicon oxide layers

Номер патента: US20160028008A1. Автор: Yun Wang,Federico Nardi. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2016-01-28.

Silicon oxide germanium resonant tunneling

Номер патента: US5466949A. Автор: Yasutoshi Okuno. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1995-11-14.

METHODS FOR PATTERNING A SILICON OXIDE-SILICON NITRIDE-SILICON OXIDE STACK AND STRUCTURES FORMED BY THE SAME

Номер патента: US20210183641A1. Автор: HSIEH Yuan-Chih,Wang Yi-Ren. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

Silicon oxide liner for reduced nickel silicide bridging

Номер патента: EP1327261A1. Автор: Minh Van Ngo,Christy Mei-Chu Woo. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 2003-07-16.

Silicon oxide liner for reduced nickel silicide bridging

Номер патента: WO2002029882A1. Автор: Minh Van Ngo,Christy Mei-Chu Woo. Владелец: Advanced Micro Devices, Inc.. Дата публикации: 2002-04-11.

Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon (SONOS) Type Nonvolatile Memory And Method Of Fabricating The Same

Номер патента: KR100521371B1. Автор: 최용석. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-10-12.

Silicon oxide insulator (SOI) semiconductor having selectively linked body

Номер патента: US6020222A. Автор: Donald Wollesen. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 2000-02-01.

Methods of highly selective silicon oxide removal

Номер патента: US20240087910A1. Автор: Nitin K. Ingle,Dongqing Yang,Lala Zhu,Shi Che. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-14.

Methods of highly selective silicon oxide removal

Номер патента: WO2024058794A1. Автор: Nitin K. Ingle,Lala Zhu,Shi Che,Dongquing YANG. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-03-21.

Physical unclonable functions with copper-silicon oxide programmable metallization cells

Номер патента: US11869852B2. Автор: Michael Kozicki,Wenhao Chen. Владелец: Arizona Board of Regents of ASU. Дата публикации: 2024-01-09.

Physical unclonable functions with copper-silicon oxide programmable metallization cells

Номер патента: US20200381372A1. Автор: Michael Kozicki,Wenhao Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-12-03.

SELECTIVE PLASMA ETCHING OF SILICON OXIDE RELATIVE TO SILICON NITRIDE BY GAS PULSING

Номер патента: US20200234968A1. Автор: Wang Mingmei,Zhang Du,Tsai Yu-Hao. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-23.

Silicon oxide silicon nitride stack stair step etch

Номер патента: US20210407811A1. Автор: Qian Fu,Zhongkui Tan,Ce Qin,Sam Do Lee. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2021-12-30.

Silicon oxide silicon nitride stack stair step etch

Номер патента: WO2019108844A1. Автор: Qian Fu,Zhongkui Tan,Ce Qin,Sam Do Lee. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2019-06-06.

Silicon oxide silicon nitride stack stair step etch

Номер патента: SG11202004796PA. Автор: Qian Fu,Zhongkui Tan,Ce Qin,Sam Do Lee. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2020-06-29.

Silicon oxide film forming method and plasma oxidation apparatus

Номер патента: US20130012033A1. Автор: Yoshihiro Sato,Yoshiro Kabe,Shuichiro Otao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-01-10.

Method of forming silicon oxide film

Номер патента: US20130109197A1. Автор: Jun Sato,Kazuhide Hasebe,Yuichiro Morozumi,Hiroki Murakami,Toshiyuki Ikeuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-02.

Method For Selectively Etching Silicon Oxide Film

Номер патента: US20190027373A1. Автор: KWON Bong-Soo,Sim Tae-Yong. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-24.

Method For Selectively Etching Silicon Oxide Film

Номер патента: US20190027374A1. Автор: Lee Jong-Bae,Sim Tae-Yong. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-24.

Silicon Oxide Selective Dry Etch Process

Номер патента: US20210066088A1. Автор: ZHANG Qi,Lu Xinliang,Chung Hua,Yang Haichun. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

Etching Solution Having Silicon Oxide Corrosion Inhibitor And Method Of Using The Same

Номер патента: US20200157422A1. Автор: LEE Yi-Chia,LIU Wen Dar,Chang Chung-Yi. Владелец: Versum Materials US, LLC. Дата публикации: 2020-05-21.

Method to selectively etch silicon nitride to silicon oxide using water crystallization

Номер патента: US20240128089A1. Автор: Mingmei Wang,Yu-Hao Tsai,Du Zhang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Dry etching method of semiconductor substrate and dry etching method of silicon oxide film

Номер патента: EP4152362A1. Автор: Tatsuo Abe,Tsuyoshi Ohtsuki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-22.

Method for dry-etching semiconductor substrate and method for dry-etching silicon oxide film

Номер патента: US20230207399A1. Автор: Tatsuo Abe,Tsuyoshi Ohtsuki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Chemical vapor deposition of silicon oxide films using alkylsiloxane oligomers with ozone

Номер патента: EP1204987A4. Автор: ZHENG Yuan,Sanjeev Jain. Владелец: ASML US Inc. Дата публикации: 2002-10-30.

Chemical vapor deposition of silicon oxide films using alkylsiloxane oligomers with ozone

Номер патента: EP1204987A1. Автор: ZHENG Yuan,Sanjeev Jain. Владелец: ASML US Inc. Дата публикации: 2002-05-15.

Method to produce ultrathin porous silicon-oxide layer

Номер патента: US5830532A. Автор: Yi Wei,Robert M. Wallace,Shaoping Tang. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1998-11-03.

Aqueous Solution for Etching Silicon Oxide

Номер патента: US20220098485A1. Автор: Guy Vereecke. Владелец: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC. Дата публикации: 2022-03-31.

Method of selectively etching the silicon nitride film on the silicon oxide layer

Номер патента: TW389967B. Автор: Hideyuki Shoji,Mitsunari Sukekawa. Владелец: Nippon Electric Co. Дата публикации: 2000-05-11.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: IL182797A0. Автор: . Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-08-19.

Method for making silicon oxide/silicon nitride/silicon oxide structure

Номер патента: TW200426919A. Автор: Hsiang-Lan Lung,Ching-Tang Wang. Владелец: Macronix Int Co Ltd. Дата публикации: 2004-12-01.

Passivation of silicon oxide during photoresist burnoff

Номер патента: US4544416A. Автор: Charles G. Meador,Eddie H. Breashears. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1985-10-01.

Method for Growing Very Thick Thermal Local Silicon Oxide Structures and Silicon Oxide embedded Spiral Inductors

Номер патента: US20200105860A1. Автор: Osman Ersed Akcasu. Владелец: Nanohenry Inc. Дата публикации: 2020-04-02.

METHOD FOR SELECTIVATING DOTED SILICON OXIDE ON UNDOTIZED SILICON OXIDE

Номер патента: DE60135844D1. Автор: Li Li,Kei-Yu Ko,Guy T Blalock. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2008-10-30.

Method and apparatus for depositing a silicon oxide film

Номер патента: TW507018B. Автор: Katsuhisa Yuda,Manabu Ikemoto. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 2002-10-21.

Chemical vapor deposition of silicon oxide films using alkylsiloxane oligomers with ozone

Номер патента: AU5494600A. Автор: ZHENG Yuan,Sanjeev Jain. Владелец: Silicon Valley Group Thermal Systems LLC. Дата публикации: 2001-01-30.

Method and apparatus for forming silicon oxide fil

Номер патента: TWI357109B. Автор: Katsushi Suzuki,Shinji Mori,Keisuke Suzuki,Kenji Tago,Kazuo Saki,Kimiya Aoki,Asami Shirakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-01-21.

Dry etching method of semiconductor substrate and dry etching method of silicon oxide film

Номер патента: EP4152362A4. Автор: Tatsuo Abe,Tsuyoshi Ohtsuki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-21.

Methods of etching into silicon oxide-containing m

Номер патента: TWI351739B. Автор: Russell A Benson. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2011-11-01.

Compositions and Methods For CMP of Silicon Oxide, Silicon Nitride, and Polysilicon Materials

Номер патента: US20150024595A1. Автор: MATEJA Daniel,WARD William,Moeggenborg Kevin,Dinega Dimitry. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-22.

POLISHING COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVELY POLISHING SILICON NITRIDE OVER SILICON OXIDE FILMS

Номер патента: US20160079080A1. Автор: Mishra Abhudaya,Wang Luling. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-17.

