Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20150332917A1
Опубликовано: 19-11-2015
Автор(ы): Chou Pao-Hwa, Sato Jun
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Film forming method, method of manufacturing semiconductor device, and processing system

Номер патента: US20240297209A1. Автор: Susumu Yamauchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Thin film forming method and thin film forming appartus

Номер патента: US20150354062A1. Автор: Yuichi Ito,Kazuya Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US10811264B2. Автор: Naotaka Noro,Miyako Kaneko,Yuichiro WAGATSUMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-20.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190067015A1. Автор: Naotaka Noro,Miyako Kaneko,Yuichiro WAGATSUMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-28.

Nitride film forming method and storage medium

Номер патента: US09972486B2. Автор: Daisuke Suzuki,Takahiro Miyahara,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-15.

Film forming method and patterning method

Номер патента: US20190074172A1. Автор: Taishi Ebisudani,Yoshio SUSA,Yuko KENGOYAMA. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2019-03-07.

Insulation film-forming method for semiconductor device manufacturing wherein SiOx (O≦x≦1.8) is evaporated

Номер патента: US5804454A. Автор: Hiroshi Mori,Toshiyuki Sameshima. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1998-09-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200035508A1. Автор: Satoshi Takagi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11417521B2. Автор: Hitoshi Kato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-16.

Film Forming Method and Substrate Processing System

Номер патента: US20200098573A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-26.

Film forming method and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: TW201003786A. Автор: Shintaro Aoyama,Kouji Shimomura,Genji Nakamura,Tetsuji Ueno. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Film forming method and aluminum nitride film forming method for semiconductor apparatus

Номер патента: KR102003151B1. Автор: 준 왕,보위 동,빙량 구오,유지에 겅,화이차오 마. Владелец: 베이징 나우라 마이크로일렉트로닉스 이큅먼트 씨오., 엘티디.. Дата публикации: 2019-07-23.

Film forming device and film forming method

Номер патента: US20240229238A9. Автор: Jun Yamawaku. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Film forming device and film forming method

Номер патента: US20240133031A1. Автор: Jun Yamawaku. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Film-forming method and film-forming apparatus for forming silicon oxide film on tungsten film or tungsten oxide film

Номер патента: TW201241226A. Автор: Jun Sato,Pao-Hwa Chou. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-10-16.

Metal oxide film formation method and apparatus

Номер патента: US20100323512A1. Автор: Hitoshi Itoh,Hiroshi Sato,Hidenori Miyoshi,Kenji Matsumoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-12-23.

Film forming apparatus, film forming method and heat insulating member

Номер патента: US20180179625A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuya Takahashi,Satoshi Takagi,Kazuki Yano,Katsuhiko Komori,Keisuke Fujita,Masahisa Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-28.

Thin film forming method and thin film forming appartus

Номер патента: US20150354062A1. Автор: Yuichi Ito,Kazuya Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US12060641B2. Автор: Hiroyuki Ikuta,Yoshiyuki Kondo,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US20200063258A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Susumu Arima,Noboru Miyagawa,Hiroaki Ashizawa,Seokhyoung Hong. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-27.

Charged particle beam device, thin film forming method, defect correction method and device fabrication method

Номер патента: EP2624279B1. Автор: Tatsuya Shimoda,Yasuo Matsuki,Yoshihiro Koyama,Anto Yasaka,Ryo Kawajiri. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-04-05.

Nitrogen concentration measuring method, silicon-oxynitride-film forming method, and semiconductor-device manufacturing method

Номер патента: TW200807492A. Автор: Tetsuro Takahashi,Jiro Katsuki,Shuuichi Ishizuka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-02-01.

Method and Apparatus for Forming Metal Oxide Film

Номер патента: US20150228473A1. Автор: Kazuo Yabe,Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-13.

Film forming method, film forming apparatus, pattern forming method, and manufacturing method of semiconductor apparatus

Номер патента: US6800569B2. Автор: Katsuya Okumura,Shinichi Ito,Rempei Nakata,Tatsuhiko Ema,Kei Hayasaki,Nobuhide Yamada. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-10-05.

HEATING METHOD, FILM FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180277389A1. Автор: MURAKAMI Hiroki,MIYAHARA Takahiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-27.

Charged particle beam apparatus, thin film forming method, defect correction method and device forming method

Номер патента: US20130224889A1. Автор: Tatsuya Shimoda,Yasuo Matsuki,Yoshihiro Koyama,Anto Yasaka,Ryo Kawajiri. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2013-08-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240128081A1. Автор: Daisuke Suzuki,Toru Kanazawa,Keisuke Suzuki,Yoshihiro Takezawa,Tatsuya Miyahara,Yosuke Watanabe,Yuki Tanabe,Masahisa Watanabe,Tuhin Shuvra Basu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Silicon dioxide film forming method

Номер патента: US7211295B2. Автор: Hitoshi Kato,Yutaka Takahashi,Kazutoshi Miura,Katsutoshi Ishii. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-05-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240203729A1. Автор: Manabu Honma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Film-forming device and film-forming method

Номер патента: US20130092528A1. Автор: Shinya Nakamura,Yoshinori Fujii. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2013-04-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11970768B2. Автор: Takeshi Oyama,Jun Ogawa,Hideomi Hane,Noriaki Fukiage,Shimon Otsuki,Ren MUKOUYAMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Tungsten film forming method

Номер патента: TWI545692B. Автор: Seishi Murakami,Mitsuo Tanaka,Kohichi Satoh,Tomonari URANO,Yasushi Aiba,Mayuko Ishikawa,Tohko Horikoshi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-08-11.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200035508A1. Автор: Satoshi Takagi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Film-forming material, film-forming composition, film-forming method using film-forming material and film-forming composition, and semiconductor device fabricated using film-forming method

Номер патента: US20240240318A1. Автор: Jong Moon Kim,Chang Bong Yeon,Jae Sun Jung,Kok Chew TAN. Владелец: Soulbrain Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Film forming method and method of manufacturing thin film transistor

Номер патента: US09947550B2. Автор: Eiji Takahashi. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240290610A1. Автор: Tetsuya Sato,Yusuke Kubota,Takashi Fuse,Shuji Azumo. Владелец: University of Yamanashi NUC. Дата публикации: 2024-08-29.

Thin film forming method

Номер патента: US09777366B2. Автор: Shigeru Nakajima,Atsushi Endo,Kazumasa Igarashi,Satoshi Takagi,Takahiro Miyahara,Akinobu Kakimoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US12018370B2. Автор: Toru Kanazawa,Toshiyuki Ikeuchi,Tatsuhiko Tanimura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Insulating film forming method for semiconductor device interconnection

Номер патента: US5275977A. Автор: Toru Otsubo,Yasuhiro Yamaguchi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1994-01-04.

Film forming method, semiconductor device and manufacturing method of the same

Номер патента: US20020013068A1. Автор: Tomomi Suzuki,Kazuo Maeda,Youichi Yamamoto,Hiroshi Ikakura,Kouichi Ohira,Yoshimi Shioya,Yuichiro Kotake,Shoji Ohgawara. Владелец: Canon Marketing Japan Inc. Дата публикации: 2002-01-31.

Oxide semiconductor film and film-forming method the same, semiconductor apparatus

Номер патента: US20240234138A9. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Film forming method

Номер патента: US20230420249A1. Автор: Keisuke Suzuki,Yosuke Watanabe,Shota CHIDA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-28.

Film forming method, film forming apparatus, and program

Номер патента: US12094700B2. Автор: Toshiharu Hirata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Film forming method for a semiconductor device

Номер патента: EP1143499A3. Автор: Tomomi Canon Sales Co. Ltd. Suzuki,Hiroshi Canon Sales Co. Ltd. Ikakura,Kazuo Semiconduct.Process Laborator.Co Ltd Maeda,Yoshimi Semiconduct.Process Labor.Co Ltd Shioya,Kouichi Semiconduct.Process Labor.Co Ltd Ohira. Владелец: Canon Marketing Japan Inc. Дата публикации: 2003-01-02.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US20240263306A1. Автор: Yumiko Kawano,Tadashi MITSUNARI,Shinichi Ike,Shuji Azumo,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240175117A1. Автор: Jun Ogawa,Yamato Tonegawa,Ken OKOSHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Film forming method and system

Номер патента: US12060640B2. Автор: Jinseok Kim,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Film forming method, film forming apparatus, and article manufacturing method

Номер патента: US20230400762A1. Автор: Kenji Yoshida,Hiroyuki Koide,Yuma Onizawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

Adhesion removal method and film-forming method

Номер патента: US12116675B2. Автор: Yosuke TANIMOTO,Shimon Osada. Владелец: Resonac Corp. Дата публикации: 2024-10-15.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230326719A1. Автор: Naoko Suzuki,Takashi Hashizume,Miyako Kaneko. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-12.

Film-forming method, film-forming apparatus, and oxidation method

Номер патента: US20220068637A1. Автор: Naotaka Noro,Kouji Shimomura,Toshiyuki Ikeuchi,Kotaro Miyatani,Ryoun SHIMAMOTO,Younggi HONG. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230295797A1. Автор: Toshihiko Iwao,Satoru Kawakami,Takayuki Komiya,Taro Ikeda,Nobuo Matsuki,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Film forming method

Номер патента: US20230335394A1. Автор: Takeshi Oyama,Kiwamu Ito,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-19.

Oxide semiconductor film and film-forming method the same, semiconductor apparatus

Номер патента: US20240136179A1. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Film forming method, processing apparatus, and processing system

Номер патента: US20240175121A1. Автор: Hiroki Murakami,Munehito Kagaya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230135342A1. Автор: Hiroki Murakami,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-05-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11915914B2. Автор: Hiroki Murakami,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-27.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US6165916A. Автор: Hitoshi Itoh,Kouichi Muraoka. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2000-12-26.

Film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20240105445A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Issei TAKEYASU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230257871A1. Автор: Takashi Matsumoto,Ryota IFUKU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Film forming method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240194456A1. Автор: Hiroki Murakami,Shuichiro SAKAI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Protective film forming method

Номер патента: US10431452B2. Автор: Yutaka Takahashi,Masahiro Murata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-10-01.

Thin film forming method

Номер патента: US12025484B2. Автор: Youngjae Kim,Younghoon Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-07-02.

Film forming method and semiconductor device

Номер патента: US6642157B2. Автор: Tomomi Suzuki,Kazuo Maeda,Youichi Yamamoto,Hiroshi Ikakura,Kouichi Ohira,Yoshimi Shioya,Yuichiro Kotake,Shoji Ohgawara. Владелец: Canon Marketing Japan Inc. Дата публикации: 2003-11-04.

Plasma film forming method

Номер патента: US20200098563A1. Автор: Fumitaka Shoji. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2020-03-26.

Adhesion removal method and film-forming method

Номер патента: US20220059327A1. Автор: Yosuke TANIMOTO,Shimon Osada. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2022-02-24.

Process for forming low K silicon oxide dielectric material while suppressing pressure spiking and inhibiting increase in dielectric constant

Номер патента: EP1100121A3. Автор: Valeriy Sukharev,Wei-jen Hsia. Владелец: LSI Logic Corp. Дата публикации: 2004-04-14.

Process for forming low k silicon oxide dielectric material while suppressing pressure spiking and inhibiting increase in dielectric constant

Номер патента: EP1100121A2. Автор: Valeriy Sukharev,Wei-jen Hsia. Владелец: LSI Logic Corp. Дата публикации: 2001-05-16.

Method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09779951B2. Автор: Masatoshi Sunamoto,Kazunari Nakata,Yoshiaki Terasaki. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-10-03.

Method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20170076948A1. Автор: Masatoshi Sunamoto,Kazunari Nakata,Yoshiaki Terasaki. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-03-16.

PRECURSOR COMPOSITION FOR FORMING METAL FILM, METAL FILM FORMING METHOD USING SAME, AND SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING SAME METAL FILM

Номер патента: US20210327708A1. Автор: Kim Dong Hyun,Park Yong Joo,HONG Chang Sung,LEE SANG KYUNG,OH Tae Hoon,HWANG In Chun. Владелец: . Дата публикации: 2021-10-21.

Field effect transistor including silicon oxide film and nitrided oxide film as gate insulator film and manufacturing method thereof

Номер патента: US5554876A. Автор: Shigeru Kusunoki,Masahide Inuishi. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1996-09-10.

FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20140199839A1. Автор: Sato Jun,Chou Pao-Hwa. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-17.

Film-forming method, film-forming device, and crystalline oxide film

Номер патента: EP4407660A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US12065732B2. Автор: Yukio Sano,Hirokatsu Kobayashi,Michikazu NAKAMURA,Masayuki Harashima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Polycrystal thin film forming method and forming system

Номер патента: US20010041391A1. Автор: Kuninori Kitahara,Akito Hara. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2001-11-15.

Film forming method and substrate processing device

Номер патента: US20240274436A1. Автор: Keiichi Nagasaka,Toru Kitada,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230207316A1. Автор: Koji Neishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11587787B2. Автор: Hiroyuki Hayashi,Daisuke Suzuki,Yoshihiro Takezawa,Yutaka Motoyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-21.

Film-forming method, manufacturing method of electronic device, and plasma atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US20200013593A1. Автор: Tatsuya Matsumoto,Keisuke Washio,Junichi Shida,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2020-01-09.

Film forming method and crystalline multilayer structure

Номер патента: US20210272805A1. Автор: Isao Takahashi,Takashi Shinohe. Владелец: Flosfia Inc. Дата публикации: 2021-09-02.

Thin film forming device for solar cell and thin film forming method

Номер патента: US20130295751A1. Автор: Kenichi Hara,Masaki Narushima,Takamasa Kato. Владелец: University of Yamanashi NUC. Дата публикации: 2013-11-07.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230399737A1. Автор: Junya Suzuki,Yoshihiro Kato,Toshio Hasegawa,Kouji Shimomura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20130255569A1. Автор: Yuusuke Sato,Takumi Yamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2013-10-03.

Film-forming method, manufacturing method of electronic device, and plasma atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US12009183B2. Автор: Tatsuya Matsumoto,Keisuke Washio,Junichi Shida,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2024-06-11.

Film forming method and semiconductor production apparatus

Номер патента: US20220010424A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Atsushi Endo,Tsuyoshi Moriya,Yusuke Suzuki,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-01-13.

