Silicon-on-insulator with crystalline silicon oxide
Номер патента: FI20175587A1
Опубликовано: 22-12-2018
Автор(ы): Antti Lahti, Jaakko Makela, Juha-Pekka Lehtiö, Kalevi Kokko, Marjukka Tuominen, Marko Punkkinen, Mikhail KUZMIN, Pekka Laukkanen
Принадлежит: TURUN YLIOPISTO
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-12-2018
Автор(ы): Antti Lahti, Jaakko Makela, Juha-Pekka Lehtiö, Kalevi Kokko, Marjukka Tuominen, Marko Punkkinen, Mikhail KUZMIN, Pekka Laukkanen
Принадлежит: TURUN YLIOPISTO
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Silicon-on-insulator with crystalline silicon oxide
Номер патента: US20200105576A1. Автор: Pekka Laukkanen,Jaakko Makela,Juha-Pekka Lehtiö,Marko Punkkinen,Antti Lahti,Kalevi Kokko,Marjukka Tuominen,Mikhail KUZMIN. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-04-02.