METHOD OF ETCHING SILICON OXIDE AND SILICON NITRIDE SELECTIVELY AGAINST EACH OTHER

Номер патента: US20180076048A1. Автор: GOHIRA Taku,Tominaga Sho. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

SILICON OXIDE SILICON NITRIDE STACK ION-ASSISTED ETCH

Номер патента: US20180108532A1. Автор: Xu Qing,Xiang Hua,TAN Zhongkui,HU Wenbing,FU Qian. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-19.

METHOD OF SELECTIVELY ETCHING FIRST REGION MADE OF SILICON NITRIDE AGAINST SECOND REGION MADE OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20180166303A1. Автор: KUMAKURA Sho,TABATA Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-14.

Plasma etching method for selectively etching silicon oxide with respect to silicon nitride

Номер патента: US20200161138A1. Автор: Akihiro Tsuji,Hikaru Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-21.

APPARATUS FOR SELECTIVELY ETCHING FIRST REGION MADE OF SILICON NITRIDE AGAINST SECOND REGION MADE OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20200185238A1. Автор: KUMAKURA Sho,TABATA Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2020-06-11.

METHOD OF SELECTIVELY ETCHING FIRST REGION MADE OF SILICON NITRIDE AGAINST SECOND REGION MADE OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20190252217A1. Автор: KUMAKURA Sho,TABATA Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-15.

POLISHING COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVELY POLISHING SILICON NITRIDE OVER SILICON OXIDE FILMS

Номер патента: US20150284593A1. Автор: Mishra Abhudaya,Wang Luling. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-08.

PLASMA ETCHING METHOD FOR SELECTIVELY ETCHING SILICON OXIDE WITH RESPECT TO SILICON NITRIDE

Номер патента: US20180366338A1. Автор: Watanabe Hikaru,TSUJI Akihiro. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2018-12-20.

Method for one-to-one polishing of silicon nitride and silicon oxide

Номер патента: US7629258B2. Автор: Suryadevara V. Babu,Anita Natarajan. Владелец: Infotonics Technology Center Inc. Дата публикации: 2009-12-08.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: TWI347356B. Автор: Jeffrey Dysard,Timothy Johns. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2011-08-21.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: TW200732460A. Автор: Jeffrey Dysard,Timothy Johns. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-09-01.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: SG157354A1. Автор: Phillip Carter,Timothy Johns. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2009-12-29.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: TWI323274B. Автор: Phillip W Carter,Timothy P Johns. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2010-04-11.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: MY160422A. Автор: W Carter Phillip,P Johns Timothy. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2017-03-15.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: MY149519A. Автор: Phillip W Carter,Timothy P Johns. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2013-09-13.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: IL182797A. Автор: . Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2011-08-31.

Polishing composition and method for high silicon nitride to silicon oxide removal rate ratios

Номер патента: IL182797D0. Автор: . Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2007-08-19.

Etching composition for silicon oxide and silicon nitride

Номер патента: KR101757639B1. Автор: 김동현,이명호,문재웅,정태수,강교원. Владелец: 주식회사 이엔에프테크놀로지. Дата публикации: 2017-07-13.

Method for reducing silicon damage in silicon oxide wet etching

Номер патента: CN107170665B. Автор: 李阳柏,赵庆鹏. Владелец: Shanghai Huali Microelectronics Corp. Дата публикации: 2020-06-16.

Plasma etching method for selectively etching silicon oxide with respect to silicon nitride

Номер патента: US10580655B2. Автор: Akihiro Tsuji,Hikaru Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-03.

Silicon nitride-silicon oxide etchant

Номер патента: CA959388A. Автор: Anthony S. Squillace,Jerald J. Rudmann,Albert E. Martin (Jr.). Владелец: North American Rockwell Corp. Дата публикации: 1974-12-17.

Method and apparatus for etching the silicon oxide layer of a semiconductor substrate

Номер патента: US20120196445A1. Автор: Kwon-Taek Lim. Владелец: Pukyong National University. Дата публикации: 2012-08-02.

DIFFERENTIAL SILICON OXIDE ETCH

Номер патента: US20140080309A1. Автор: Wang Yunyu,Wang Anchuan,Zhang Jingchun,Ingle Nitin K.,Park Seung H.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-03-20.

POLISHING LIQUID COMPOSITION FOR SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20220002588A1. Автор: Inoue Masaki,Doi Haruhiko,YAMAGUCHI Norihito,SUGAHARA Masato,SEIKE Takanao. Владелец: KAO CORPORATION. Дата публикации: 2022-01-06.

SELECTIVE DEPOSITION OF SILICON OXIDE FILMS

Номер патента: US20170004974A1. Автор: Mallick Abhijit Basu,Manna Pramit. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-05.

PATTERNING OF SILICON OXIDE LAYERS USING PULSED LASER ABLATION

Номер патента: US20170005206A1. Автор: Moslehi Mehrdad M.,Rana Virendra V.,Anbalagan Pranav,Saraswat Vivek. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-05.

Method of Removing Silicon Oxide Film

Номер патента: US20190027371A1. Автор: Yamasaki Hideaki,KIKUCHI Takamichi,MURAKAMI Seishi. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-24.

Method for Masking a Surface Comprising Silicon Oxide

Номер патента: US20160035570A1. Автор: Laermer Franz. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

GAS-PHASE SILICON OXIDE SELECTIVE ETCH

Номер патента: US20170040180A1. Автор: Wang Anchuan,Ingle Nitin K.,XU Jingjing. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-02-09.

METHOD OF ETCHING SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20150056808A1. Автор: OGASAWARA Masahiro,Hayakawa Yoshinobu,Watanabe Hikaru,Kubota Kazuhiro,URAKAWA Masafumi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2015-02-26.

METHOD OF ETCHING SILICON OXIDE FILM AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210082712A1. Автор: Yamada Satoshi,CHINO Koki,Kon Yoshimitsu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-03-18.

Aqueous Solution for Etching Silicon Oxide

Номер патента: US20220098485A1. Автор: Vereecke Guy. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

SILICON OXIDE SELECTIVE REMOVAL

Номер патента: US20160093506A1. Автор: Wang Anchuan,Ingle Nitin K.,CHEN Zhijun. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2016-03-31.

SLURRY COMPOSITION FOR POLISHING SILICON OXIDE FILM, AND POLISHING METHOD USING SAME

Номер патента: US20220145131A1. Автор: LEE Seung Hyun,Lee Seung Hun,Kim Seong Hwan. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-12.

SELECTIVE DEPOSITION OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20190115207A1. Автор: Hausmann Dennis M.,Smith David Charles. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-18.

SELF-ALIGNED SHIELDING OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20170148640A1. Автор: Korolik Mikhail,Wang Anchuan,Ingle Nitin K.,WANG FEI,Jan Visser Robert. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-25.

SELF-ALIGNED SHIELDING OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20170148642A1. Автор: Korolik Mikhail,Wang Anchuan,Ingle Nitin K.,WANG FEI,Visser Robert Jan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-05-25.

METHOD FOR FORMING AND USING STRESS-TUNED SILICON OXIDE FILMS IN SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERNING

Номер патента: US20200152473A1. Автор: deVilliers Anton,Leusink Gerrit J.,Tapily Kandabara N.. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-14.

ISOTROPIC ATOMIC LAYER ETCH FOR SILICON OXIDES USING NO ACTIVATION

Номер патента: US20160196969A1. Автор: Berry,III Ivan L.,Yaqoob Faisal,Park Pilyeon. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-07.

METHOD OF SELECTIVELY ETCHING SILICON OXIDE FILM ON SUBSTRATE

Номер патента: US20180190505A1. Автор: Watanabe Hikaru,TSUJI Akihiro. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2018-07-05.

RECESSED SILICON OXIDATION FOR DEVICES SUCH AS A CMOS SOI ICs

Номер патента: WO2002078061A3. Автор: Eric E Vogt,Cheisen J Yue. Владелец: Honeywell Int Inc. Дата публикации: 2002-12-19.

Polycrystalline silicon oxidation method for making shallow and deep isolation trenches

Номер патента: US4238278A. Автор: Igor Antipov. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1980-12-09.

SELECTIVE GROWTH OF SILICON OXIDE OR SILICON NITRIDE ON SILICON SURFACES IN THE PRESENCE OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20180261448A1. Автор: Hausmann Dennis M.,Smith David Charles. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-13.