Film forming method and article manufacturing method

Номер патента: US20230343591A1. Автор: Toshiki Ito,Isao Kawata,Yuto ITO. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-10-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11410847B2. Автор: Hiroyuki Hayashi,Keisuke Fujita,Keita Kumagai,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-09.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20200308696A1. Автор: Keisuke Fujita,Yoshihiro Takezawa,Rui KANEMURA,Keita Kumagai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200312661A1. Автор: Hiroyuki Hayashi,Keisuke Fujita,Keita Kumagai,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200058504A1. Автор: Hiroyuki Hayashi,Rui KANEMURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-20.

Insulating film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20240321571A1. Автор: Nobuo Matsuki,Yoshinori Morisada,Daisuke Oba,Masafumi Ishida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09922820B2. Автор: Takeshi Oyama,Akihiro Kuribayashi,Jun Ogawa,Noriaki Fukiage,Takayuki Karakawa,Toyohiro Kamada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Oxide film forming method

Номер патента: US20040087180A1. Автор: Koji Akiyama,Shingo Hishiya,Kimiya Aoki,Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-05-06.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240052483A1. Автор: Junya Suzuki,Yoshihiro Kato,Kazuki Goto,Yuji Otsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Carbon film forming method, carbon film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US20170345644A1. Автор: Masayuki Kitamura,Akira Shimizu,Yosuke Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-30.

Carbon film forming method, carbon film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US11011369B2. Автор: Masayuki Kitamura,Akira Shimizu,Yosuke Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-05-18.

Silicon film forming method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20210090887A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Keisuke Fujita,Tatsuya Miyahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-25.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20210066067A1. Автор: Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Control device, film forming apparatus, control method, film forming method, and recording medium

Номер патента: US20190390347A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Makoto Fujikawa,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-12-26.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11158492B2. Автор: Hiroyuki Iwashita,Hiroyuki Toshima,Tatsuo HIRASAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-10-26.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20200043711A1. Автор: Hiroyuki Iwashita,Hiroyuki Toshima,Tatsuo HIRASAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-06.

Thin film forming method

Номер патента: US11823866B2. Автор: Jongwan Choi,SungKyu Kang,TaeHee Yoo,Younghoon Kim,Kyungeun LEE,HieChul Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-11-21.

Method for forming of a silicon oxide layer on a topography

Номер патента: US5780103A. Автор: Michael Rogalli,Oswald Spindler,Dirk Toebben,Doerthe Groteloh. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1998-07-14.

Gas supply mechanism, gas supplying method, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: KR20150112804A. Автор: 마사유키 모로이,하지메 야마나카,야스시 아이바,다카노부 홋타. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-10-07.

Thin film forming method, thin film forming apparatus, and program

Номер патента: US20120164847A1. Автор: Kazuya Yamamoto,Pao-Hwa Chou,Toshiyuki Ikeuchi,Kentarou SERA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-06-28.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200294787A1. Автор: Ogawa Jun,Kuribayashi Akihiro,OSHIMO Kentaro,Kamada Toyohiro,Otsuki Shimon,KARAKAWA Takayuki,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09966256B2. Автор: Daisuke Suzuki,Kazuya Takahashi,Satoshi Takagi,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Article manufacturing method, film forming method, mold manufacturing method, exposure apparatus, information processing method, and non-transitory computer-readable medium storing a program

Номер патента: US20210035808A1. Автор: Hiroshi Kurosawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2021-02-04.

Film forming method, computer storage medium, and film forming system

Номер патента: US09741559B2. Автор: Kousuke Yoshihara,Satoru Shimura,Fumiko Iwao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-08-22.

Method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, thin film forming apparatus and non-transitory recording medium

Номер патента: US09920424B2. Автор: Ryota Goto,Rintaro TAKAO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Film-forming apparatus, film-forming method, gallium oxide film and laminate

Номер патента: US20240229236A9. Автор: Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20160071728A1. Автор: Daisuke Suzuki,Kazuya Takahashi,Satoshi Takagi,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-03-10.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20100236918A1. Автор: Hiroki Yamamoto,Shinya Nakamura,Tadashi Morita,Naoki Morimoto,Kenichi Imakita,Ayao Nabeya. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-09-23.

Film-forming apparatus, film-forming method, gallium oxide film and laminate

Номер патента: US20240133029A1. Автор: Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Resin composition, resist underlayer film, resist underlayer film-forming method and pattern-forming method

Номер патента: US20130153535A1. Автор: Masayuki Motonari,Satoru Murakami,Yuushi Matsumura,Shin-Ya Nakafuji,Kazuhiko KOUMURA,Katsuhisa MIZOGUCHI. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Resin composition, resist underlayer film, resist underlayer film-forming method and pattern-forming method

Номер патента: US20140014620A9. Автор: Masayuki Motonari,Satoru Murakami,Yuushi Matsumura,Shin-Ya Nakafuji,Kazuhiko KOUMURA,Katsuhisa MIZOGUCHI. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2014-01-16.

Method of forming a ceramic silicon oxide type coating, method of producing an inorganic base material, agent for forming a ceramic silicon oxide type coating, and semiconductor device

Номер патента: EP2195398A2. Автор: Nobuo Kushibiki,Michitaka Suto,Yukinari Harimoto,Elias Dimitris Katsoulis,Tetsuyuki Michino. Владелец: Dow Corning Toray Co Ltd. Дата публикации: 2010-06-16.

Nitride film forming method

Номер патента: US20170125238A1. Автор: Akira Shimizu,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-04.

Nitride film forming method using nitrading active species

Номер патента: US09865457B2. Автор: Akira Shimizu,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING DEVICE, AND FILM FORMING SYSTEM

Номер патента: US20150087140A1. Автор: Ueda Hirokazu,NOZAWA Toshihisa. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2015-03-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20120321791A1. Автор: Yoshitaka Mori,Keisuke Suzuki,Kentaro Kadonaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-20.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20190136377A1. Автор: HONMA Manabu,NAKASATO Yuka. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-09.

VAPORIZING UNIT, FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, COMPUTER PROGRAM AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20140256157A1. Автор: Sawada Ikuo,Ikeda Kyoko,NAGASEKI Sumie. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-09-11.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20170271143A1. Автор: Ogawa Jun,Kuribayashi Akihiro,OSHIMO Kentaro,Kamada Toyohiro,Otsuki Shimon,KARAKAWA Takayuki,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-21.

FILM-FORMING METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20150087161A1. Автор: Sato Jun,Chou Pao-Hwa. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-26.

PBNZT ferroelectric film, sol-gel solution, film forming method and method for producing ferroelectric film

Номер патента: US09966527B2. Автор: Takeshi Kijima,Yuuji Honda. Владелец: Youtec Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09926624B2. Автор: Kazuki Yamada,Kenji Ouchi,Taiki KATOU,Masato Morishima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Carbon hard mask, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: US20240240324A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Tsuyoshi Moriya,Hirotsugu Sugiura,Masaru Hori,Makoto Sekine,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokai National Higher Education and Research System NUC. Дата публикации: 2024-07-18.

Carbon hard mask, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: US20220042173A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Tsuyoshi Moriya,Hirotsugu Sugiura,Masaru Hori,Makoto Sekine,Yoshinori MORISADA MORISADA. Владелец: Tokai National Higher Education and Research System NUC. Дата публикации: 2022-02-10.

Silicon nitride film forming method, film forming device, and silicon nitride film

Номер патента: IL313438A. Автор: Morimoto Naoki,ANDO Yuta,Igari Akira. Владелец: Igari Akira. Дата публикации: 2024-08-01.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140295675A1. Автор: IKEUCHI Toshiyuki,OBU Tomoyuki,KIMURA Norifumi. Владелец: Tokyo Electronic Limited. Дата публикации: 2014-10-02.

Coating film forming apparatus and coating film forming method

Номер патента: TWI250566B. Автор: Tsuyoshi Mizuno,Kimihide Saito,Yuuichi Mikata. Владелец: Sanyo Electric Co. Дата публикации: 2006-03-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201013783A. Автор: Yoshihiro Ishida,Katsushige Harada,Takuya Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-04-01.

Film-forming device and film-forming method

Номер патента: EP4138118A4. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-28.

Gases for plasma reaction, method of dry etching, and film-forming method of fluorocarbon film

Номер патента: TW200839031A. Автор: Tatsuya Sugimoto,Masahiro Nakamura. Владелец: Zeon Corp. Дата публикации: 2008-10-01.

Sacrificial film forming method, substrate treatment method, and substrate treatment device

Номер патента: US20190258166A1. Автор: Masayuki Otsuji. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-22.

Film forming method

Номер патента: US7122486B2. Автор: Junichi Miyano,Kiyohiko Toshikawa. Владелец: Oki Electric Industry Co Ltd. Дата публикации: 2006-10-17.

Silicon oxide film forming method and plasma oxidation apparatus

Номер патента: US20130012033A1. Автор: Yoshihiro Sato,Yoshiro Kabe,Shuichiro Otao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-01-10.

Protective film forming method for forming a protective film on a wafer

Номер патента: US9761442B2. Автор: Hiroto Yoshida,Taku Iwamoto,Junichi Kuki. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2017-09-12.

Film forming method, semiconductor device and manufacturing method of the same

Номер патента: TW531835B. Автор: Tomomi Suzuki,Youichi Yamamoto,Hiroshi Ikakura,Yoshimi Shioya,Yuichiro Kotake. Владелец: Canon Sales Co Inc. Дата публикации: 2003-05-11.

FILM FORMING METHOD, METHOD FOR CLEANING PROCESSING CHAMBER FOR FILM FORMATION, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200263295A1. Автор: MIYAHARA Takahiro,YAMAUCHI Susumu. Владелец: . Дата публикации: 2020-08-20.

Method for removing deposits and method for forming film

Номер патента: EP3905309A1. Автор: Yosuke TANIMOTO,Shimon Osada. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2021-11-03.

Coating film forming method

Номер патента: TWI221099B. Автор: Hiroki Endo. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2004-09-21.

Plasma chemical vapor deposition (cvd) apparatus and film forming method

Номер патента: US20240242940A1. Автор: Takuya Hirohashi. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-07-18.

Oxide film forming method

Номер патента: TW563181B. Автор: Koji Akiyama,Shingo Hishiya,Kimiya Aoki,Yoshikazu Fufurusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2003-11-21.

Film forming material, film forming composition, film forming method using them, and semiconductor device prepared therefrom

Номер патента: KR20220162068A. Автор: 김종문,정재선,연창봉,천기준. Владелец: 솔브레인 주식회사. Дата публикации: 2022-12-07.

PBNZT FERROELECTRIC FILM, SOL-GEL SOLUTION, FILM FORMING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC FILM

Номер патента: US20180240962A1. Автор: Kijima Takeshi,Honda Yuuji. Владелец: YOUTEC CO., LTD.. Дата публикации: 2018-08-23.

Silicon nitride film film forming method and film forming equipment

Номер патента: JP7003011B2. Автор: 寿 加藤. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-01-20.

PBNZT ferroelectric film, sol-gel solution, film forming method and method for producing ferroelectric film

Номер патента: US9431242B2. Автор: Takeshi Kijima,Yuuji Honda. Владелец: Youtec Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-30.

Pbnzt ferroelectric film, sol-gel solution, film forming method, and method for producing ferroelectric film

Номер патента: CN102245513A. Автор: 本多祐二,木岛健. Владелец: Youtec Co Ltd. Дата публикации: 2011-11-16.

A material which forms an insulating film, a film forming method using the same, and an insulating film using the same

Номер патента: TW201016710A. Автор: Nobuo Tajima,Kazuhiro Miyazawa,Manabu Shinriki,Yoshiaki Inaishi,Takahisa Ohno. Владелец: Nat Inst For Materials Science. Дата публикации: 2010-05-01.

Carbon hard mask, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: US11993849B2. Автор: SATOSHI Tanaka,Tsuyoshi Moriya,Hirotsugu Sugiura,Masaru Hori,Makoto Sekine,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokai National Higher Education and Research System NUC. Дата публикации: 2024-05-28.

A ferroelectric film, a film forming method, and a method for manufacturing a ferroelectric film

Номер патента: TWI574281B. Автор: Takeshi Kijima,Yuuji Honda. Владелец: Youtec Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-11.

Film forming method, manufacturing method of semiconductor device using the same, film forming apparatus, and semiconductor device

Номер патента: US20130037873A1. Автор: Keisuke Suzuki,Yuichiro Morozumi,Kentaro Kadonaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-02-14.

FILM-FORMING METHOD, FILM-FORMING APPARATUS, AND OXIDATION METHOD

Номер патента: US20220068637A1. Автор: IKEUCHI Toshiyuki,NORO Naotaka,Shimomura Kouji,MIYATANI Kotaro,SHIMAMOTO Ryoun,HONG Younggi. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-03.

Silicon nitride film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: JP3868324B2. Автор: 亮 服部,友希 奥,正裕 戸塚. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2007-01-17.

Film forming method and method for manufacturing thin film transistor

Номер патента: CN107210220B. Автор: 高桥英治. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2020-06-23.

Alignment device, alignment method, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20210043464A. Автор: 켄타로 스즈키,슌스케 오카베,šœ스케 오카베,타이이치로 아오키,요시히로 나카스. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-04-21.

Film-forming method, film-forming apparatus, and oxidation method

Номер патента: WO2020158079A1. Автор: 尚孝 野呂,晃司 下村,池内　俊之,光太郎 宮谷,竜雲 嶋本,ヨンギ ホン. Владелец: 東京エレクトロン株式会社. Дата публикации: 2020-08-06.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: US20120322273A1. Автор: Tomoya Oori. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-12-20.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20180010238A1. Автор: KATO Kengo. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-11.