Method for fabricating silicon-oxide-nitride-oxide-silicon device

Номер патента: KR100851917B1. Автор: 이승철. Владелец: 주식회사 하이닉스반도체. Дата публикации: 2008-08-12.

Methods and systems for forming a layer comprising silicon oxide

Номер патента: US20230411147A1. Автор: Timothee Blanquart,Viljami Pore,Charles DEZELAH,Jihee Jeon. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-12-21.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140295675A1. Автор: IKEUCHI Toshiyuki,OBU Tomoyuki,KIMURA Norifumi. Владелец: Tokyo Electronic Limited. Дата публикации: 2014-10-02.

Apparatus for forming silicon oxide film and method of forming silicon oxide film

Номер патента: US20010041462A1. Автор: Toshihiko Suzuki,Toyotaka Kataoka,Akihide Kashiwagi. Владелец: Akihide Kashiwagi. Дата публикации: 2001-11-15.

Starting material for use in forming silicone oxide film and method for forming silicone oxide film using same

Номер патента: TW201109341A. Автор: Song-Yun Kang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-03-16.

Method and apparatus for forming ultra-shallow doped regions using doped silicon oxide films

Номер патента: TW358971B. Автор: Li-Qun Xia,Ellie Yieh,Bang Nguyen,Paul Gee. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1999-05-21.

Removing silicon oxide from a substrate

Номер патента: AU2003286795A1. Автор: Yi Wei,Ravindranath Droopad,Yong Liang,Zhiyi Yu,Xiaoming Hu,John L. Edwards Jr.,James B. Craigo. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 2004-06-23.

DEPOSITION METHOD OF SILICON OXIDE THIN FILM AND MANUFACTURE METHOD OF LOW TEMPERATURE POLY-SILICON TFT SUBSTRATE

Номер патента: US20180069023A1. Автор: MA Weixin. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-08.

SELECTIVE DEPOSITION OF SILICON NITRIDE ON SILICON OXIDE USING CATALYTIC CONTROL

Номер патента: US20190148128A1. Автор: Hausmann Dennis M.,Smith David Charles. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-16.

Bottom-Up Growth of Silicon Oxide and Silicon Nitride Using Sequential Deposition-Etch-Treat Processing

Номер патента: US20200248303A1. Автор: Mallick Abhijit Basu,Manna Pramit,Cheng Rui. Владелец: . Дата публикации: 2020-08-06.

SELECTIVE DEPOSITION OF SILICON NITRIDE ON SILICON OXIDE USING CATALYTIC CONTROL

Номер патента: US20180261447A1. Автор: Hausmann Dennis M.,Smith David Charles. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-13.

Cleaning liquid for silicon semiconductor and silicon oxide

Номер патента: JP2857042B2. Автор: 進 大塚,正 佐近,賢一 上村,良弘 森,憲剛 島ノ江,修司 宗平. Владелец: NITSUTETSU DENSHI KK. Дата публикации: 1999-02-10.

Solutions for cleaning silicon semiconductors or silicon oxides

Номер патента: US20060073997A1. Автор: Oana Leonte,Robert Chebi. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2006-04-06.

PROCESS FOR PRODUCING A SILICON SUBSTRATE HAVING A THIN LAYER OF BURIED SILICON OXIDE

Номер патента: FR2794893B1. Автор: Thomas Skotnicki,Malgorzata Jurczak. Владелец: France Telecom SA. Дата публикации: 2001-09-14.

Method for making a silicon substrate comprising a buried thin silicon oxide film

Номер патента: US6607968B1. Автор: Thomas Skotnicki,Malgorzata Jurczak. Владелец: France Telecom SA. Дата публикации: 2003-08-19.

Method for forming silicon oxide and silicon nitride composite film

Номер патента: CN114975113A. Автор: 宋维聪,周洁鹏. Владелец: Shanghai Betone Semiconductor Energy Technology Co ltd. Дата публикации: 2022-08-30.

Silicon-on-insulator with crystalline silicon oxide

Номер патента: IL270638B1. Автор: . Владелец: TURUN YLIOPISTO. Дата публикации: 2023-11-01.

Silicon-on-insulator with crystalline silicon oxide

Номер патента: IL270638B2. Автор: . Владелец: TURUN YLIOPISTO. Дата публикации: 2024-03-01.

FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20150087161A1. Автор: Sato Jun,Chou Pao-Hwa. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-26.

FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20140199839A1. Автор: Sato Jun,Chou Pao-Hwa. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-17.

Silicon Oxide Layer for Oxidation Resistance and Method Forming Same

Номер патента: US20200161170A1. Автор: Ko Chung-Chi,Kao Wan-Yi. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-21.

SONOS (silicon oxide nitride oxide semiconductor) structure and manufacturing method thereof

Номер патента: CN102709168B. Автор: 谢欣云,田志. Владелец: Shanghai Huali Microelectronics Corp. Дата публикации: 2015-06-24.

System and method for matching silicon oxide thickness between similar process tools

Номер патента: US20090125140A1. Автор: Andrew Le,Miles Dudman. Владелец: Micrel Inc. Дата публикации: 2009-05-14.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND APPARATUS

Номер патента: US20140004715A1. Автор: KUROKAWA Masaki,OBU Tomoyuki. Владелец: . Дата публикации: 2014-01-02.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND APPARATUS

Номер патента: US20140011371A1. Автор: KUROKAWA Masaki,OBU Tomoyuki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-01-09.

METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20140057458A1. Автор: Hong Kwon,LEE Jong Min,HAN Ji Hye,Park Hyung Soon,KIM Hyung Hwan,LEE Geun Su. Владелец: SK HYNIX INC.. Дата публикации: 2014-02-27.

Methods for depositing silicon oxide

Номер патента: US20160020092A1. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie,Wanki Kim. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-01-21.

METHOD FOR DEPOSITING SILICON OXIDE FILM HAVING IMPROVED QUALITY BY PEALD USING BIS(DIETHYLAMINO)SILANE

Номер патента: US20210057214A1. Автор: Nakano Ryu,KENGOYAMA Yuko,Suemori Hidemi. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

SILICON OXIDE DEPOSITION METHOD

Номер патента: US20220084817A1. Автор: Tuominen Marko,Tois Eva,Sharma Varun,BLOMBERG Tom,Givens Michael,Dezelah Charles,Chiappe Daniele,Madhiwala Viraj. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-17.

METHOD OF MANUFACTURING A SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20150079807A1. Автор: Tamura Tatsuya,Kumagai Takeshi. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-19.

METHOD OF MANUFACTURING A SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20150079808A1. Автор: CHIBA Takashi,Tamura Tatsuya,Kumagai Takeshi. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-19.

High Temperature Silicon Oxide Atomic Layer Deposition Technology

Номер патента: US20180076023A1. Автор: Xia Li-Qun,LI NING,Nguyen Victor,Balseanu Mihaela,Trinh Cong,Saly Mark,Yan Wenbo. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

High Temperature Silicon Oxide Atomic Layer Deposition Technology

Номер патента: US20160099143A1. Автор: Xia Li-Qun,LI NING,Nguyen Victor,Balseanu Mihaela,Trinh Cong,Saly Mark,Yan Wenbo. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

METHOD OF DEPOSITING SILICON OXIDE FILMS

Номер патента: US20220145452A1. Автор: Park Hyung Sang,Yoo Yong Min,Yoon Tae Ho. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-12.

METHODS FOR FORMING A TOPOGRAPHICALLY SELECTIVE SILICON OXIDE FILM BY A CYCLICAL PLASMA-ENHANCED DEPOSITION PROCESS

Номер патента: US20210104399A1. Автор: Fukazawa Atsuki,Kuroda Aurélie. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-08.

METHOD OF FORMING SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20140199853A1. Автор: Sato Jun,IKEUCHI Toshiyuki,MOROZUMI Yuichiro,MURAKAMI Hiroki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-17.

Method of Controlling Silicon Oxide Film Thickness

Номер патента: US20140199857A1. Автор: Zhang Yuanchang. Владелец: Natcore Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

METHOD OF FORMING A STRUCTURE INCLUDING SILICON OXIDE

Номер патента: US20210143003A1. Автор: Ueda Shinya,Fukuda Hideaki,Kimura Kazuhiro. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-13.