SILICON NITRIDE FILM FORMING METHOD AND SILICON NITRIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180037992A1. Автор: Ogawa Jun,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-08.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200043711A1. Автор: IWASHITA Hiroyuki,TOSHIMA Hiroyuki,HIRASAWA Tatsuo. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-06.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210054501A1. Автор: Ogawa Jun,Otsuki Shimon,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,MUKOUYAMA Ren,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210054502A1. Автор: Ogawa Jun,Otsuki Shimon,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,MUKOUYAMA Ren,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20200048759A1. Автор: TOSHIMA Hiroyuki,SHINADA Masato. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-13.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210057207A1. Автор: Ogawa Jun,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20210066067A1. Автор: Ogawa Jun. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

FILM FORMING METHOD FOR SiC FILM

Номер патента: US20200063262A1. Автор: AZUMO Shuji,KASHIWAGI Yusaku,KATOU Taiki. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-27.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20200071831A1. Автор: KUWADA Hirotaka,NUNOSHIGE Yu,FUJI Yasushi. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-05.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190074177A1. Автор: Shimizu Akira,Teramoto Akinobu,ISHII Katsutoshi,SHIBA Yoshinobu,SUWA Tomoyuki. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-07.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210140044A1. Автор: NAGAIKE Hiroshi,FUNAKUBO Takao,Yoshikoshi Daisuke,Iwasaki Takahisa,Hsieh Chiju,Azuma Yuki. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-13.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140213067A1. Автор: SASAKI Koji,Suzuki Keisuke,MOROZUMI Yuichiro,MURAKAMI Hiroki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-31.

COATING FILM FORMING METHOD, COATING FILM FORMING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20170140929A1. Автор: Yoshihara Kousuke,Niwa Takafumi. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-18.

COATING FILM FORMING APPARATUS, COATING FILM FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20150155197A1. Автор: TACHIBANA Kouzou. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-04.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20180179630A1. Автор: Shigeru Nakajima,Yoshihiro Takezawa,Kuniyasu Sakashita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-28.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20170186606A1. Автор: Ogawa Jun,Kuribayashi Akihiro,KARAKAWA Takayuki,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-29.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140295677A1. Автор: Shimizu Akira,NAKAJIMA Shigeru,Tsunatori Tsuyoshi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-10-02.

Insulating Film Forming Method, Insulating Film Forming Device, and Substrate Processing System

Номер патента: US20200211838A1. Автор: Fujii Hiroyuki,Saito Yusuke,Muramatsu Makoto,GENJIMA Hisashi. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

SELECTIVE FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190237326A1. Автор: Endo Atsushi,Ueda Hirokazu,KOMIYA Takayuki. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING SYSTEM

Номер патента: US20170250072A1. Автор: TAKAMURA Yuya. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-31.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND NON-TRANSITORY COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20150275366A1. Автор: Fukushima Kohei. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-01.

Silicon Nitride Film Forming Method and Silicon Nitride Film Forming Apparatus

Номер патента: US20160276147A1. Автор: SATO Hidenobu. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-22.

Film Forming Method, Film Forming Apparatus, and Storage Medium

Номер патента: US20160284613A1. Автор: IKEGAWA Hiroaki,SHIMA Hiromi,TACHINO Yusuke. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20190284691A1. Автор: Takashi Chiba,Takehiro Fukada,Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-09-19.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190287787A1. Автор: Sato Jun,NISHINO Yuji. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-19.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20160322218A1. Автор: Kamada Toyohiro,Iwasaki Masahide,FUKIAGE Noriaki,Igeta Masanobu,EBIHARA Ryosuke. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-03.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20190323124A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,NIINO Reiji,IIZUKA Yoji. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-24.

CARBON FILM FORMING METHOD, CARBON FILM FORMING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20170345644A1. Автор: Shimizu Akira,WATANABE Yosuke,KITAMURA Masayuki. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-30.

Method and apparatus for forming hard mask film and method for manufacturing semiconductor devices

Номер патента: US20200035491A1. Автор: Yutaka Fujino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Film forming device, film forming method, oxide semiconductor film and multilayer body

Номер патента: EP4428902A1. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-11.

Method and apparatus for forming hard mask film and method for manufacturing semiconductor devices

Номер патента: US10879069B2. Автор: Yutaka Fujino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-12-29.

Method for dry-etching semiconductor substrate and method for dry-etching silicon oxide film

Номер патента: US20230207399A1. Автор: Tatsuo Abe,Tsuyoshi Ohtsuki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Coating Film Forming Method, Coating Film Forming Apparatus, and Storage Medium

Номер патента: US20180350594A1. Автор: Takafumi Niwa,Kousuke Yoshihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-12-06.

Dry etching method of semiconductor substrate and dry etching method of silicon oxide film

Номер патента: EP4152362A1. Автор: Tatsuo Abe,Tsuyoshi Ohtsuki. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-22.

Laminate, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US12074078B2. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-27.

Laminate, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US20240363468A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-31.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: EP4269650A2. Автор: Kazuhiro Matsuo,Kota Takahashi,Masaya Toda,Kenichiro TORATANI,Tomoki ISHIMARU. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-11-01.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20230340667A1. Автор: Kazuhiro Matsuo,Kota Takahashi,Masaya Toda,Kenichiro TORATANI,Tomoki ISHIMARU. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-10-26.

Atomizer for forming film, film-forming device, and film-forming method

Номер патента: EP4194103A4. Автор: Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-28.

Silicon carbide semiconductor film-forming apparatus and film-forming method using the same

Номер патента: US09879359B2. Автор: Masahiko Ito,Hideki Ito,Koichi Nishikawa,Masami Naito,Isaho Kamata,Hidekazu Tsuchida,Hiroaki FUJIBAYASHI,Ayumu Adachi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Coating apparatus, thin film forming method, thin film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method, electro-optic device and electronic instrument

Номер патента: TWI239271B. Автор: Ichio Yudasaka. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2005-09-11.

Method for removing adhering material and film forming method

Номер патента: IL290714A. Автор: . Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2022-04-01.

Film formation device, film formation method, gallium oxide film, and laminate

Номер патента: EP4306686A1. Автор: Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-17.

Functional thin film for touch screen and method for forming the same

Номер патента: US20150079768A1. Автор: Yoonseok Choi,Jeongeon HAN,Su Bong JIN. Владелец: Sungkyunkwan University Research and Business Foundation. Дата публикации: 2015-03-19.

Film forming method using reversible decomposition reaction

Номер патента: US9976217B2. Автор: Atsushi Gomi,Kaoru Yamamoto,Masamichi Hara,Tatsuo Hatano,Yasushi Mizusawa,Satoshi Taga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-22.

Film-forming atomizer, film-forming apparatus, and film-forming method

Номер патента: US20230302482A1. Автор: Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.

Coating film forming method, coating film forming device, and storage medium adjusting the thickness of a film formed on a wafer in coating the wafer with a coating liquid to form the film

Номер патента: TW201729249A. Автор: Takafumi Niwa,Kousuke Yoshihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-08-16.

Ignition control method, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US20230235460A1. Автор: Takeshi Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-27.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND APPARATUS

Номер патента: US20140004715A1. Автор: KUROKAWA Masaki,OBU Tomoyuki. Владелец: . Дата публикации: 2014-01-02.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND APPARATUS

Номер патента: US20140011371A1. Автор: KUROKAWA Masaki,OBU Tomoyuki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-01-09.

METHOD OF CLEANING THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, THIN FILM FORMING APPARATUS AND NON-TRANSITORY RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20140187053A1. Автор: Takao Rintaro,GOTO Ryota. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-03.

Method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, thin film forming apparatus and recording medium

Номер патента: KR101697394B1. Автор: 료타 고토,린타로 다카오. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-01-17.

Silicon nitride film forming method, silicon nitride film forming system and silicon nitride film forming system precleaning method

Номер патента: US20050081789A1. Автор: Hitoshi Kato,Kohei Fukushima,Atsushi Endo,Takeshi Kumagai,Tatsuo Nishita. Владелец: Tatsuo Nishita. Дата публикации: 2005-04-21.

Alignment system, film forming apparatus, alignment method, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN111118466A. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-05-08.

Multilayer body, film forming method and film forming apparatus

Номер патента: EP3901994A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-27.

Laminate, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US20220059424A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2022-02-24.

Vacuum processing apparatus and film forming method using vacuum processing apparatus

Номер патента: EP2113937A4. Автор: Hiroshi Mashima,Keisuke Kawamura. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2013-05-01.

Film-forming apparatus for the formation of silicon carbide and film-forming method for the formation of silicon carbide

Номер патента: US20130247816A1. Автор: Masahiko Ito,Kunihiko Suzuki,Hideki Ito,Masami Naito,Yuusuke Sato,Isaho Kamata,Hidekazu Tsuchida. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2013-09-26.

Functional fine line pattern precursor forming method, functional fine line pattern forming method, transparent conductive film forming method, device manufacturing method and electronic device manufacturing method, functional thin line pattern, substrate with transparent conductive film, Devices and electronic equipment

Номер патента: JP6413978B2. Автор: 秀信 大屋,直人 新妻,大屋　秀信,正好 山内,小俣　猛憲,猛憲 小俣,圭一郎 鈴木. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2018-10-31.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing organic EL display device

Номер патента: CN109837505B. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-03-29.

Coating film drying method, coating film forming method, and coating film forming apparatus

Номер патента: JP3658355B2. Автор: 秀峰 元村. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2005-06-08.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing organic EL display device

Номер патента: CN109837519B. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-02-11.

Film-forming apparatus for the formation of silicon carbide and film-forming method for the formation of silicon carbide

Номер патента: CN103320762A. Автор: 铃木邦彦,佐藤裕辅,伊藤英树,伊藤雅彦,土田秀一,镰田功穂,内藤正美. Владелец: NIUFURAI TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-25.

Coating film drying method, coating film forming method, and coating film forming apparatus

Номер патента: US6960372B2. Автор: Shuho Motomura. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2005-11-01.

Electrostatic chuck, film forming apparatus, method for holding and separating substrate, and film forming method

Номер патента: CN109957775B. Автор: 石井博,柏仓一史,细谷映之. Владелец: AOI Co Ltd. Дата публикации: 2022-10-21.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing organic EL display device

Номер патента: CN109837507B. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-06-03.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: EP4269650A3. Автор: Kazuhiro Matsuo,Kota Takahashi,Masaya Toda,Kenichiro TORATANI,Tomoki ISHIMARU. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-01-17.

Film forming method, mask blank manufacturing method, transfer mask manufacturing method, and film forming device

Номер патента: KR101826998B1. Автор: 오사무 노자와,히로아끼 시시도. Владелец: 호야 가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-02-07.

Film forming device, thin-film manufacturing apparatus, and film forming method

Номер патента: KR100893843B1. Автор: 도시오 네기시. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2009-04-17.

Electrostatic chuck, film forming apparatus, substrate adsorption method, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP7127765B2. Автор: 一史 柏倉,博 石井,秀和 元矢. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-08-30.

Boron-based film film forming method and film forming equipment

Номер патента: JP7049883B2. Автор: 金望 李,正浩 岡,博一 上田,佳優 渡部,勇生 山本. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-04-07.

Film forming device, thin-film manufacturing apparatus, and film forming method

Номер патента: CN101068949A. Автор: 根岸敏夫. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2007-11-07.

Film forming device, thin-film manufacturing apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20070070223A. Автор: 도시오 네기시. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2007-07-03.

Amorphous carbon film, semiconductor device, film forming method, film forming apparatus and storage medium

Номер патента: US20100032838A1. Автор: Toshihisa Nozawa,Yasuo Kobayashi,Kohei Kawamura,Yoshiyuki Kikuchi,Hiraku Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-02-11.

Film forming device, thin-film manufacturing apparatus, and film forming method

Номер патента: CN100591799C. Автор: 根岸敏夫. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-02-24.

Adsorption and alignment method, adsorption system, film forming method, film forming apparatus, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20200049357A. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-05-08.

Adsorption and alignment method, adsorption system, film forming method, film forming apparatus, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102550586B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-06-30.

FILM FORMING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND FILM FORMING DEVICE

Номер патента: US20190214248A1. Автор: NAGAOKA Tatsuji. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2019-07-11.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of organic el display apparatus using the same

Номер патента: KR102010158B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라,테루유키 호소야. Владелец: 주식회사 아오이. Дата публикации: 2019-08-12.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR101952521B1. Автор: 히로시 이시이. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-02-26.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR101963982B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라,테루유키 호소야. Владелец: 주식회사 아오이. Дата публикации: 2019-03-29.

Film forming device, film forming method, and method of producing organic el element

Номер патента: CN103820755A. Автор: 片冈达哉,长尾兼次,齐藤谦一. Владелец: VIEETECH JAPAN CO Ltd. Дата публикации: 2014-05-28.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of organic el display device using the same

Номер патента: KR101954539B1. Автор: 히로시 이시이,가즈히토 가시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-03-05.

Alignment device, alignment method, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20210011790A. Автор: 켄타로 스즈키,슌스케 오카베,šœ스케 오카베,타이이치로 아오키,요시히로 나카스. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-02-02.

Film forming equipment, film forming method, and manufacturing method of electronic devices

Номер патента: JP7009340B2. Автор: 毅 滝沢,敏和 大倉,一史 柏倉,博 石井,悟 諸橋,広樹 富井. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-01-25.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: CN111218660A. Автор: 相泽雄树,土田隆,阪上裕介,北上悟. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-06-02.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of an article

Номер патента: KR20220143722A. Автор: 도시키 이토,히로시 구로사와. Владелец: 캐논 가부시끼가이샤. Дата публикации: 2022-10-25.

Film forming device, film forming method, and method of producing organic el element

Номер патента: TW200637930A. Автор: Kenichi Saito,Kenji Nagao,Tatsuya Kataoka. Владелец: Choshu Industry Company Ltd. Дата публикации: 2006-11-01.

Film forming apparatus, film forming method, and method of manufacturing article

Номер патента: EP3637456B1. Автор: Hiroshi Kurosawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-03-20.

POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM FORMING METHOD, POLYCRYSTALLINE SILICON THIN-FILM SUBSTRATE, SILICON THIN-FILM SOLAR CELL, AND SILICON THIN-FILM TRANSISTOR DEVICE

Номер патента: US20130098444A1. Автор: KAWASHIMA Takahiro. Владелец: Panasonic Corporation. Дата публикации: 2013-04-25.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130255569A1. Автор: SATO Yuusuke,Yamada Takumi. Владелец: NUFLARE TECHNOLOGY, INC. Дата публикации: 2013-10-03.

THIN FILM FORMING DEVICE FOR SOLAR CELL AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20130295751A1. Автор: Hara Kenichi,Narushima Masaki,Kato Takamasa. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-07.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130344703A1. Автор: Itoh Hitoshi,SHIMIZU Masahiro. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-12-26.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200017963A1. Автор: Monden Taichi. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-16.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20200048764A1. Автор: Fujii Yasushi,KUWADA Hirotaka,KEIMOTO Yuki,NUNOSHIGE Yu. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-13.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200058499A1. Автор: Hayashi Hiroyuki,KANEMURA Rui. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20160071728A1. Автор: Suzuki Daisuke,Takagi Satoshi,MURAKAMI Hiroki,TAKAHASHI Kazuya. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-10.