SELECTIVELY LATERAL GROWTH OF SILICON OXIDE THIN FILM

Номер патента: US20170125239A1. Автор: Chan Kelvin,Mallick Abhijit Basu,CHEN Yihong,MUKHERJEE Shaunak. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-04.

METHOD AND APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20190131126A1. Автор: HISHIYA Shingo,Suzuki Keisuke,KIKAMA Eiji,KO Kyungseok,SHIMA Hiromi. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

METHODS OF FORMING SILICON OXIDE LAYER AND SEMICONDUCTOR STRUCTURE

Номер патента: US20190139757A1. Автор: Peng Yu-Yun. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.. Дата публикации: 2019-05-09.

REMOTE PLASMA RADICAL TREATMENT OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20140227888A1. Автор: Olsen Christopher S.,Yokota Yoshitaka. Владелец: . Дата публикации: 2014-08-14.

METHODS FOR DEPOSITING SILICON OXIDE

Номер патента: US20160163539A9. Автор: Kang Hu,LaVoie Adrien,KIM WANKI. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-09.

METHODS FOR FORMING DOPED SILICON OXIDE THIN FILMS

Номер патента: US20160196970A1. Автор: Fukuda Hideaki,NISKANEN Antti,Fukazawa Atsuki,Nakano Ryu,Haukka Suvi,Takamure Noboru,Namba Kunitoshi. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-07.

CONTROLLED GROWTH OF THIN SILICON OXIDE FILM AT LOW TEMPERATURE

Номер патента: US20190189435A1. Автор: Verhaverbeke Steven,Leschkies Kurtis,Mallick Abhijit Basu,Jiang Shishi,Manna Pramit. Владелец: . Дата публикации: 2019-06-20.

Free-standing silicon oxide membranes and methods of making and using same

Номер патента: US09945030B2. Автор: Christopher C. Striemer,Jon-Paul DesOrmeaux. Владелец: SIMPORE Inc. Дата публикации: 2018-04-17.

Silicon oxide and method of preparing the same

Номер патента: US20140248538A1. Автор: Yong Ju Lee,Je Young Kim,Cheol Hee Park,Han Nah Jeong,Sang Yun Jung,Hyun Chul Kim,Byung Kyu Lim. Владелец: LG Chem Ltd. Дата публикации: 2014-09-04.

METHOD OF MASS-PRODUCING SILICON OXIDE (SiOx) POWDER AND ANODE FOR LITHIUM-ION BATTERIES

Номер патента: US20240317593A1. Автор: Bor Z. Jang. Владелец: Honeycomb Battery Co. Дата публикации: 2024-09-26.

Method and system for the production of silicon oxide deposit

Номер патента: US09790095B2. Автор: Hirofumi Fukuoka,Masanobu Nishimine. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-17.

Porous Carbon Structure-Hosted Silicon Oxide (SiOx), Anode, Lithium-ion Battery, and Production Method

Номер патента: US20240347698A1. Автор: Bor Z. Jang. Владелец: Honeycomb Battery Co. Дата публикации: 2024-10-17.

Silicon oxide and storage battery

Номер патента: US09865871B2. Автор: Hiroyuki Miyake,Nobuhiro Inoue,Takuya Hirohashi,Yuika SATO. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Free-standing silicon oxide membranes and methods of making and using same

Номер патента: US20160340778A1. Автор: Christopher C. Striemer,Jon-Paul DesOrmeaux. Владелец: SIMPORE Inc. Дата публикации: 2016-11-24.

Method and system for the production of silicon oxide deposit

Номер патента: WO2013141024A1. Автор: Hirofumi Fukuoka,Masanobu Nishimine. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2013-09-26.

Negative electrode material for secondary battery having lithium-doped silicon-silicon oxide composite

Номер патента: US8753774B2. Автор: Nobuo Kawada. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2014-06-17.

High aspect ratio silicon oxide etch

Номер патента: US20110059617A1. Автор: Glenn Mitchell,Robert Torres, Jr.,Adam Seymour. Владелец: Matheson Tri-Gas Inc. Дата публикации: 2011-03-10.

Silicon oxide and anode material for lithium ion secondary cell

Номер патента: EP2477260A1. Автор: Shingo Kizaki,Hideaki Kanno. Владелец: Osaka Titanium Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2012-07-18.

Stabilized, prelithiated silicon oxide particles for lithium ion battery anodes

Номер патента: US11784307B2. Автор: Kai Yan,Hongduan Huang. Владелец: Amprius Technologies Inc. Дата публикации: 2023-10-10.

Electron tube provided with porous silicon oxide getter

Номер патента: US4771214A. Автор: Takeo Itou,Hidemi Matsuda,Shigeo Takenaka,Norio Koike. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1988-09-13.

Method for producing silicon oxide powder and negative electrode material

Номер патента: US20210020942A1. Автор: Yusuke KASHITANI. Владелец: Osaka Titanium Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-01-21.

Method for producing silicon oxide powder and negative electrode material

Номер патента: US11817581B2. Автор: Yusuke KASHITANI. Владелец: Osaka Titanium Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-14.

Lithium doped silicon oxide-based negative electrode material and method of manufacturing the same

Номер патента: US11728479B2. Автор: Yusuke KASHITANI. Владелец: Osaka Titanium Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-15.

Backside etch process for transparent silicon oxide technology

Номер патента: US20230085741A1. Автор: Jacob Becker,Jon Burnsed. Владелец: L3Harris Technologies Inc. Дата публикации: 2023-03-23.

Silicon oxide film, method of forming the silicon oxide film, and apparatus for depositing the silicon oxide film

Номер патента: US6444327B1. Автор: Hiroshi Tanabe,Katsuhisa Yuda. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2002-09-03.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (sonos) memory cell for finfet and forming method thereof

Номер патента: US20220293624A1. Автор: LIANG Yi,Zhiguo Li,Chi REN. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2022-09-15.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (sonos) memory cell and forming method thereof

Номер патента: US20220262806A1. Автор: Chia-Ching Hsu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2022-08-18.

Method of forming silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (sonos) memory cell for finfet

Номер патента: US20220352195A1. Автор: LIANG Yi,Zhiguo Li,Chi REN. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2022-11-03.

Backside etch process for transparent silicon oxide technology

Номер патента: US11852800B2. Автор: Jacob Becker,Jon Burnsed. Владелец: L3Harris Technologies Inc. Дата публикации: 2023-12-26.

Backside etch process for transparent silicon oxide technology

Номер патента: US20210349301A1. Автор: Jacob Becker,Jon Burnsed. Владелец: L3Harris Technologies Inc. Дата публикации: 2021-11-11.

Enhanced densification of silicon oxide layers

Номер патента: US20120009413A1. Автор: Frank Y. Xu,Fen Wan,Marlon Menezes. Владелец: Molecular Imprints Inc. Дата публикации: 2012-01-12.

ORGANIC LIGHT-EMITTING DEVICE INCLUDING BARRIER LAYER INCLUDING SILICON OXIDE LAYER AND SILICON NITRIDE LAYER

Номер патента: US20160020265A1. Автор: JIN DONG-UN,Lee Jae-Seob. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-21.

HETEROJUNCTION BIPOLAR TRANSISTOR WITH A SILICON OXIDE LAYER ON A SILICON GERMANIUM BASE

Номер патента: US20220069109A1. Автор: Reznicek Alexander,OK Injo,Lee Choonghyun,Seo Soon-Cheon. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-03.

Non-volatile memory device having a silicon-nitride and silicon oxide top dielectric layer

Номер патента: CN1909250A. Автор: 徐子轩,吴昭谊,吕函庭. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2007-02-07.

Prepare the method for crystal silicon solar energy battery silicon oxide film

Номер патента: CN103594557B. Автор: 韩帅,李高非,倪健雄,蒋京娜. Владелец: Yingli Group Co Ltd. Дата публикации: 2016-03-02.

Method of controlling silicon oxide film thickness

Номер патента: US20120252228A1. Автор: Yuanchang Zhang. Владелец: Natcore Technology Inc. Дата публикации: 2012-10-04.

Mixed metal-silicon-oxide barriers

Номер патента: US20170025635A1. Автор: Eric R. Dickey,Bryan Larson Danforth. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-01-26.

ReRAM cells with diffusion-resistant metal silicon oxide layers

Номер патента: US20160028008A1. Автор: Wang Yun,Nardi Federico. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

PHYSICAL UNCLONABLE FUNCTIONS WITH COPPER-SILICON OXIDE PROGRAMMABLE METALLIZATION CELLS

Номер патента: US20220148982A1. Автор: Chen Wenhao,Kozicki Michael. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-12.

Patterning of silicon oxide layers using pulsed laser ablation

Номер патента: US20150140721A1. Автор: Mehrdad M. Moslehi,Virendra V. Rana,Pranav Anbalagan,Vivek Saraswat. Владелец: Solexel Inc. Дата публикации: 2015-05-21.

MIXED METAL-SILICON-OXIDE BARRIERS

Номер патента: US20140242736A1. Автор: Dickey Eric R.,Danforth Bryan Larson. Владелец: . Дата публикации: 2014-08-28.

METHOD OF SELECTIVELY REMOVING TUNGSTEN OVER SILICON OXIDE

Номер патента: US20190203073A1. Автор: Ho MIng-Che,Chang Song-Yuan,Lu Ming-Hui,Chiang Chung-Wei,Ho Yun-Lung. Владелец: UWIZ TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2019-07-04.

Electrode material including surface modified silicon oxide particles

Номер патента: CA3229652A1. Автор: In Kim,Seonbaek HA,Kathryn HICKS,Aaron Yost,Cary Michael Hayner,Nevin NAREN. Владелец: Nanograf Corp. Дата публикации: 2023-03-23.

Electrode material including surface modified silicon oxide particles

Номер патента: EP4402734A1. Автор: In Kim,Seonbaek HA,Kathryn HICKS,Aaron Yost,Cary Michael Hayner,Nevin NAREN. Владелец: Nanograf Corp. Дата публикации: 2024-07-24.

Silicon oxide-based negative electrode material and method of manufacturing the same

Номер патента: EP3531483B1. Автор: Yusuke KASHITANI. Владелец: Osaka Titanium Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-19.

POROUS SILICON-SILICON OXIDE-CARBON COMPOSITE, AND METHOD OF PREPARING THE SAME

Номер патента: US20180166685A1. Автор: KIM Hye Jin,Kim Eun Kyung,LEE Yong Ju,Choi Seung Youn,CHOI Jang Wook. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-14.

METHODS FOR PRE-LITHIATING SILICON AND SILICON OXIDE ELECTRODES

Номер патента: US20200176755A1. Автор: Yang Li,Xiao Xingcheng,Kia Hamid G.,HUANG Xiaosong. Владелец: . Дата публикации: 2020-06-04.

Core-shell structure of graphene coated silicon or silicon oxide, and preparation method thereof

Номер патента: CN105006559A. Автор: 魏飞,祝晓琳,聂晶琦. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2015-10-28.

Porous silicon-silicon oxide-carbon composite, and preparing method thereof

Номер патента: KR20160116896A. Автор: 김혜진,김은경,이용주,최장욱,최승연. Владелец: 한국과학기술원. Дата публикации: 2016-10-10.

Li-CONTAINING SILICON OXIDE POWDER AND PRODUCTION METHOD THEREOF

Номер патента: US20200002179A1. Автор: TAKESHITA Kohki,KIZAKI Shingo,KASHITANI Yusuke. Владелец: OSAKA Titanium technologies Co., Ltd.. Дата публикации: 2020-01-02.

Method of manufacturing silicon oxide

Номер патента: US20140103253A1. Автор: Cheol Hee Park,Han Nah Jeong,Sang Yun Jung,Hyun Chul Kim,Byung Kyu Lim. Владелец: LG Chem Ltd. Дата публикации: 2014-04-17.

SILICON OXIDE FOR ANODE ACTIVE MATERIAL OF SECONDARY BATTERY

Номер патента: US20140106221A1. Автор: Kim Tae Hoon,Kim Je Young,Jung Sang Yun,JEONG Han Nah,PARK Cheol Hee,LIM Byung Kyu. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-17.

SILICON OXIDE-CARBON COMPOSITE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20140106231A1. Автор: LEE Yong Ju,Jung Sang Yun,JEONG Han Nah,PARK Cheol Hee,LIM Byung Kyu. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-17.

METHOD FOR PRODUCING SILICON OXIDE POWDER AND NEGATIVE ELECTRODE MATERIAL

Номер патента: US20210020942A1. Автор: KASHITANI Yusuke. Владелец: OSAKA TITANIUM TECHNOLOGIES CO.,LTD.. Дата публикации: 2021-01-21.

Silicon oxide-coated soft magnetic powder and method for producing same

Номер патента: US20210060642A1. Автор: Takuya Yano,Koji Tanoue,Yorito Nishizawa. Владелец: Dowa Electronics Materials Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

SILICON OXIDE AND METHOD OF PREPARING THE SAME

Номер патента: US20140248538A1. Автор: Kim Hyun Chul,LEE Yong Ju,Kim Je Young,Jung Sang Yun,JEONG Han Nah,PARK Cheol Hee,LIM Byung Kyu. Владелец: LG CHEM, LTD.. Дата публикации: 2014-09-04.

SILICON OXIDE AND STORAGE BATTERY

Номер патента: US20160190576A1. Автор: Miyake Hiroyuki,Inoue Nobuhiro,HIROHASHI Takuya,SATO Yuika. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-30.

Silicon oxide-based negative electrode material and method of manufacturing the same

Номер патента: US20190190023A1. Автор: Yusuke KASHITANI. Владелец: Osaka Titanium Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2019-06-20.

IRON-SILICON OXIDE PARTICLES HAVING AN IMPROVED HEATING RATE

Номер патента: US20150213927A1. Автор: Katusic Stipan,Kress Peter,Herzog Harald,ALFF Harald,Albers Peter. Владелец: Evonik Industries AG. Дата публикации: 2015-07-30.

Acoustic surface-wave devices using mono crystalline bismuth silicon oxide substrate

Номер патента: US3956647A. Автор: Richard Stevens,Eileen Read,Richard Frank Mitchell. Владелец: US Philips Corp. Дата публикации: 1976-05-11.

Silicon oxide based material

Номер патента: RU2401694C2. Автор: Йохан ЭКЕРОТ. Владелец: Акцо Нобель Н.В.. Дата публикации: 2010-10-20.

Silicon oxides

Номер патента: RU2431465C2. Автор: Питер Уилльям СТЭНИР. Владелец: ПиКью СИЛИКАС ЮКей ЛИМИТЕД. Дата публикации: 2011-10-20.

Reactive silicon oxide precursor facilitated anti-corrosion treatment

Номер патента: EP2736981A1. Автор: Henrik Pranov. Владелец: SiOx ApS. Дата публикации: 2014-06-04.

Oxygen transport membrane for silicon oxide plant

Номер патента: EP1280731A1. Автор: Nitin Ramesh Keskar,Kevin Bruce Albaugh. Владелец: Praxair Technology Inc. Дата публикации: 2003-02-05.

Oxygen transport membrane for silicon oxide plant

Номер патента: WO2001077014A1. Автор: Nitin Ramesh Keskar,Kevin Bruce Albaugh. Владелец: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2001-10-18.

Method for producing sputtered silicon oxide electrolyte

Номер патента: EP3577251A1. Автор: Aimin Song,Xiaochen MA. Владелец: University of Manchester. Дата публикации: 2019-12-11.

Optical system having optical thin film including amorphous silicon oxide-based binder

Номер патента: US09915761B2. Автор: Hitoshi Ishizawa,Tsuyoshi Murata,Shunsuke Niisaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Method for producing sputtered silicon oxide electrolyte

Номер патента: US20200340097A1. Автор: Aimin Song,Xiaochen MA. Владелец: University of Manchester. Дата публикации: 2020-10-29.

Low temperature silicon oxide coating for pharmaceutical applications

Номер патента: EP4408402A1. Автор: Fei Wang,Pravin K. Narwankar. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-07.

Novel method of obtaining precipitated silicon oxides

Номер патента: RU2550853C2. Автор: Сильвен НЕВЕ,Жоэль РАСИНУ,Малика КЛУЭН. Владелец: Родиа Операсьон. Дата публикации: 2015-05-20.

Method for forming a thin film of a silicon oxide on a silicon substrate, by BCR plasma

Номер патента: US5753564A. Автор: Takashi Fukada. Владелец: Sumitomo Metal Industries Ltd. Дата публикации: 1998-05-19.