SiC FILM FORMING METHOD AND SiC FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180076030A1. Автор: Fuse Takashi,AZUMO Shuji,YAMADA Kazuki,IFUKU Ryota,YAMATO Masatoshi. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210098254A1. Автор: Takagi Satoshi,KITAMURA Kazuya,TSAI Hsiulin. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200095683A1. Автор: MAEKAWA Koji,YAMAGUCHI Katsumasa,SAMESHIMA Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-26.

SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20160138190A1. Автор: ITO Hideki,TSUCHIDA Hidekazu,KAMATA Isaho,ITO Masahiko,NAITO Masami,FUJIBAYASHI Hiroaki,ADACHI Ayumu,NISHIKAWA Koichi. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-19.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20180158671A1. Автор: Kubo Atsushi,MORIYA Tsuyoshi,Yamamoto Kosuke,Suzuki Ayuta,MATSUZAKI Kazuyoshi,KAGAYA Munehito,Mitsunari Tadashi. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-07.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210202248A1. Автор: Suzuki Daisuke,Hayashi Hiroyuki,TAKEZAWA Yoshihiro,MOTOYAMA Yutaka. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210249264A1. Автор: KATO Hitoshi. Владелец: . Дата публикации: 2021-08-12.

Film Forming Apparatus, Film Forming Method, and Computer-Readable Storage Medium

Номер патента: US20170233866A1. Автор: Masami Oikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-08-17.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190271074A1. Автор: Suzuki Keisuke,KIKAMA Eiji,KO Kyungseok,SHIMA Hiromi. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-05.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20180286719A1. Автор: TAKAHASHI Hideshi,Hayano Takanori,IYECHIKA Yasushi. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-04.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200294798A1. Автор: AZUMO Shuji,Kamada Toyohiro,Ike Shinichi,WAGATSUMA Yuichiro. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-17.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20150325432A1. Автор: ISHIZAKA Tadahiro. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-12.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20200308696A1. Автор: FUJITA Keisuke,TAKEZAWA Yoshihiro,KANEMURA Rui,KUMAGAI Keita. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200312661A1. Автор: FUJITA Keisuke,Hayashi Hiroyuki,KUMAGAI Keita,FUJITA Sena. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-01.

Film forming method, computer storage medium, and film forming system

Номер патента: US20150357188A1. Автор: Kousuke Yoshihara,Satoru Shimura,Fumiko Iwao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Coating Film Forming Method, Coating Film Forming Apparatus, and Storage Medium

Номер патента: US20180350594A1. Автор: Yoshihara Kousuke,Niwa Takafumi. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-06.

Semiconductor Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20190348278A1. Автор: MOTOYAMA Yutaka,HONG Younggi. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-14.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20190352771A1. Автор: Einstein Noel Abarra. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-11-21.

Film forming method, film forming system and surface processing method

Номер патента: US20180037989A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Kazuyoshi Yamazaki,Naotaka Noro,Miyako Kaneko. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-08.

Film forming method and film forming system

Номер патента: US20200071829A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-05.

Ruthenium film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US09779950B2. Автор: Tadahiro Ishizaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

Ruthenium film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20230227973A1. Автор: Tadahiro Ishizaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-20.

Film forming method and film forming system

Номер патента: US11401609B2. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-02.

Tungsten Film-Forming Method, Film-Forming System and Storage Medium

Номер патента: US20240003002A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Tungsten film-forming method, film-forming system and storage medium

Номер патента: US11802334B2. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20210363638A1. Автор: Satoshi Wakabayashi,Daisuke HOJO,Yuka Goto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-11-25.

Film forming method

Номер патента: US20230357923A1. Автор: Junya Suzuki,Yoshihiro Kato,Toshio Hasegawa,Kouji Shimomura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-09.

Boron nitride film forming method and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US20170117145A1. Автор: Takahiro Miyahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-27.

Film forming method, method for manufacturing semiconductor device, film forming device, and system for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US12119219B2. Автор: Hideo Nakamura,Hiroaki Ashizawa,Yosuke Serizawa,Yoshikazu IDENO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-15.

Tungsten film forming method

Номер патента: US20020048938A1. Автор: Mitsuhiro Tachibana,Hotaka Ishizuka. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-04-25.

Pre-coating method and film forming method

Номер патента: US11718910B2. Автор: Hideaki Yamasaki,Takeshi Itatani. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-08.

Film forming method and apparatus, and storage medium

Номер патента: US8268396B2. Автор: Hitoshi Itoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-09-18.

Film Forming Method

Номер патента: US20190164768A1. Автор: Atsushi Matsumoto,Kensaku Narushima,Takanobu Hotta,Nagayasu HIRAMATSU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-05-30.

Precursor solution for thin film deposition and thin film forming method using same

Номер патента: US11972941B2. Автор: Dong Hyun Kim,Chang Sung Hong,Yong Joo Park,Sang Kyung Lee,In Chun HWANG,Tae Hoon Oh. Владелец: SK Tri Chem Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Liquid film forming method

Номер патента: US20040091606A1. Автор: Shinichi Ito. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-05-13.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20020071910A1. Автор: Kiyohisa Tateyama,Tsutae Omori. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-06-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230392258A1. Автор: Toshio Hasegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-07.

Film forming method and processing system

Номер патента: US20130136859A1. Автор: Hitoshi Itoh,Kenji Matsumoto,Shigetoshi Hosaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-30.

Thin film forming method, semiconductor substrate and electronic device produced by employing same

Номер патента: US20150349137A1. Автор: Yoshitaka Kobayashi,Shogo Nakamura,Seiichiro Higashi,Kohei SAKAIKE,Muneki AKAZAWA. Владелец: Hiroshima University NUC. Дата публикации: 2015-12-03.

Method for forming thin film

Номер патента: US20230260794A1. Автор: Young Woon Kim,Il Hyong CHO. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Method for Forming Tantalum Nitride Film

Номер патента: US20090159431A1. Автор: Kyuzo Nakamura,Tomoyasu Kondo,Harunori Ushikawa,Satoru Toyoda,Narishi Gonohe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-06-25.

Method for forming tantalum nitride film

Номер патента: US20090246375A1. Автор: Tomoyasu Kondo,Harunori Ushikawa,Satoru Toyoda,Narishi Gonohe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-10-01.

Method for forming ruthenium thin film

Номер патента: US12091748B2. Автор: Soo-Hyun Kim,Yohei KOTSUGI. Владелец: Tanaka Kikinzoku Kogyo KK. Дата публикации: 2024-09-17.

Method of forming a tungsten film having a low resistance

Номер патента: US10612139B2. Автор: Atsushi Matsumoto,Mikio Suzuki,Koji Maekawa,Susumu Arima,Shintaro Aoyama,Naoki Shibata,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-04-07.

Film forming device, film forming method and storage medium

Номер патента: TW201124555A. Автор: Yasuhiko Kojima,Shuji Azumo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-07-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW200816316A. Автор: Mitsuhiro Tachibana,Takashi Nishimori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-04-01.

Film forming method and film forming device

Номер патента: TWI440092B. Автор: Osamu Yokoyama,Atsushi Gomi,Masamichi Hara,Tatsuo Hatano,Yasushi Mizusawa,Satoshi Taga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-06-01.

Film forming method, film forming device, and storage medium

Номер патента: TW200746305A. Автор: Osamu Yokoyama,Takashi Sakuma,Taro Ikeda,Tatsuo Hatano,Yasushi Mizusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-12-16.

Film-forming device, film-forming method, and memory medium

Номер патента: TW201612356A. Автор: Yoshiaki Sasaki,Hiromitsu Sakaue. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-04-01.

Method for forming ruthenium thin film

Номер патента: US20230212741A1. Автор: Soo-Hyun Kim,Yohei KOTSUGI. Владелец: Tanaka Kikinzoku Kogyo KK. Дата публикации: 2023-07-06.

Titanium nitride film forming method and titanium nitride film forming apparatus

Номер патента: US20220356565A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Kensuke Higuchi,Seokhyoung Hong. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-11-10.

Film forming method and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: TW579546B. Автор: Kazuo Maeda,Toshiro Nishiyama,Yuki Ishii,Noboru Tokumasu. Владелец: Canon Sales Co Inc. Дата публикации: 2004-03-11.

Method of forming metal wiring and semiconductor manufacturing apparatus for forming metal wiring

Номер патента: WO2002041379A1. Автор: Kenji Suzuki,Yumiko Kawano,Mitsuhiro Tachibana,Kazuya Okubo,Hideaki Yamasaki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2002-05-23.

Film-forming method and film-forming device for ruthenium film, and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: TWI663277B. Автор: 石坂忠大,佐久間隆,平澤達郎. Владелец: 日商東京威力科創股份有限公司. Дата публикации: 2019-06-21.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20140246325A1. Автор: Kazuo Kondo,Yasuhiro Koizumi,Takayuki Tsuchiya,Masao Marunaka. Владелец: Shinmaywa Industries Ltd. Дата публикации: 2014-09-04.

Film forming method of metal film, forming method of multilayer wiring structure, manufacturing method of semiconductor device, and film forming apparatus

Номер патента: TW200903644A. Автор: Masamichi Hara,Tatsuo Hatano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-01-16.

Film forming method, method for manufacturing semiconductor device, film forming device, and system for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20220157600A1. Автор: Hideo Nakamura,Hiroaki Ashizawa,Yosuke Serizawa,Yoshikazu IDENO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-19.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11970767B2. Автор: Kazuki Ota,Tetsu Zenko,Taichi Monden. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

TUNGSTEN FILM FORMING METHOD, FILM FORMING SYSTEM AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190221434A1. Автор: MAEKAWA Koji,YAMAGUCHI Katsumasa,SAMESHIMA Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-18.

Film forming method, film forming system and film forming apparatus

Номер патента: CN112292476A. Автор: 前川浩治,鲛岛崇,中岛滋,山口克昌. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-01-29.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN110872693A. Автор: 菅原洋纪,渡部新. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-03-10.

TiSiN film forming method, diffusion barrier TiSiN film, semiconductor device, method of fabricating the same and TiSiN film forming system

Номер патента: US20040232467A1. Автор: Hayashi Otsuki,Kimihiro Matsuse,Kunihiro Tada. Владелец: Kunihiro Tada. Дата публикации: 2004-11-25.

Silicon Film Forming Method, Thin Film Forming Method and Cross-Sectional Shape Control Method

Номер патента: US20150037970A1. Автор: Okada Mitsuhiro,KAKIMOTO Akinobu,HASEBE Kazuhide,Hayashi Hiroyuki,TAKAHASHI Kazuya,FURUSAWA Yoshikazu,Komori Katsuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

Ge-CONTAINING Co-FILM FORMING MATERIAL, Ge-CONTAINING Co FILM AND FILM FORMING METHOD THEREOF

Номер патента: US20200234960A1. Автор: Ko Changhee,Girard Jean-Marc,Sanchez Antonio,Blasco Nicolas,ARTEAGA Rocio,Rochat Raphael. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-23.

Copper base film forming material, copper base film forming method, copper base film and semiconductor device

Номер патента: JP4071612B2. Автор: 英明 町田,登 三上. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2008-04-02.

Precursor composition for forming metal film, metal film forming method using same, and semiconductor device comprising same metal film

Номер патента: WO2020122506A3. Автор: 김동현,이상경,박용주,황인천,홍창성,오태훈. Владелец: 에스케이트리켐 주식회사. Дата публикации: 2020-07-30.

Ruthenium film forming method, ruthenium film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US20150240344A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Takashi Sakuma,Tatsuo HIRASAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-27.

RUTHENIUM FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20160240433A1. Автор: ISHIZAKA Tadahiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-18.

Film-forming method, film-forming apparatus, and manufacturing method of a semiconductor device

Номер патента: KR20220124223A. Автор: 홍석형,츠요시 다카하시,다이치 몬덴. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-09-13.

Film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: JP4074461B2. Автор: 有美子 河野,幸浩 霜垣. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-04-09.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20200025988A. Автор: 히로키 스가와라,아라타 와타베. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-03-10.

Substrate treatment method, film forming method, film forming apparatus, and computer readable storage medium

Номер патента: KR100954735B1. Автор: 나오키 요시이,야스히코 고지마,고우메이 마츠자와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2010-04-23.

Film forming method, film forming system and surface processing method

Номер патента: KR102023434B1. Автор: 츠요시 다카하시,나오타카 노로,미야코 가네코,카즈요시 야마자키. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-09-23.

Ruthenium film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: KR101882991B1. Автор: 타다히로 이시자카. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-07-27.

Film forming method, semiconductor device manufacturing method, semiconductor device and film forming device

Номер патента: CN100477119C. Автор: 吉井直树,小岛康彦. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-04-08.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190067015A1. Автор: Kaneko Miyako,WAGATSUMA Yuichiro,NORO Naotaka. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING SYSTEM

Номер патента: US20200071829A1. Автор: MAEKAWA Koji,YAMAGUCHI Katsumasa,SAMESHIMA Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-05.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING SYSTEM

Номер патента: US20180076087A1. Автор: Hasegawa Toshio,LIN Jun,Nishimura Kazuaki,YAMAUCHI Susumu. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200098624A1. Автор: Atsushi Matsumoto,Kensaku Narushima,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-26.

Tungsten Film-Forming Method, Film-Forming System and Storage Medium

Номер патента: US20210164095A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-06-03.

CARBON FILM FORMING METHOD, CARBON FILM FORMING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20170170065A1. Автор: Shimizu Akira,WATANABE Yosuke,KITAMURA Masayuki. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-15.

Tungsten Film-Forming Method, Film-Forming System and Storage Medium

Номер патента: US20190256972A1. Автор: MAEKAWA Koji,YAMAGUCHI Katsumasa,SAMESHIMA Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-22.

Film forming method, non-transitory computer storage medium and film forming apparatus

Номер патента: US20140170332A1. Автор: Satoru Shimura,Fumiko Iwao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-06-19.