Glass-like monoliths constituted by silicon oxide and titanium oxide and process for preparing them

Номер патента: CA2009672C. Автор: Guido Cogliati,Giovanni Bezzi. Владелец: Enichem SpA. Дата публикации: 2001-05-29.

Boron doped silicon oxide protective layer and method for making the same

Номер патента: WO2024028173A1. Автор: Eric Michel,Eric Tixhon. Владелец: AGC Glass Europe. Дата публикации: 2024-02-08.

Manganese-aluminum-phosphorous-silicon-oxide molecular sieve compositions

Номер патента: CA1246530A. Автор: Bonita K. Marcus,Edith M. Flanigen,Brent M.T. Lok. Владелец: Union Carbide Corp. Дата публикации: 1988-12-13.

Cobalt-aluminum-phosphorous-silicon-oxide molecular sieve compositions

Номер патента: CA1248078A. Автор: Bonita K. Marcus,Edith M. Flanigen,Brent M.T. Lok. Владелец: Union Carbide Corp. Дата публикации: 1989-01-03.

Enhanced bonding of adjacent layers of silicon oxides and silver

Номер патента: CA1113764A. Автор: Jon D. Masso. Владелец: Sola International, Inc.. Дата публикации: 1981-12-08.

Titanium-aluminum-silicon-oxide molecular sieve compositions

Номер патента: AU579862B2. Автор: Edith Marie Flanigen,Bonita Kristoffersen Marcus,Brent Mei-Tak Lok. Владелец: Union Carbide Corp. Дата публикации: 1988-12-15.

Titanium-aluminum-phosphorous-silicon-oxide-molecular sieve compositions

Номер патента: CA1248507A. Автор: Bonita K. Marcus,Edith M. Flanigen,Brent M.T. Lok. Владелец: Union Carbide Corp. Дата публикации: 1989-01-10.

Method for producing sputtered silicon oxide electrolyte

Номер патента: WO2018142161A1. Автор: Aimin Song,Xiaochen MA. Владелец: THE UNIVERSITY OF MANCHESTER. Дата публикации: 2018-08-09.

Packaging material comprising a silicon oxide layer and a polyolefin layer

Номер патента: US5731092A. Автор: Patrice Breant,Philippe Tordjeman. Владелец: Elf Atochem SA. Дата публикации: 1998-03-24.

Ozone-based low temperature silicon oxide coating for pharmaceutical applications

Номер патента: US20230355536A1. Автор: Fei Wang,Pravin K. Narwankar,Geetika Bajaj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-09.

Ozone-based low temperature silicon oxide coating for pharmaceutical applications

Номер патента: WO2023215472A1. Автор: Fei Wang,Pravin K. Narwankar,Geetika Bajaj. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-11-09.

Low temperature silicon oxide coating for pharmaceutical applications

Номер патента: WO2023056304A1. Автор: Fei Wang,Pravin K. Narwankar. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-04-06.

Iron-aluminum-phosphorus-silicon-oxide molecular sieves

Номер патента: US4822478A. Автор: Edith M. Flanigen,Brent M. T. Lok,Lawrence D. Vail. Владелец: UOP LLC. Дата публикации: 1989-04-18.

Imaging members with plasma deposited silicon oxides

Номер патента: US4859553A. Автор: Frank Jansen,Joseph Mort. Владелец: Xerox Corp. Дата публикации: 1989-08-22.

Method for depositing a silicon oxide layer

Номер патента: US5965203A. Автор: Oswald Spindler,Zvonimir Gabric. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1999-10-12.

Use of silicon oxide compounds as free-flow agents in the production of solid polyvinyl acetate resins

Номер патента: CA2598102A1. Автор: Rene Graewe,Thomas Wimmer,Marcus Biber. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-09-08.

Oxidation method

Номер патента: RU2697871C1. Автор: Джеффри Брюс ГОМАХ. Владелец: Меричем Компани. Дата публикации: 2019-08-21.

Improved oxidation methods and reactor

Номер патента: RU2577839C2. Автор: Фрэнк Р. ФИТЧ,Нареш САЧЕК,Чжисюн ТА. Владелец: Линде Акциенгезелльшафт. Дата публикации: 2016-03-20.

Fuel oxidation method and device

Номер патента: RU2509904C2. Автор: Эдан ПРАБУ. Владелец: Энер-Кор Пауэр, Инк.. Дата публикации: 2014-03-20.

Visible-light-induced direct oxidation method for saturated hydrocarbon bonds

Номер патента: US11008272B1. Автор: Zhiwei ZUO,Anhua Hu. Владелец: ShanghaiTech University. Дата публикации: 2021-05-18.

Electrochemical wet oxidation method for hydrocarbons mixed with water or with soil

Номер патента: EP1515914A1. Автор: Markos Ninolakis. Владелец: Ninolakis Markos. Дата публикации: 2005-03-23.

Wet oxidation method

Номер патента: EP1609765B1. Автор: Franco Sardelli. Владелец: 3V Green Eagle SpA. Дата публикации: 2008-08-13.

Internal oxidation method of Ag alloys

Номер патента: US4457787A. Автор: Akira Shibata. Владелец: Chugai Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 1984-07-03.

Fixation of nitrogen using silicon oxide catalysts

Номер патента: US4308246A. Автор: Paul Harteck. Владелец: RENSSELAER POLYTECHNIC INSTITUTE. Дата публикации: 1981-12-29.

Amorphous cobalt-inherent silicon oxide catalyst

Номер патента: US11884564B2. Автор: William E. Holmes,Daniel Dianchen Gang,Qiyu Lian,Mark E. Zappi. Владелец: University of Louisiana at Lafayette. Дата публикации: 2024-01-30.

Amorphous cobalt-inherent silicon oxide catalyst

Номер патента: US20230046975A1. Автор: William E. Holmes,Daniel Dianchen Gang,Qiyu Lian,Mark E. Zappi. Владелец: University of Louisiana at Lafayette. Дата публикации: 2023-02-16.

TIO2 PIGMENT COATED WITH POROUS ALUMINUM OXIDE / SILICON OXIDE AND DENSE SILICON OXIDE, AS WELL AS THE PROCEDURE FOR PREPARING THIS.

Номер патента: NL7506369A. Автор: . Владелец: Du Pont. Дата публикации: 1975-12-02.

Deposition Of Carbon Doped Silicon Oxide

Номер патента: US20200248309A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Matthew R. Macdonald,Meiliang WANG. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2020-08-06.

Silicon oxide nanopore wetting and stabilization by molecular coating

Номер патента: US20140318966A1. Автор: Steven Lefkowitz,Yann Astier,Venkat K. Balagurusamy. Владелец: 454 Life Science Corp. Дата публикации: 2014-10-30.

Deposition of carbon doped silicon oxide

Номер патента: EP3902939A1. Автор: XINJIAN LEI,Haripin Chandra,Matthew R. Macdonald,Meiliang WANG. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-11-03.

Zinc-aluminum-phosphorus-silicon-oxide molecular sieve compositions

Номер патента: US4935216A. Автор: Edith M. Flanigen,Brent M. T. Lok,Lawrence D. Vail. Владелец: UOP LLC. Дата публикации: 1990-06-19.

SILICON OXIDE IS COMPATIBLE WITH CHLORHEXIDIN, METHOD OF PREPARING AND DENTAL PASTS CONTAINING SUCH SILICON OXIDE

Номер патента: DK612388A. Автор: Jacques Persello. Владелец: Rhone Poulenc Chimie. Дата публикации: 1989-05-05.

Ferrite magnetic head with gap spacer of silicon oxide and metal oxides

Номер патента: US3578920A. Автор: Kazuo Nozawa,Noriaki Okamoto,Teruo Wakabe. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1971-05-18.

Composite oxide based on cerium oxide, silicon oxide and titanium oxide

Номер патента: WO2014202149A1. Автор: Naotaka Ohtake,Toshihiro Sasaki. Владелец: Rhodia Operations. Дата публикации: 2014-12-24.

SILICON OXIDE MATERIAL

Номер патента: RU2008129104A. Автор: Йохан ЭКЕРОТ,Йохан ЭКЕРОТ (SE). Владелец: Акцо Нобель Н.В. (NL). Дата публикации: 2010-01-27.