Method for storing silicon substrate having silicon oxide film formed thereon

Номер патента: US20060207688A1. Автор: Toshiyuki Fujimoto,Shingo Ichimura,Akira Kurokawa,Hidehiko Nonaka. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2006-09-21.

Metal film forming method.

Номер патента: MY107855A. Автор: Tsubouchi Kazuo. Владелец: Tsubouchi Kazuo. Дата публикации: 1996-06-29.

Method for forming a transparent electroconductive film

Номер патента: US20090134014A1. Автор: Atsushi Ota,Noriaki Tani,Satoru Ishibashi,Hirohisa Takahashi,Sadayuki Ukishima. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2009-05-28.

A film forming method of a film, a method of forming a gate electrode, and a method of manufacturing a semiconductor device

Номер патента: KR100930434B1. Автор: 히데아키 야마사키. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2009-12-08.

Film Forming Method And Film Formed By The Method

Номер патента: KR100372046B1. Автор: 이케다유지로. Владелец: 샤프 가부시키가이샤. Дата публикации: 2003-02-14.

Film forming method and film formed by the method

Номер патента: US6346483B1. Автор: Yujiro Ikeda. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2002-02-12.

Etching of silicon oxide film

Номер патента: US20080254636A1. Автор: Shigeki Tozawa,Yusuke Muraki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-10-16.

NICKEL SOLUTION FOR FORMING FILM AND FILM-FORMING METHOD USING SAME

Номер патента: US20160237582A1. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi,AKAMATSU Kensuke,SHIMMEI Yoshitaka. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-08-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20210380836A1. Автор: Takashi Namikawa,Takashi Fuse. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-12-09.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: US12036573B2. Автор: Shougo Inaba. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Film forming method for organic semiconductor film

Номер патента: US20210359212A1. Автор: Eijiro Iwase. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2021-11-18.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US20130323421A1. Автор: Koji Honma,Hitoshi Inuzuka. Владелец: SANKEI ENGR CO Ltd. Дата публикации: 2013-12-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230245881A1. Автор: Taiki KATO,Zeyuan NI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Wafer Edge Protection Film Forming Method, Patterning Process, And Composition For Forming Wafer Edge Protection Film

Номер патента: US20240087905A1. Автор: Naoki Kobayashi,Toshiharu Yano. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Wafer edge protection film forming method, patterning process, and composition for forming wafer edge protection film

Номер патента: EP4325291A1. Автор: Naoki Kobayashi,Toshiharu Yano. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-21.

Positive photosensitive resin composition and cured film forming method using the same

Номер патента: US09964848B2. Автор: Satoshi Takita. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2018-05-08.

Method for manufacturing organic el device, film-forming method, and film-forming apparatus

Номер патента: US20200020892A1. Автор: Katsuhiko Kishimoto. Владелец: Sakai Display Products Corp. Дата публикации: 2020-01-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20130344703A1. Автор: Hitoshi Itoh,Masahiro Shimizu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-12-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11879067B2. Автор: Takashi Namikawa,Takashi Fuse. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20210398863A1. Автор: Yusuke Suzuki,Yuji Otsuki,Munehito Kagaya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-12-23.

Film-forming method

Номер патента: US20170335454A1. Автор: Noriyoshi Shimizu,Yuji Furumura,Masato Ishikawa,Shinji Nishihara,Eri Haikata. Владелец: Philtech Inc. Дата публикации: 2017-11-23.

Film-forming method and raw material solution

Номер патента: US20230313369A1. Автор: Takenori Watabe,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Thin film forming method, thin film forming apparatus and solar cell

Номер патента: US20010031542A1. Автор: Michio Kondo,Norikazu Ito,Akihisa Matsuda,Yoshimi Watabe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-10-18.

Coating film forming method, coating film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US20230219116A1. Автор: Yusaku Hashimoto,Yuki Matsutake,Kodai YAGI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-13.

Film forming method

Номер патента: US6165552A. Автор: Masaaki Takizawa,Noriyuki Anai,Tsutae Omori,Mitsuhiro Sakai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2000-12-26.

Ge—Sb—Te film forming method, Ge—Te film forming method, and Sb—Te film forming method

Номер патента: US9246098B2. Автор: Yumiko Kawano,Susumu Arima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-01-26.

Inkjet printing film-forming method, production method of organic light-emitting device, organic light-emitting device, and display apparatus

Номер патента: US20180294412A1. Автор: Ying Cui. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2018-10-11.

Film-forming method, manufacturing method of electronic device, and mask holder

Номер патента: US20200010949A1. Автор: Masaki Chiba,Keisuke Washio,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2020-01-09.

Pre-wet liquid, resist film forming method, pattern forming method, and kit

Номер патента: US20220197137A1. Автор: Satomi Takahashi. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2022-06-23.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200058504A1. Автор: Hayashi Hiroyuki,KANEMURA Rui. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

Film-forming system and film-forming method

Номер патента: EP1420079A1. Автор: Akira c/o Anelva Corporation Kumagai. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 2004-05-19.

Film forming apparatus, film forming system, film forming method, and method for manufacturing electronic device or organic electroluminescence element

Номер патента: CN101258261A. Автор: 大见忠弘,松冈孝明,伊藤日艺,中山尚三. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2008-09-03.

Film forming apparatus, film forming method and computer-readable recording medium storing program of embodying film forming method to film forming apparatus

Номер патента: KR101222396B1. Автор: 히또시 가또오,마나부 혼마,가즈떼루 오바라. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-01-16.

Film forming apparatus, film forming system, film forming method, and method for manufacturing electronic device or organic electroluminescence element

Номер патента: KR100990060B1. Автор: 다다히로 오미,다카아키 마츠오카,쇼조 나카야마,히로노리 이토. Владелец: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠. Дата публикации: 2010-10-29.

Film-forming apparatus, film-forming system, film-forming method, and method of producing an electronic apparatus or an organic electroluminescence element

Номер патента: TW200728478A. Автор: Tadahiro Ohmi,Hironori Ito,Shozo Nakayama,Takaaki Matsuoka. Владелец: Univ Tohoku. Дата публикации: 2007-08-01.

Film forming apparatus, substrate processing apparatus, film forming method, and recording medium recording program for executing this film forming method

Номер патента: JP5276387B2. Автор: 寿 加藤,学 本間. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-08-28.

Method of forming hexagonal silicon phase by implanting krypton ions in a film of silicon oxide on a monocrystalline silicon wafer

Номер патента: RU2710479C1. Автор: Давид Исаакович Тетельбаум,Алексей Николаевич Михайлов,Дмитрий Сергеевич Королев,Дмитрий Алексеевич Павлов,Николай Олегович Кривулин,Валерий Константинович Васильев,Алёна Андреевна Никольская. Владелец: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского". Дата публикации: 2019-12-26.

CARBON HARD MASK, FILM FORMING APPARATUS, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220042173A1. Автор: Tanaka Satoshi,MORIYA Tsuyoshi,Hori Masaru,Sekine Makoto,SUGIURA Hirotsugu,MORISADA Yoshinori MORISADA. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-10.

Microcrystalline silicon film forming method and solar cell

Номер патента: CA2647595A1. Автор: Masashi Ueda,Tomoko Takagi,Norikazu Itou. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-10-04.

Film forming system, magnetization characteristic measuring device, and film forming method

Номер патента: US11715671B2. Автор: Einstein Noel Abarra,Hiroaki Chihaya,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-01.

Film forming system, magnetization characteristic measuring device, and film forming method

Номер патента: US20210082777A1. Автор: Einstein Noel Abarra,Hiroaki Chihaya,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-18.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20210407779A1. Автор: Atsushi Gomi,Atsushi Takeuchi,Kanto Nakamura,Toru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-12-30.

Method for the formation of a silicon oxide film

Номер патента: US5372842A. Автор: Takashi Nakamura,Motoshi Sasaki,Katsutoshi Mine. Владелец: Dow Corning Toray Silicone Co Ltd. Дата публикации: 1994-12-13.

Microcrystalline silicon film forming method and solar cell

Номер патента: CA2647595C. Автор: Masashi Ueda,Tomoko Takagi,Norikazu Itou. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2011-12-20.

Metal oxide film-forming composition, method for producing metal oxide films using same, and method for reducing volume shrinkage ratio of metal oxide films

Номер патента: EP4257644A1. Автор: Kenichi Yamauchi,Kunihiro Noda,Dai Shiota. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-11.

Metal oxide film-forming composition, method for producing metal oxide films using same, and method for reducing volume shrinkage ratio of metal oxide films

Номер патента: US20240027889A1. Автор: Kenichi Yamauchi,Kunihiro Noda,Dai Shiota. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-25.

Thin film forming method and thin film stack

Номер патента: US20110052924A1. Автор: Kiyoshi Oishi. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2011-03-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US12077865B2. Автор: Makoto Wada,Hiroyuki Ikuta,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200407850A1. Автор: Tetsuya Yamamoto,Hisashi Kitami. Владелец: Kochi University of Technology. Дата публикации: 2020-12-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240254626A1. Автор: Takashi Matsumoto,Hiroki Yamada,Ryota IFUKU,Nobutake KABUKI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Oxide film forming device

Номер патента: US20240344200A1. Автор: Toshinori Miura. Владелец: Meidensha Corp. Дата публикации: 2024-10-17.

Conductive film forming method and sintering promoter

Номер патента: US09905339B2. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Kazushige Miyamoto,Yuichi Kawato. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-27.

Method for forming a liquid film on a substrate

Номер патента: US20030044542A1. Автор: Shinichi Ito. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2003-03-06.

Method for forming a liquid film on a substrate

Номер патента: US6669982B2. Автор: Shinichi Ito. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2003-12-30.

Method for forming a liquid film on a substrate

Номер патента: US20040091607A1. Автор: Shinichi Ito. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-05-13.

Film forming method

Номер патента: EP4353368A1. Автор: Satoshi Kuniyasu,Tamotsu Saikawa. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-04-17.

Dry electrode double steel belt apparatus for forming free-standing film and free-standing film-forming method thereof

Номер патента: EP4372836A2. Автор: MING Chen,Yan Zhou,Dong Zhang,Jiabing Liu,Xuegang Yu,Longri XU. Владелец: Dg Ssl Katop Automation Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-22.

Dry electrode double steel belt apparatus for forming free-standing film and free-standing film-forming method thereof

Номер патента: EP4372836A3. Автор: MING Chen,Yan Zhou,Dong Zhang,Jiabing Liu,Xuegang Yu,Longri XU. Владелец: Dg Ssl Katop Automation Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-12.

Coating film forming method

Номер патента: EP4369428A1. Автор: Takayuki Sano,Satoshi Kuniyasu. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-05-15.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20150315705A1. Автор: Kazuya Okubo,Takeshi Kumagai,Muneyuki Otani. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-11-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230062105A1. Автор: Makoto Wada,Hiroyuki Ikuta,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-02.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20220266294A1. Автор: Naohiro Toda. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-08-25.

Film forming method of corrosion resistant film, corrosion resistant member on which corrosion resistant film is formed, heat exchanger, and fuel cell system

Номер патента: US11912879B2. Автор: Masao Watanabe,Yuya KUSANO,Tomoharu Kataoka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-02-27.

Film forming method and atmospheric plasma film forming apparatus

Номер патента: US20230399748A1. Автор: Yoshihiko Mochizuki,Akihisa Yoshida. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2023-12-14.

Resin film forming method and resin film forming apparatus employing said method

Номер патента: US6576288B2. Автор: Katsuya Ogita. Владелец: Casio Micronics Co Ltd. Дата публикации: 2003-06-10.

Resin film forming method and resin film forming apparatus employing said method

Номер патента: US20010004916A1. Автор: Katsuya Ogita. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-06-28.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20200312626A1. Автор: Jun Yamawaku. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Resin film forming method and resin film forming apparatus employing said method

Номер патента: TW478120B. Автор: Katsuya Ogita. Владелец: Casio Micronics Co Ltd. Дата публикации: 2002-03-01.

Film forming device, film forming method, and method for manufacturing electronic appliance

Номер патента: US20060192814A1. Автор: Kenji Sakamoto,Katsuyuki Morii. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2006-08-31.

Plasma film forming apparatus and plasma film forming method

Номер патента: US20220076932A1. Автор: Masaru Shimada,Hironori TORII,Kozue Tanaka. Владелец: Jsw Afty Corp. Дата публикации: 2022-03-10.

Film forming method, discharging droplet method and droplet discharging device

Номер патента: TW200829339A. Автор: Gen Fujii. Владелец: Semiconductor Energy Lab. Дата публикации: 2008-07-16.

Method for cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: US20120247511A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuaki Nishimura,Yukio Tojo,Kenji Tago. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-10-04.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190345604A1. Автор: Chio Hyun Ho. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-14.

Thin-film forming apparatus, thin-film forming method and method for cleaning thin-film forming apparatus

Номер патента: KR100779823B1. Автор: 가즈히데 하세베,미쯔히로 오까다,다까시 지바,쥰 오가와. Владелец: 도쿄 엘렉트론 가부시키가이샤. Дата публикации: 2007-11-28.

Method for cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: TW201248694A. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuaki Nishimura,Yukio Tojo,Kenji Tago. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-01.

Ruthenium film-forming material and ruthenium film-forming method

Номер патента: US8999442B2. Автор: Tatsuya Sakai,Hideki Nishimura,Ryuichi Saito,Kang-go Chung. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2015-04-07.

Film forming apparatus, film forming method and substrate carrying table capable of forming a uniform film and forming the film only on a substrate

Номер патента: TW201703137A. Автор: Seiji Tanaka,Tsutomu Satoyoshi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-16.

Gas supply system, gas supply method, method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: TW200832543A. Автор: Hitoshi Kato,Mitsuhiro Okada,Ken Nakao,Manabu Honma,Tsuneyuki Okabe,Tomoki Haneishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-08-01.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4974815B2. Автор: 充弘 岡田,覚 水永,大和 戸根川,俊治 西村. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-07-11.

Adsorption apparatus, film forming apparatus, adsorption method, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN113322444A. Автор: 石井博,诸桥悟,川畑奉代,柏仓一史,富井广树,细谷映之,上田利幸. Владелец: AOI Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-31.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5700538B2. Автор: 行雄 東條,充弘 岡田,研治 多胡,和晃 西村,西村　和晃,岡田　充弘. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-15.

Sputtering apparatus and film forming method

Номер патента: TW503470B. Автор: Junichi Wada,Atsuko Sakata,Koichi Watanabe,Hideto Matsuyama,Tomio Katata. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2002-09-21.