METHOD AND SYSTEM FOR FORMING METAL SILICON OXIDE AND METAL SILICON OXYNITRIDE LAYERS

Номер патента: US20220064795A1. Автор: YOSHIDA Takashi,Vervuurt René. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-03.

Method For The Preferential Polishing Of Silicon Nitride Versus Silicon Oxide

Номер патента: US20080116171A1. Автор: Suryadevara V. Babu,Anita Natarajan. Владелец: Infotonics Technology Center Inc. Дата публикации: 2008-05-22.

Method For The Preferential Polishing Of Silicon Nitride Versus Silicon Oxide

Номер патента: US20090176371A1. Автор: Suryadevara V. Babu,Anita Natarajan. Владелец: Infotonics Technology Center Inc. Дата публикации: 2009-07-09.

A Composition for wet etching of silicon nitride or silicon oxide

Номер патента: KR101391605B1. Автор: 임정훈,박재완,이진욱,이양화. Владелец: 솔브레인 주식회사. Дата публикации: 2014-05-08.

Plane-parallel structures of silicon/silicon oxide

Номер патента: EP1517964A1. Автор: Patrice Bujard,Holger Leybach,Hilmar Weinert. Владелец: Ciba SC Holding AG. Дата публикации: 2005-03-30.

Method for preparing silicon carbide-based porous ceramic by using silicon oxide-based solid waste

Номер патента: WO2020057093A1. Автор: 苏畅,于景坤,马北越,任鑫明. Владелец: 东北大学. Дата публикации: 2020-03-26.

Composition for laminated coating film comprising iron oxide particles coated with silicon oxide

Номер патента: US20170292028A1. Автор: Masakazu Enomura,Daisuke Honda. Владелец: M Technique Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-12.

Process for producing metal oxide particle coated with hydrophobized silicon oxide

Номер патента: WO2008129901A1. Автор: Hajime Katayama. Владелец: Asahi Glass Company, Limited. Дата публикации: 2008-10-30.

Process for producing metal oxide particle coated with hydrophobized silicon oxide

Номер патента: EP2141205A1. Автор: Hajime Katayama. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-06.

Process for producing metal oxide particle coated with hydrophobized silicon oxide

Номер патента: EP2141205A4. Автор: Hajime Katayama. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2010-04-07.

Process for producing metal oxide particle coated with hydrophobized silicon oxide

Номер патента: CN101652434A. Автор: 片山肇. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2010-02-17.

Process for producing metal oxide particle coated with hydrophobized silicon oxide

Номер патента: CN101652434B. Автор: 片山肇. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-09.

COSMETIC COMPOSITION FOR MAKE-UP CONTAINING A TRANSPARENT PIGMENT OF TITANIUM OXIDE AND SILICON OXIDE.

Номер патента: FR2686793B1. Автор: Beatrice Defossez,Sylvie Rossignol. Владелец: LOreal SA. Дата публикации: 1994-04-15.

COSMETIC COMPOSITION FOR MAKE-UP CONTAINING A TRANSPARENT PIGMENT OF TITANIUM OXIDE AND SILICON OXIDE.

Номер патента: FR2686793A1. Автор: Rossignol Sylvie,Defossez Beatrice. Владелец: LOreal SA. Дата публикации: 1993-08-06.

Zinc oxide/silicon oxide composite gel chemical adsorbent, its preparation method and its application

Номер патента: CN102423681B. Автор: 刘国强,康飞宇,黄正宏. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-12-04.

TREATMENT FLUIDS ACIDS CONTAINING ADDITIVES FOR THE CONTROL OF NON-POLYMER OXIDE SILICON OXIDE, AND RELATED METHODS

Номер патента: AR084258A1. Автор: . Владелец: Halliburton Energy Serv Inc. Дата публикации: 2013-05-02.

The preparation method of silicon oxide coated ferriferrous oxide core-shell type nano compound particle

Номер патента: CN105366734B. Автор: 傅毛生. Владелец: NANCHANG HANGKONG UNIVERSITY. Дата публикации: 2017-03-29.

COSMETIC COMPOSITION FOR MAKEUP CONTAINING A TRANSPARENT PIGMENT OF TITANIUM OXIDE AND SILICON OXIDE.

Номер патента: ES2086932T3. Автор: Beatrice Defossez,Sylvie Rossignol. Владелец: LOreal SA. Дата публикации: 1996-07-01.

Zeolite with silicon oxide and titanium oxide and its method

Номер патента: KR100218550B1. Автор: 김용우,정경택,윤경식,정현종,설용건. Владелец: 남창우. Дата публикации: 1999-09-01.

Method for producing hydrophobized silicon oxide-coated metal oxide particles

Номер патента: JPWO2008129901A1. Автор: 肇 片山. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2010-07-22.

Process for producing glass substrate provided with aluminum oxide-containing silicon oxide film

Номер патента: US8973403B2. Автор: Keisuke Abe,Yuichi KUWAHARA. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2015-03-10.

Composition for multilayer coating film containing iron oxide particles coated with silicon oxide

Номер патента: AU2016334775A1. Автор: Masakazu Enomura,Daisuke Honda. Владелец: M Technique Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-08.

METHOD FOR RECOVERY OF ALUMINUM OXIDE AND SILICON OXIDE

Номер патента: DE69603289D1. Автор: Shlomo Nehari,Chanoch Gorin,Israel Lin,Amos Berkovich. Владелец: Mashal Alumina Industries Ltd. Дата публикации: 1999-08-19.

METHOD FOR MANUFACTURING AN OXIDATION OR EPOXIDATION CATALYST BASED ON SILICON OXIDE AND A METAL

Номер патента: FR2811244B1. Автор: Jean Paul Schoebrechts. Владелец: SOLVAY SA. Дата публикации: 2003-02-07.

Composition for multilayer coating film containing iron oxide particles coated with silicon oxide

Номер патента: EP3360937A1. Автор: Masakazu Enomura,Daisuke Honda. Владелец: M Technique Co Ltd. Дата публикации: 2018-08-15.

PROCESS FOR THE PREPARATION OF METAL OXIDES AND SILICON OXIDE IN VERY FINISHED PARTICLES

Номер патента: IT1047224B. Автор: . Владелец: Degussa. Дата публикации: 1980-09-10.

Composition for multilayer coating film containing iron oxide particles coated with silicon oxide.

Номер патента: MX2018003977A. Автор: Enomura Masakazu,Honda Daisuke. Владелец: M Technique Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-08.

Process for removing oxide (silicon oxide) deposits from periheral surfaces of furnace roller journals

Номер патента: YU273573A. Автор: L J Hamilton,W J Jenks,F J Milberger. Владелец: Uss Eng & Consult. Дата публикации: 1982-02-28.

METHOD FOR MANUFACTURING SILICON OXIDE NANO WIRES

Номер патента: US20130156951A1. Автор: SEO Jung Wook,KIM Dong Hoon,Cho Su Hwan,JANG Seon Hee,LEE Young Il. Владелец: SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.. Дата публикации: 2013-06-20.

Protective Fluorine-Doped Silicon Oxide Film For Optical Components

Номер патента: US20130265572A1. Автор: Delgado Gildardo. Владелец: KLA-TENCOR CORPORATION. Дата публикации: 2013-10-10.

METHOD FOR FABRICATING TITANIUM-CONTAINING SILICON OXIDE MATERIAL AND APPLICATION OF THE SAME

Номер патента: US20180022720A1. Автор: Hsu Yu-Chuan,TSAI Hsi-Chin,Tseng Chia-Yao,Wu Po-Sung. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-25.

Reactive Silicon Oxide Precursor Facilitated Anti-Corrosion Treatment

Номер патента: US20140154441A1. Автор: Pranov Henrik. Владелец: SiOx ApS. Дата публикации: 2014-06-05.

POROUS SILICON OXIDE DRYING AGENTS FOR WATERBORNE LATEX PAINT COMPOSITIONS

Номер патента: US20140178128A1. Автор: Jeganathan Suruliappa,Davies Chris,Goforth Kevin. Владелец: Potters Industries, LLC. Дата публикации: 2014-06-26.

DEPOSITION OF SILICON OXIDE BY ATMOSPHERIC PRESSURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Номер патента: US20140227512A1. Автор: Smith Ryan C.,Stricker Jeffery L.. Владелец: Arkema Inc.. Дата публикации: 2014-08-14.