Liquid film forming method

Номер патента: TW476121B. Автор: Shinichi Ito,Tatsuhiko Ema. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2002-02-11.

FILM-FORMING APPARATUS, FILM-FORMING SYSTEM, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20200051796A1. Автор: TOSHIMA Hiroyuki,SHINADA Masato. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-13.

Film forming apparatus, film forming method, and film forming system

Номер патента: US20220148980A1. Автор: Atsushi Kubo,Takayuki Yamagishi,Tetsuya Saito,Takayuki Kamaishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-12.

Insulating film film forming method, insulating film film forming equipment and substrate processing system

Номер патента: JP6950737B2. Автор: 誠 村松,寛之 藤井,村松　誠,祐介 齋藤,久志 源島. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-10-13.

Film forming method and film forming apparatus for forming nitride film using mocvd apparatus, and shower head

Номер патента: TW201704522A. Автор: Masaki Kusuhara,Masayuki Toda,Masaru Udeda. Владелец: Wacom R&D Corp. Дата публикации: 2017-02-01.

Substrate holder, film forming method using substrate holder, method for manufacturing hard disc, film forming apparatus and program

Номер патента: WO2009081952A1. Автор: Hiroshi Torii,Shinya Houman. Владелец: CANON ANELVA CORPORATION. Дата публикации: 2009-07-02.

Film forming device, film forming method, and film forming system

Номер патента: WO2020203503A1. Автор: 敦史 久保,新藤　健弘,博充 阪上,斉藤　哲也,貴之 釜石. Владелец: 東京エレクトロン株式会社. Дата публикации: 2020-10-08.

Film-forming method, method for manufacturing semiconductor device, film-forming device, and program

Номер патента: WO2023162072A1. Автор: 勝 門島,祐樹 平. Владелец: 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ. Дата публикации: 2023-08-31.

Substrate mounting table for plasma processing apparatus, plasma processing apparatus and insulating film forming method

Номер патента: US7913987B2. Автор: Takashi Suzuki,Ryo Yamasaki,Kaname Yasuda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-03-29.

Film Forming Method, Boron Film, and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20180174838A1. Автор: Ueda Hirokazu,Oka Masahiro,Ishikawa Hiraku,Watanabe Yoshimasa,YONEZAWA Syuhei. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-21.

Alignment apparatus, film forming apparatus, alignment method, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220072742A. Автор: 토시히로 오가타,카즈노리 타니,히데히로 야스카와. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-06-02.

Coating film forming apparatus and coating film forming method for immersion light exposure

Номер патента: US8111372B2. Автор: Junichi Kitano,Taro Yamamoto,Hideharu Kyouda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-02-07.

Conductive film forming method, thin film transistor, panel with thin film transistor and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: KR20090045255A. Автор: 사토루 이시바시,사다유키 우키시마,히로히사 다카하시,사토루 다카사와,노리아키 타니,마사키 다케이. Владелец: 울박, 인크. Дата публикации: 2009-05-07.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102184356B1. Автор: 마사아키 사토,유키 아이자와. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-11-30.

Substrate carrier, film forming apparatus, conveying method of substrate carrier, and film forming method

Номер патента: KR20210116252A. Автор: 켄타로 스즈키. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-09-27.

Alignment device, alignment method, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20210061892A. Автор: 류지 기무라,요시히로 나카수,타다시 세키타니. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-05-28.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220122524A. Автор: 마사히로 야마자키,히로타카 카미노,토시유키 우에다. Владелец: 가부시키가이샤 소딕. Дата публикации: 2022-09-02.

Conductive film forming method, thin film transistor, panel with thin film transistor and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: EP2091072A4. Автор: Masaki Takei,Noriaki Tani,Satoru Ishibashi,Hirohisa Takahashi,Sadayuki Ukishima,Satoru Takasawa. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2015-07-15.

Substrate carrier, film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20230016606A. Автор: 켄타로 스즈키,세이지 사토,케이타 미사와,테츠야 나가타. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-02-02.

Film forming apparatus, manufacturing apparatus of electronic device, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102179271B1. Автор: 켄타로 스즈키. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-11-16.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP7229016B2. Автор: 行生 松本,洋紀 菅原. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-02-27.

Conductive film forming method, thin film transistor, thin film transistor panel, and thin film transistor manufacturing method

Номер патента: JPWO2008044757A1. Автор: 谷　典明,典明 谷,悟 高澤,暁 石橋,禎之 浮島,高橋　明久,明久 高橋,応樹 武井,石橋　暁,浮島　禎之. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-02-18.

Substrate conveyance device, film forming apparatus, control method, film forming method

Номер патента: KR20220114479A. Автор: 토모카즈 스시하라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-08-17.

Thin film forming apparatus cleaning method and thin film forming method

Номер патента: JP4430918B2. Автор: 一秀 長谷部,充弘 岡田,淳 小川,貴司 千葉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-03-10.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130237053A1. Автор: GOMI Atsushi,Sakuma Takashi,ISHIZAKA Tadahiro,KATO Takara,YOKOYAMA Osamu,YASUMURO Chiaki,TOSHIMA Hiroyuki,HATANO Tatsuo,MIZUSAWA Yasushi,Kawamata Masaya,FUKUSHIMA Toshihiko. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-09-12.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20170004995A1. Автор: Hamaguchi Junichi,Sonoda Kazuhiro,Asakawa Keiichiro,Numata Yukinobu,Kokaze Yutaka. Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2017-01-05.

COATING FILM FORMING METHOD AND COATING FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220055063A1. Автор: Inaba Shougo. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-24.

LAMINATE, FILM FORMING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220059424A1. Автор: Hashigami Hiroshi,Watabe Takenori. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2022-02-24.

FILM-FORMING DEVICE AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20210222296A1. Автор: YAMAWAKU Jun. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-22.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200199750A1. Автор: IWANAGA Takeshi. Владелец: FUJI XEROX CO., LTD.. Дата публикации: 2020-06-25.

Coating Film Forming Apparatus, Coating Film Forming Method, and Storage Medium

Номер патента: US20150251211A1. Автор: TACHIBANA Kouzou. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-10.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20180311700A1. Автор: Hideo Nakamura,Yasushi Fujii,Tsuyoshi Takahashi,Takashi Kamio,Kazuyoshi Yamazaki,Hiroaki Ashizawa,Seokhyoung Hong,Yu Nunoshige. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-11-01.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20080026548A1. Автор: Masahiro Matsumoto,Toshihiro Suzuki,Noriaki Tani,Taizo Morinaka. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-01-31.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US10385455B2. Автор: Kazutaka Iizuka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2019-08-20.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20170306492A1. Автор: Kazutaka Iizuka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2017-10-26.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20220403503A1. Автор: Hiroyuki Iwashita,Atsushi Shimada,Toru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-22.

Processing apparatus and film forming method

Номер патента: US11972929B2. Автор: Takashi Matsumoto,Makoto Wada,Masahito Sugiura,Hirokazu Ueda,Ryota IFUKU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11894222B2. Автор: Atsushi Gomi,Atsushi Takeuchi,Kanto Nakamura,Toru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-06.

Film forming method

Номер патента: US20060029734A1. Автор: Masato Ishikawa,Hideaki Machida,Takeshi Kada,Naoto Noda. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2006-02-09.

Film forming apparatus, electrode, electrochemical element, and film forming method

Номер патента: EP4245423A1. Автор: Yoshimi Nemoto. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-20.

Film-forming treatment jig, plasma cvd apparatus, metal plate and osmium film forming method

Номер патента: US20140335281A1. Автор: Hiroshi Sato,Yuuji Honda,Takeshi Shirato,Masamichi Osawa. Владелец: Daiwa Techno Systems Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-13.

Film-forming treatment jig, plasma cvd apparatus, metal plate and osmium film forming method

Номер патента: US20110268983A1. Автор: Hiroshi Sato,Yuuji Honda,Takeshi Shirato,Masamichi Osawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-11-03.

METHOD FOR FORMING Ge-Sb-Te FILM AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120108005A1. Автор: Yumiko Kawano,Susumu Arima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-05-03.

Method of forming metal oxide film, metal oxide film and optical electronic device

Номер патента: US20130078457A1. Автор: Tomohiro Okumura,Osamu Morita,Mitsuo Saitoh. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2013-03-28.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11694891B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-04.

Sputtering apparatus, thin film forming method and method for manufacturing field effect transistor

Номер патента: TW201026871A. Автор: Kazuya Saito,Makoto Arai,Junya Kiyota,Satoru Ishibashi,Yasuhiko Akamatsu,Takaomi Kurata. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-07-16.

Film forming device and film forming method

Номер патента: GB202409339D0. Автор: . Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-14.

Thin film e.g. crystalline silicon thin film, forming method for Fin FET, involves forming thin silicon film on lateral walls of silicon-germanium block, and removing portion of block to form thin crystalline silicon film

Номер патента: FR2915317A1. Автор: Damien Lenoble,Didier Dutartre,Alexandre Talbot. Владелец: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC. Дата публикации: 2008-10-24.

Method for forming a pattern and forming a thin film used in pattern formation

Номер патента: US5512328A. Автор: Shinji Okazaki,Hiroshi Shiraishi,Toshiyuki Yoshimura,Naoko Miura,Minoru Toriumi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1996-04-30.

Polycrystalline silicon thin film forming method

Номер патента: US6447850B1. Автор: Eiji Takahashi,Naoto Kuratani,Akinori Ebe. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2002-09-10.

Film thickness measuring apparatus and film thickness measuring method, and film forming system and film forming method

Номер патента: US11939665B2. Автор: Naoyuki Suzuki,Einstein Noel Abarra,Masato Shinada,Tamaki Takeyama,Hiroaki Chihaya,Kazunaga Ono. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-26.

Film-forming method, method of manufacturing semiconductor device, semiconductor device, method of manufacturing display device, and display device

Номер патента: TW200427869A. Автор: Masashi Goto,Kazufumi Azuma,Yukihiko Nakata. Владелец: Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd. Дата публикации: 2004-12-16.

Film-forming device and film-forming method for forming passivation films as well as manufacturing method for solar cell elements

Номер патента: TW201034231A. Автор: Makoto Kikuchi,Kazuya Saito,Masashi Kubo,Miho Shimizu,Miwa Watai. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-09-16.

Film-forming device and film-forming method for forming passivation films as well as manufacturing method for solar cell elements

Номер патента: EP2381483A4. Автор: Makoto Kikuchi,Kazuya Saito,Masashi Kubo,Miho Shimizu,Miwa Watai. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2013-09-04.

Ge-Sb-Te FILM FORMING METHOD, Ge-Te FILM FORMING METHOD, AND Sb-Te FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140162401A1. Автор: Kawano Yumiko,Arima Susumu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-06-12.

Organic film forming compound, organic film forming composition, organic film forming method, and pattern forming method

Номер патента: JP6714492B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,義則 種田,渡辺　武,大佑 郡,里枝 菊地. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2020-06-24.

Apparatus for forming a deposited film

Номер патента: US5575855A. Автор: Yasushi Fujioka,Masahiro Kanai,Tadashi Hori,Takehito Yoshino. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1996-11-19.

Metal oxide thin film pattern forming composition and its manufacturing method, metal oxide thin film pattern forming method, electronic component and optical part manufacturing method, and thin film forming method

Номер патента: KR100294581B1. Автор: 오기카쯔미,요네자와타다시,소야마노부유키,카게야마켄수케. Владелец: 후지무라 마사지카, 아키모토 유미. Дата публикации: 2001-09-17.

Method for improving chemical resistance of polymerized film, polymerized film forming method, film forming apparatus, and electronic product manufacturing method

Номер патента: KR101843616B1. Автор: 다츠야 야마구치,요시노리 모리사다,깃페이 스기타,마코토 후지카와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-03-29.

Evaporation rate measuring device, control method for evaporation rate measuring device, film forming device, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: JP7211793B2. Автор: 健 大津. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-01-24.

Organic film forming material, semiconductor device manufacturing substrate, organic film forming method, pattern forming method, and organic film forming compound

Номер патента: JP7308168B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,誠一郎 橘,恵介 新井田,昂志 澤村,大佑 郡. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-13.

Lithographic lower layer film forming material, Lithographic lower layer film forming composition, Lithographic lower layer film forming method and pattern forming method

Номер патента: JPWO2016163456A1. Автор: 越後　雅敏,雅敏 越後,高史 牧野嶋,牧野嶋　高史,篤 大越,豪 東原,佳奈 岡田. Владелец: Mitsubishi Gas Chemical Co Inc. Дата публикации: 2018-02-08.

Film forming device control method, film forming method, film forming device, organic el electronic device, and recording medium storing its control program

Номер патента: KR101231656B1. Автор: 카즈키 모야마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-02-08.

Electrostatic chuck system, film forming apparatus, method for separating adsorbed object, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN110943026A. Автор: 石井博,柏仓一史,细谷映之. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-03-31.

Copper particulate dispersion, conductive film forming method and circuit board

Номер патента: US20140370310A1. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Yuichi Kawato. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-18.

FILM-FORMING MASK, FILM-FORMING DEVICE, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20180010244A1. Автор: Sonoda Tohru,Okamoto Tetsuya,ISHIDA Mamoru,HIRASE TAKESHI,SENOO TOHRU,NISHIKAWA DAICHI. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-11.

METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DEVICE, FILM-FORMING METHOD, AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200020892A1. Автор: KISHIMOTO Katsuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-16.

FILM FORMING MASK, FILM FORMING METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE

Номер патента: US20170104185A1. Автор: Watanabe Taiki. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-13.

FILM FORMING METHOD AND ALUMINUM NITRIDE FILM FORMING METHOD FOR SEMICONDUCTOR APPARATUS

Номер патента: US20170365466A1. Автор: Wang Jun,DONG Boyu,GUO Bingliang,MA Huaichao,GENG Yujie. Владелец: . Дата публикации: 2017-12-21.

Method of determining life of crystal quartz oscilator, apparatus of measuring film thickness, film forming method, film forming apparatus and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR101870581B1. Автор: 야스노부 고바야시. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-06-22.

Film-forming mask, film-forming device, and film-forming method

Номер патента: US9982339B2. Автор: Mamoru Ishida,Tetsuya Okamoto,Takeshi Hirase,Tohru Sonoda,Tohru Senoo,Daichi NISHIKAWA. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2018-05-29.