Method of defining silicon oxide/silicon nitride/silicon oxide dielectric layer

Номер патента: TW564472B. Автор: Kuang-Chao Chen,Hsueh-Hao Shih. Владелец: Macronix Int Co Ltd. Дата публикации: 2003-12-01.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon: the process of non-volatile memory cell

Номер патента: TWI265602B. Автор: Po-Tsun Liu,Kow-Ming Chang,Bo-Chun Lin,Chiung-Hui Lai,Yi-Lung Lai. Владелец: Chiung-Hui Lai. Дата публикации: 2006-11-01.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon: the process of non-volatile memory cell

Номер патента: TW200608527A. Автор: Po-Tsun Liu,Bo-Chun Lin,Chiung-Hui Lai,Hui Lung Lai. Владелец: Chiung-Hui Lai. Дата публикации: 2006-03-01.

Manufacturing method of silicon oxide in nitride and silicon nitride in oxide

Номер патента: TW546706B. Автор: Shr-Chi Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Mfg. Дата публикации: 2003-08-11.

STARTING MATERIAL FOR USE IN FORMING SILICON OXIDE FILM AND METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM USING SAME

Номер патента: US20120071006A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-03-22.

Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) device

Номер патента: CN102130179B. Автор: 陈广龙. Владелец: Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-24.

SONOS (Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon) device

Номер патента: CN102931196B. Автор: 陈广龙,陈昊瑜,梅绍宁. Владелец: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp. Дата публикации: 2015-04-08.

Forming method of silicon oxide film and silicon oxide film forming equipment

Номер патента: JPH11204517A. Автор: Atsushi Suzuki,篤 鈴木,Akihide Kashiwagi,章秀 柏木. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1999-07-30.

Silicon oxide film, manufacturing method thereof, and silicon oxide film manufacturing apparatus

Номер патента: JP6183965B2. Автор: 彰一 村上,晶保 畑下. Владелец: SPP Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-23.

Method of producing silicon oxide layer

Номер патента: TW424115B. Автор: Huang-Hui Wu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2001-03-01.

A method of etching silicon oxide to produce a tapered edge thereon

Номер патента: AU485868B2. Автор: John Ham Ralph Robert Soden Edward. Владелец: RCA Corp. Дата публикации: 1976-02-19.

Methyl silicon oxide polymers and method of preparation

Номер патента: AU121902B2. Автор: . Владелец: Corning Glass Works. Дата публикации: 1946-08-15.

Methyl silicon oxide polymers and method of preparation

Номер патента: AU1463044A. Автор: . Владелец: Corning Glass Works. Дата публикации: 1946-08-15.

Silicon oxidation film pattern formation method

Номер патента: JPS51123563A. Автор: Nobuo Tsuda,Tadamasa Ogawa. Владелец: Nippon Telegraph and Telephone Corp. Дата публикации: 1976-10-28.

Tube mounting fixture for silicon oxide layer homogenization process

Номер патента: TW504745B. Автор: Yung-Bin Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Mfg. Дата публикации: 2002-10-01.

Method of joining silicon oxide material substrates

Номер патента: TW200837031A. Автор: Shu-Hui Chen,Jia-Wei Huang. Владелец: Univ Nat Cheng Kung. Дата публикации: 2008-09-16.

Method for preparing silicon nitride/silicon oxide composite crucible

Номер патента: CN103803955A. Автор: 赵丽丽,吕铁铮. Владелец: Harbin Institute of Technology. Дата публикации: 2014-05-21.

Silicon wafer and silicon oxide cleaning liquid

Номер патента: JPH1098018A. Автор: 進 大塚,賢一 上村,良弘 森,Susumu Otsuka,Yoshihiro Mori,Kenichi Kamimura. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 1998-04-14.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20120164327A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-06-28.

Method for preparing high-transparency cerium oxide and silicon oxide ultraviolet ray absorbing film

Номер патента: CN102180599B. Автор: 崔洪涛. Владелец: YANTAI UNIVERSITY. Дата публикации: 2012-09-19.

Method for producing silicon oxide thin film or titanium oxide thin film

Номер патента: JP4133353B2. Автор: 和志 林,敏洋 釘宮,裕史 後藤,勇藏 森. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2008-08-13.

Preparation method of zirconium oxide-silicon oxide composite aerogel

Номер патента: CN103214034A. Автор: 孙晓红,何健,李晓雷,王庆浦,季惠明. Владелец: TIANJIN UNIVERSITY. Дата публикации: 2013-07-24.

Method for preparing aluminium oxide-silicon oxide fibre

Номер патента: CN1434156A. Автор: 王心葵,温月芳,王浩静,宋士玮. Владелец: Shanxi Institute of Coal Chemistry of CAS. Дата публикации: 2003-08-06.

Method for preparing ceramic thin sheet contg. alumina, silicon oxide and titanium oxide

Номер патента: CN1168873A. Автор: 李龙土,桂治轮,萧小月,曾智强. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 1997-12-31.

Method for preparing ceramic thin sheet contg. alumina, silicon oxide and titanium oxide

Номер патента: CN1053650C. Автор: 李龙土,桂治轮,萧小月,曾智强. Владелец: TSINGHUA UNIVERSITY. Дата публикации: 2000-06-21.

ENHANCED DENSIFICATION OF SILICON OXIDE LAYERS

Номер патента: US20120009413A1. Автор: . Владелец: MOLECULAR IMPRINTS, INC.. Дата публикации: 2012-01-12.

APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM

Номер патента: US20120060752A1. Автор: . Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-03-15.

SILICON OXIDE AND NEGATIVE ELECTRODE MATERIAL FOR LITHIUM-ION SECONDARY BATTERY

Номер патента: US20120085974A1. Автор: KIZAKI Shingo. Владелец: . Дата публикации: 2012-04-12.

METHODS OF FORMING TITANIUM SILICON OXIDE

Номер патента: US20120088373A1. Автор: Forbes Leonard,Ahn Kie Y.. Владелец: . Дата публикации: 2012-04-12.

Methods of Forming Silicon Oxides and Methods of Forming Interlevel Dielectrics

Номер патента: US20120100726A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-04-26.

SILICON OXIDE AND NEGATIVE ELECTRODE MATERIAL FOR LITHIUM-ION SECONDARY BATTERY

Номер патента: US20120156120A1. Автор: . Владелец: OSAKA TITANIUM TECHNOLOGIES CO.,TD.. Дата публикации: 2012-06-21.

PATTERNING OF SILICON OXIDE LAYERS USING PULSED LASER ABLATION

Номер патента: US20120171804A1. Автор: . Владелец: SOLEXEL, INC.. Дата публикации: 2012-07-05.

EMBEDDED CATALYST FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20120196451A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-08-02.

LOW TEMPERATURE SILICON OXIDE CONVERSION

Номер патента: US20120269989A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-10-25.

SILICON OXIDE BASED HIGH CAPACITY ANODE MATERIALS FOR LITHIUM ION BATTERIES

Номер патента: US20120295155A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-11-22.

FABRICATION OF SILICON OXIDE AND OXYNITRIDE HAVING SUB-NANOMETER THICKNESS

Номер патента: US20120329230A1. Автор: Chudzik Michael P.,JR. Joseph F.,DAI Min,Liu Jinping,Shepard,Siddiqui Shahab. Владелец: . Дата публикации: 2012-12-27.

COMBINED SILICON OXIDE ETCH AND CONTAMINATION REMOVAL PROCESS

Номер патента: US20130084654A1. Автор: Gaylord Richard H.,Messer Blaze J.,Kumar Kaushik A.. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-04-04.

REMOTE PLASMA RADICAL TREATMENT OF SILICON OXIDE

Номер патента: US20130109164A1. Автор: Olsen Christopher S.,Yokota Yoshitaka. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-05-02.

METHODS FOR FORMING A DOPED AMORPHOUS SILICON OXIDE LAYER FOR SOLAR CELL DEVICES

Номер патента: US20130112264A1. Автор: Wang Dapeng,Chae Yong Kee. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-05-09.

APPARATUS AND METHODS FOR SILICON OXIDE CVD RESIST PLANARIZATION

Номер патента: US20130130405A1. Автор: Xia Li-Qun,Gouk Roman,Verhaverbeke Steven,Shek Mei-yee,JIN Yu. Владелец: . Дата публикации: 2013-05-23.