Film forming apparatus, film forming method and non-transitory storage medium

Номер патента: US10535501B2. Автор: Katsutoshi Ishii,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-14.

Thin-film forming apparatus, protective film forming apparatus for use in an organic electronic device and thin-film forming method of using it

Номер патента: KR101737057B1. Автор: 이재승,정태훈,구찬회,서문선. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2017-05-18.

Film Forming Method and Vertical Thermal Processing Apparatus

Номер патента: US20180286665A1. Автор: Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-10-04.

Film forming method and vertical thermal processing apparatus

Номер патента: US10573518B2. Автор: Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-25.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20210043447A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-02-11.

PBNZT FERROELECTRIC FILM, SOL-GEL SOLUTION, FILM FORMING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC FILM

Номер патента: US20160329485A1. Автор: Kijima Takeshi,Honda Yuuji. Владелец: YOUTEC CO., LTD.. Дата публикации: 2016-11-10.

Organic film forming composition, semiconductor device manufacturing substrate, organic film forming method and pattern forming method

Номер патента: JP6875310B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,誠一郎 橘,渡辺　武,恵介 新井田,洋子 長井,昂志 澤村. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2021-05-19.

Organic film forming composition, semiconductor device manufacturing substrate, organic film forming method, pattern forming method, and polymer

Номер патента: JP6940335B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,渡辺　武,恵介 新井田,昂志 澤村,大佑 郡. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2021-09-29.

Film forming composition, resist underlayer film, forming method thereof, and pattern forming method

Номер патента: TWI671347B. Автор: 生井準人,若松剛史. Владелец: 日商Ｊｓｒ股份有限公司. Дата публикации: 2019-09-11.

Film-forming ink, film-forming method, film-equipped device, and electronic apparatus

Номер патента: KR102166377B1. Автор: 쇼타로 와타나베,타쿠야 소노야마. Владелец: 세이코 엡슨 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-10-15.

Underlayer film forming material, underlayer film forming method, and pattern forming method

Номер патента: JP7285209B2. Автор: 大佑 郡,祐介 美谷島,和美 野田,貴佳 中原. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-06-01.

Resist underlayer film forming composition, resist underlayer film forming method, and pattern forming method

Номер патента: JP5068828B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,剛 金生,勝也 竹村,大佑 郡,俊彦 藤井. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2012-11-07.

Mist generating device, film forming device, mist generating method, film forming method, and device manufacturing method

Номер патента: WO2017154937A1. Автор: 奈良圭,中積誠,西康孝,岩堀恒一郎,山田研太郎,鈴木涼子. Владелец: 株式会社ニコン. Дата публикации: 2017-09-14.

Adhesive film forming material, pattern forming method, and adhesive film forming method

Номер патента: CN115840336A. Автор: 郡大佑,中原贵佳,甲斐佑典,渡部卫. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-24.

Electrostatic chuck system, film forming apparatus, suction method, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP2020021925A. Автор: Hiroshi Ishii,石井　　博,石井　博,一史 柏倉,Kazufumi Kashiwakura. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-02-06.

Film forming method and film forming apparatus as well as silicon-based film, photovoltaic device and solar cell, sensor and image pick-up device using the same

Номер патента: US20030021896A1. Автор: Masafumi Sano,Koichi Matsuda,Takaharu Kondo,Makoto Higashikawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-01-30.

FILM-FORMING INK, FILM-FORMING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING LIGHT EMITTING ELEMENT, LIGHT EMITTING ELEMENT, LIGHT EMITTING DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS

Номер патента: US20130153873A1. Автор: WATANABE Shotaro,TAKIGUCHI Hiroshi. Владелец: SEIKO EPSON CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-20.

ALIGNMENT MECHANISM, ALIGNMENT METHOD, FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220148931A1. Автор: Suzuki Kentaro,OKABE Shunsuke,AOKI Taiichirou,NAKASU Yoshihiro. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-12.

Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220082739A. Автор: 타카히로 스나가와,노리야스 사토. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-06-17.

Film forming apparatus, film forming method, and display device manufacturing method

Номер патента: JP3833066B2. Автор: 舜平 山崎,健司 福永. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2006-10-11.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturinh method of electronic device

Номер патента: KR102481907B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라,다이고 심보,유키 사토. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-12-26.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20210080802A. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-07-01.

Resist underlayer film material, pattern forming method, and resist underlayer film forming method

Номер патента: JP6718406B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,渡辺　武,洋子 長井,大佑 郡. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2020-07-08.

Deposited film forming method, deposited film forming apparatus and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: KR19980080069A. Автор: 아끼라 사까이,마사히로 가나이,히로까즈 오또시,다까히로 야지마,야스시 후지오까,쇼따로 오까베,다다시 사와야마,유조 고다. Владелец: 미따라이 후지오. Дата публикации: 1998-11-25.

Film forming device and film forming method, and cleaning method

Номер патента: CN1319116C. Автор: 山崎舜平,村上雅一. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2007-05-30.

Film forming apparatus and film forming method and manufacturing method of solar cell

Номер патента: KR101992074B1. Автор: 히로히사 다카하시,준스케 마츠자키. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2019-06-21.

Film forming device, film forming method, and manufacturing method of solar cell

Номер патента: TWI648866B. Автор: 松崎淳介,高橋明久. Владелец: 日商愛發科股份有限公司. Дата публикации: 2019-01-21.

Substrate processing apparatus, film forming unit, substrate processing method, and film forming method

Номер патента: KR20170137923A. Автор: 마사히코 하루모토,고지 가네야마,유지 다나카,마사야 아사이. Владелец: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스. Дата публикации: 2017-12-13.

Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220123578A. Автор: 토시히로 오가타,아라타 와타베. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-09-08.

SEALING FILM FORMING METHOD, SEALING FILM FORMING DEVICE, AND LIGHT-EMITTING DEVICE

Номер патента: US20130126939A1. Автор: Ishikawa Hiraku,Hayashi Teruyuki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-05-23.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS OF ORGANIC LIGHT-EMITTING DIODE

Номер патента: US20140030834A1. Автор: Zhao Xiaohu. Владелец: Shenzhen China Star Optelectronics Technology Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-01-30.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140094027A1. Автор: WAMURA Yu,HARADA Katsushige,MOROZUMI Yuichiro,AZUMO Shuji,Watanabe Heiji,Shimura Takayoshi,Hosoi Takuji,Takahashi Kosuke,KASHIWAGI Yusaku. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-03.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and recording medium

Номер патента: US20150004311A1. Автор: Yuichi Terashita,Kousuke Yoshihara,Katsunori Ichino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-01-01.

THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20160064670A1. Автор: Hwang Kyuhwan,Choung Jiyoung,Lee Duckjung. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-03.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20180073163A1. Автор: Kaori DEURA,Kunihiko Suzuki,Shinya Higashi,Masayoshi Yajima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-15.

FILM FORMING SYSTEM, MAGNETIZATION CHARACTERISTIC MEASURING DEVICE, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20210082777A1. Автор: Abarra Einstein Noel,Chihaya Hiroaki,ISHIBASHI Shota. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-18.

MASK, FILM FORMING METHOD USING THE SAME, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190093216A1. Автор: JIANG Zhiliang,ZHOU Zhenli,QIAO Zi. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-28.

SUBSTRATE PLACEMENT MECHANISM, FILM FORMING APPARATUS, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200093027A1. Автор: Abarra Einstein Noel. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-19.

COATING FILM FORMING METHOD AND COATING FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200234979A1. Автор: INABA Shogo. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-23.

ORGANIC MOLECULAR FILM FORMING APPARATUS AND ORGANIC MOLECULAR FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140357016A1. Автор: Fuse Takashi,Shibuya Setsuko. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-12-04.

Film Forming Method

Номер патента: US20130011943A1. Автор: Satoshi Inoue,Hisao Ikeda,Takuya Tsurume,Tohru Sonoda,Rena Tsuruoka. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-10.

Film Forming Method and Method for Manufacturing Film-Formation Substrate

Номер патента: US20130022757A1. Автор: Satoshi Inoue,Hisao Ikeda,Tomoya Aoyama,Tohru Sonoda. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2013-01-24.

Film-forming method and atmospheric pressure plasma film-forming device

Номер патента: EP4299789A1. Автор: Yoshihiko Mochizuki,Akihisa Yoshida. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-01-03.

Film forming method, film forming apparatus, method of manufacturing device, and apparatus for manufacturing device

Номер патента: US7422768B2. Автор: Minoru Koyama. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2008-09-09.

Film forming method, film forming apparatus, method of manufacturing device, and apparatus for manufacturing device

Номер патента: US20040076760A1. Автор: Minoru Koyama. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-04-22.

Ferrite material having composition gradient for measuring magneto-optical-effect properties and method for evaluating properties of ferrite

Номер патента: US20110305890A1. Автор: Masashi Kawasaki,Yosuke Iwasaki,Tomoteru Fukumura. Владелец: JFE Mineral Co Ltd. Дата публикации: 2011-12-15.

Film forming apparatus, control apparatus for film forming appartus, and film forming method

Номер патента: US20230002886A1. Автор: Hiroshi Yakushiji,Masahiro Shibamoto,Reiji Sakamoto. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2023-01-05.

Film forming device, film forming method, and film forming program

Номер патента: US09972476B2. Автор: Kazunari Taki,Kentaro Shinoda,Hiroyuki Kousaka,Hideki Kanada,Yasuyuki TAKAOKA. Владелец: Nagoya University NUC. Дата публикации: 2018-05-15.

Sintered body and film forming method using the same

Номер патента: US20080124998A1. Автор: Toru Sato. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-05-29.

Electronic component and film forming method

Номер патента: US20240221981A1. Автор: Yuuta Hoshino,Tomoya OOSHIMA. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Method of forming ferrite film on particles or fibers

Номер патента: CA1306901C. Автор: Takao Saito,Katsukiyo Ishikawa,Masao Oishi. Владелец: Nippon Paint Co Ltd. Дата публикации: 1992-09-01.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11098405B2. Автор: Hideaki Masuda,Nobuhide Yamada,Rikyu Ikariyama. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2021-08-24.

Film-forming method and atmospheric pressure plasma film-forming device

Номер патента: EP4299789A4. Автор: Yoshihiko Mochizuki,Akihisa Yoshida. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-08-21.

Apparatus and method for forming a deposited film by means of plasma CVD

Номер патента: US6526910B2. Автор: Masahiro Kanai,Takahiro Yajima,Takeshi Shishido. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2003-03-04.

Electrode for discharge surface treatment, discharge surface treatment method, film, and film forming method

Номер патента: US20090246463A1. Автор: Akihiro Goto,Masao Akiyoshi. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2009-10-01.

Film forming apparatus and film forming method for forming optical thin film

Номер патента: JP5414772B2. Автор: 典明 谷,昌弘 松本,寿弘 鈴木,泰三 森中. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-02-12.

Resin film forming device, resin film forming method, display device and manufacturing device for display device and manufacturing method for display device

Номер патента: TW200845805A. Автор: Toshio Negishi. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2008-11-16.

Sputtering apparatus and sputtering film forming method

Номер патента: TWI426144B. Автор: Naoki Takahashi,Kuniaki Horie. Владелец: Ebara Udylite Kk. Дата публикации: 2014-02-11.

Sintered body and film forming method using the same

Номер патента: EP1441038B1. Автор: Toru Sato. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2006-04-26.

FILM FORMING DEVICE, FILM FORMING METHOD, AND FILM FORMING PROGRAM

Номер патента: US20160013023A1. Автор: SHINODA Kentaro,TAKI Kazunari,KANADA Hideki,KOUSAKA Hiroyuki,TAKAOKA Yasuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-14.

Thin film forming apparatus and thin film forming method and thin film forming system

Номер патента: CN100380592C. Автор: 伊藤宪和,高木朋子,上田仁. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2008-04-09.

Insulating film forming method, insulating film forming apparatus, and plasma film forming apparatus

Номер патента: TW200537695A. Автор: Atsushi Sasaki,Tetsuya Ide,Kazufumi Azuma,Yukihiko Nakata. Владелец: Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd. Дата публикации: 2005-11-16.

Coating apparatus for cutting tool with coating film, and film forming method for coating film for cutting tool

Номер патента: JP5664814B1. Автор: 俊克 須藤,正雄 河村,淳 新保谷. Владелец: Mitsubishi Materials Corp. Дата публикации: 2015-02-04.

Thin film forming apparatus and thin film forming method and thin film forming system

Номер патента: EP1557871A1. Автор: N. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd. ITO,T. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd TAKAGI,M. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd. UEDA. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2005-07-27.

Film forming device and film forming method

Номер патента: US20150174605A1. Автор: Kazunari Taki,Takashi Okamoto,Kentaro Shinoda,Hiroyuki Kousaka,Hideki Kanada,Yasuyuki TAKAOKA. Владелец: Nagoya University NUC. Дата публикации: 2015-06-25.

FILM FORMING METHOD OF CORROSION RESISTANT FILM, CORROSION RESISTANT MEMBER ON WHICH CORROSION RESISTANT FILM IS FORMED, HEAT EXCHANGER, AND FUEL CELL SYSTEM

Номер патента: US20210309862A1. Автор: Watanabe Masao,KUSANO Yuya,KATAOKA Tomoharu. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2021-10-07.

Barrier film forming apparatus, barrier film forming method, and barrier film coating container

Номер патента: JP5355860B2. Автор: 昌 白倉,英男 山越,裕司 浅原,喜与士 廣谷,実 団野,正樹 中谷,征司 後藤. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Food and Packaging Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2013-11-27.

Barrier-film forming apparatus, barrier-film forming method, and barrier-film coated container

Номер патента: CN101636523B. Автор: 白仓昌,团野实,中谷正树,浅原裕司,山越英男,后藤征司,广谷喜与士. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Food and Packaging Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2012-11-14.

Resistive film forming method and image display apparatus and television apparatus formed by using the film forming method

Номер патента: JP4262190B2. Автор: 義勇 鈴木. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2009-05-13.

Oriented electrical steel sheets insulation film constituent, oriented electrical steel sheets insulation film forming method and be formed with the oriented electrical steel sheets of insulation film

Номер патента: CN108473800A. Автор: 权玟锡,崔攇曹,卢泰英,沈昊敬. Владелец: Posco Co Ltd. Дата публикации: 2018-08-31.

Copper film forming composition, copper film forming method, copper film, wiring substrate and electronic equipment

Номер патента: TWI586832B. Автор: 田中健朗,大喜多健三,有留功,桑田博昭,渡部和人,下田杉郎. Владелец: Jsr股份有限公司. Дата публикации: 2017-06-11.

Film forming apparatus, film forming method, piezoelectric film, and liquid discharge apparatus

Номер патента: JP5052455B2. Автор: 隆満 藤井,崇幸 直野. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2012-10-17.

Carbon film forming apparatus, carbon film forming method, and magnetic recording medium manfacturing method

Номер патента: US20150170698A1. Автор: Ichiro Ota. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2015-06-18.

Carbon film forming apparatus, carbon film forming method, and magnetic recording medium manufacturing method

Номер патента: US20150187381A1. Автор: Ichiro Ota. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2015-07-02.

Vacuum film forming apparatus, vacuum film forming method, and battery electrode manufacturing method

Номер патента: JP4336869B2. Автор: 満博 森,裕 坂内,博規 山本,麻里子 宮地,伊紀子 山崎,功二 宇津木,環 三浦. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2009-09-30.

Substrate processing apparatus, coating film forming system, substrate processing method and coating film forming method

Номер патента: JP6487729B2. Автор: 寛行 神田. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-20.

A film forming method and a film forming apparatus, and a method of manufacturing the permanent magnet and the permanent magnet

Номер патента: TWI430294B. Автор: Hiroshi Nagata,Yoshinori Shingaki. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-03-11.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20200002806A1. Автор: Kobayashi Hiroyuki,Demura Kazuya,Horie Takamasa. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-02.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160032446A1. Автор: GOMI Atsushi,Suzuki Yasunobu,FURUKAWA Shinji,KITADA Tooru,NAKAMURA Kanto. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20140131311A1. Автор: Cha You-Min,Joo Sung-Joong. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-15.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS, AND PROGRAM

Номер патента: US20220074044A1. Автор: Hirata Toshiharu. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-10.

PLASMA FILM FORMING APPARATUS AND PLASMA FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220076932A1. Автор: SHIMADA Masaru,Torii Hironori,Tanaka Kozue. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-10.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190085453A1. Автор: Yamada Nobuhide,Masuda Hideaki,IKARIYAMA Rikyu. Владелец: Toshiba Memory Corporation. Дата публикации: 2019-03-21.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220178014A1. Автор: Maeda Koji,Miyashita Tetsuya,SHIMADA Atsushi,OIKAWA Katsushi. Владелец: . Дата публикации: 2022-06-09.

FILM FORMING APPARATUS, RECORDING MEDIUM, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20170162366A1. Автор: Yanagisawa Ippei. Владелец: ASM IP HOLDING B.V.. Дата публикации: 2017-06-08.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200165716A1. Автор: Nose Masaaki. Владелец: KONICA MINOLTA, INC.. Дата публикации: 2020-05-28.

Film-forming treatment jig, plasma cvd apparatus, metal plate and osmium film forming method

Номер патента: US20140335281A1. Автор: Hiroshi Sato,Yuuji Honda,Takeshi Shirato,Masamichi Osawa. Владелец: Daiwa Techno Systems Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-13.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD AND NON-TRANSITORY STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20140356550A1. Автор: TONEGAWA Yamato,ISHII Katsutoshi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-12-04.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150315705A1. Автор: Kumagai Takeshi,Okubo Kazuya,Otani Muneyuki. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-05.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20170306483A1. Автор: IIZUKA Kazutaka. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-10-26.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200312626A1. Автор: YAMAWAKU Jun. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2020-10-01.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20180355474A1. Автор: KOBAYASHI Yousuke,IWAI Harunori,FUJINAGA Tetsushi,IHORI Atsuhito,TANI Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-13.

Resin film forming method, resin film forming apparatus, and electronic circuit board manufacturing method

Номер патента: US20080241360A1. Автор: Junichi Yoshida,Seiichi Inoue,Jun Yamanobe,Manabu Katsumura. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2008-10-02.

Thin film forming method and color filter manufacturing method

Номер патента: US8187665B2. Автор: Satoru Katagami,Hirotaka ISHIZUKA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2012-05-29.

Metal-film forming apparatus and metal-film forming method

Номер патента: MY172597A. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi. Владелец: Toyota Motor Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240327984A1. Автор: Yutaka Motoyama,Keita Kumagai,Hiroto Fujikawa,Tuhin Shuvra Basu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Film forming method

Номер патента: US12037683B2. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Film forming method for metal film

Номер патента: US20240263336A1. Автор: Koji Inagaki,Osamu Yamashita,Hiromichi Nakata,Masaaki Nishiyama,Yoji Sato,Jun Yoshitomi,Jyunya Murai. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-08-08.

Multilayered film forming method, apparatus for controlling vacuum film forming apparatus, and vacuum film forming apparatus

Номер патента: US20020132063A1. Автор: Kenji Yamakawa,Takahiko Kondo,Nao Watanabe. Владелец: Shinmaywa Industries Ltd. Дата публикации: 2002-09-19.

Polymerized film forming method and polymerized film forming apparatus

Номер патента: US20150232702A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-20.

Thin film forming method

Номер патента: US20110165775A1. Автор: Eisaku Watanabe,Hanako Hirayama. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2011-07-07.

Film forming apparatus for forming metal film and film forming method for forming metal film

Номер патента: US12110604B2. Автор: Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-10-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09963784B2. Автор: Hiroaki Ashizawa,Misuzu SATO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Film forming apparatus for forming metal film and film forming method for forming metal film

Номер патента: US12123103B2. Автор: Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-10-22.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20110052832A1. Автор: Nobuhiro Hayashi,Masayuki Iijima,Isao Tada,Yousuke Kobayashi. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-03-03.

Thin film forming method and porous thin film

Номер патента: US12105252B2. Автор: Kunio Yoshida,Takayuki Okamoto. Владелец: Okamoto Optics Inc. Дата публикации: 2024-10-01.

Polymerized film forming method

Номер патента: US9422452B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-08-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240328033A1. Автор: Daisuke Suzuki,Yoshihiro Takezawa,Keita Kumagai,Hiroto Fujikawa,Tuhin Shuvra Basu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Film forming method, image forming method, film, and ink composition

Номер патента: US20170313897A1. Автор: Toshihiko Sugimoto,Takeshi Honma,Motokazu Kobayashi,Yoshinori Kotani,Kenichi Iida,Satoshi YAMABI,Shinichirou Yoshikawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-11-02.

Film forming method for metal film

Номер патента: EP4414478A1. Автор: Koji Inagaki,Osamu Yamashita,Hiromichi Nakata,Masaaki Nishiyama,Yoji Sato,Jun Yoshitomi,Jyunya Murai. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-08-14.

Multi-layer coating film forming method

Номер патента: US20230278071A1. Автор: Kenji Sakai. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-07.

Film forming composition and film forming method using the same

Номер патента: US20210115253A1. Автор: Masakazu Kobayashi,Go Noya,Yuki Ozaki. Владелец: Merck Patent GmBH. Дата публикации: 2021-04-22.

Film forming composition and film forming method using the same

Номер патента: EP3607001A1. Автор: Masakazu Kobayashi,Go Noya,Yuki Ozaki. Владелец: Merck Patent GmBH. Дата публикации: 2020-02-12.

Film forming method and apparatus

Номер патента: US20230295801A1. Автор: Masayuki Kitamura,Satoshi Wakatsuki,Hiroshi Toyoda,Shigeru Kinoshita,Naomi Fukumaki. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Multilayer coating film-forming method

Номер патента: US20240294779A1. Автор: Kenji Sakai,Nobuhiko Narita. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Film-forming method and film-formed article

Номер патента: SG193164A1. Автор: Kenji Harada,Kenichiro Aii. Владелец: SK Kaken Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-30.

Film forming method,multilayer film reflector manufacturing method, and film forming device

Номер патента: US20030129325A1. Автор: Noriaki Kandaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-07-10.

Carbon film forming method, magnetic-recording-medium manufacturing method, and carbon film forming apparatus

Номер патента: US20120128895A1. Автор: Ichiro Ota. Владелец: SHOWA DENKO HD SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2012-05-24.

Multi-layer coating film-forming method

Номер патента: US20020056642A1. Автор: Akira Kasari,Syuichi Ikenoue. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2002-05-16.

Coating film-forming method

Номер патента: US20050194253A1. Автор: Hideki Iijima,Koji Kamikado,Akihiko Shimasaki,Minoru Hanatani. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2005-09-08.

Film forming method

Номер патента: US12024779B2. Автор: Haruhiko Suzuki,Eiji Shiotani,Hidenobu Matsuyama,Yoshito Utsumi,Hirohisa SHIBAYAMA,Koukichi Kamada,Naoya TAINAKA,Toshio OGIYA. Владелец: Nissan Motor Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Film forming method for metal film and film forming apparatus for metal film

Номер патента: US20190093247A1. Автор: Hirofumi Iisaka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2019-03-28.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240124976A1. Автор: Kazumi Kubo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Film forming apparatus for forming metal film and film forming method for forming metal film

Номер патента: US20230117855A1. Автор: Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2023-04-20.

Aqueous dispersion and film forming method

Номер патента: US20240279497A1. Автор: Shota Suzuki,Shinichiro SEKINE,Naoka HAMADA. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-08-22.

Film forming method

Номер патента: US20120064237A1. Автор: Tomokazu Ito,Yasutaka NITTA. Владелец: TOTO LTD. Дата публикации: 2012-03-15.

Solder connection structure and film forming method

Номер патента: US20180361708A1. Автор: Masaki Hirano. Владелец: Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd. Дата публикации: 2018-12-20.

Multi-layer coating film forming method

Номер патента: EP4230308A1. Автор: Kenji Sakai. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20150251196A1. Автор: Satoshi Hirano. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2015-09-10.

Multilayer coating film-forming method

Номер патента: CA3207803A1. Автор: Kenji Sakai,Nobuhiko Narita. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-24.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: EP1681367A4. Автор: Yasuhiro Koizumi,Koichi Sasagawa,Koichi Nose,Shiro Takigawa,Takeshi Furutsuka. Владелец: Shinmaywa Industries Ltd. Дата публикации: 2008-08-27.

Multi-layer coating film-forming method

Номер патента: GB2376905A. Автор: Akira Kasari,Syuichi Ikenoue. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2002-12-31.

Ga2O3 BASED CRYSTAL FILM FORMING METHOD, AND CRYSTAL LAMINATED STRUCTURE

Номер патента: US20160312380A1. Автор: Kohei Sasaki. Владелец: Tamura Corp. Дата публикации: 2016-10-27.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20180154382A1. Автор: Satoshi Hirano,Koichi Kawasaki. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-07.

Powder film forming method and powder film forming device

Номер патента: US20200009607A1. Автор: Hideyuki Fukui,Takeshi Sugiyo,Sousuke NISHIURA. Владелец: Hitachi Zosen Corp. Дата публикации: 2020-01-09.

Multilayer coating film-forming method

Номер патента: MY149319A. Автор: Yukawa Yoshiyuki. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-30.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US20220258466A1. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-08-18.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US11945222B2. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-02.

Film forming method and film forming device

Номер патента: EP4044775A2. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-17.

Film forming method and film forming device

Номер патента: EP4044775A3. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2022-10-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240175122A1. Автор: Satoshi Onodera,Jun Ogawa,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Multi-layer electrodeposition coating film-forming method and coating product formed by the same

Номер патента: EP1342758A3. Автор: Naoko c/o Kansai Paint Co. Ltd. Kasahara,Takeo c/o Kansai Paint Co. Ltd. Ohtani,Tadayoshi c/o Kansai Paint Co. Ltd. Hiraki,Akira c/o Kansai Paint Co. Ltd. Tominaga. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2004-07-14.

Thermosetting water-based paint and coating film-forming methods

Номер патента: CA2531324C. Автор: Yoshiyuki Yukawa,Noritoshi Nakane. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-18.

Method for forming perovskite type oxide thin film, piezoelectric element, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus

Номер патента: US20070090730A1. Автор: Kenichi Takeda,Tetsuro Fukui,Takanori Matsuda,Hiroshi Funakubo,Shintaro Yokoyama. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2007-04-26.

Film forming device, film forming method, and organic el element

Номер патента: TW201107502A. Автор: Tomohiko Edura,Kohei Tsugita,Tomiko Wanifuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-03-01.

Method for controlling film forming apparatus, film forming method, film forming apparatus, organic el electronic device, and storage medium having program for controlling film forming apparatus stored therein

Номер патента: US20100207515A1. Автор: Kazuki Moyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-08-19.

Method for controlling film forming apparatus, film forming method, film forming apparatus, organic EL electronic device, and storage medium having program for controlling film forming apparatus stored therein

Номер патента: US8328999B2. Автор: Kazuki Moyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-11.

Thin film forming method and color filter manufacturing method

Номер патента: TW200950890A. Автор: Satoru Katagami,Hirotaka ISHIZUKA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2009-12-16.

Method for determining lifetime of crystal oscillator, film thickness measuring apparatus, film forming method, film forming apparatus, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN109596959B. Автор: 小林康信. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2021-03-30.

Film-forming method, film-forming apparatus, apparatus and a method for manufacturing color filter substrate, apparatus and method for manufacturing substrate for electroluminescent device, method for manufacturing display device, display device, and electronic apparatus

Номер патента: US20040228964A1. Автор: Tatsuya Ito,Takeshi Oyama. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-11-18.

Circuit board, conductive film forming method and adhesiveness improver

Номер патента: US20150021071A1. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Yuichi Kawato,Tomohiro Mita. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2015-01-22.

Method for determining life of quartz oscillator, film thickness measuring device, film forming method, film forming device, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP6641649B2. Автор: 康信 小林. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-02-05.

Film forming apparatus control method, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: JP5255806B2. Автор: 和基 茂山. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-08-07.

Film forming method, film forming apparatus, method for manufacturing element structure, and apparatus for manufacturing element structure

Номер патента: CN110268091B. Автор: 高桥明久,青代信,清健介,矢岛贵浩,加藤裕子. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2021-10-12.

Substrate mounting method and film forming method for film forming apparatus

Номер патента: CN101090996A. Автор: 片冈达哉,长尾兼次,齐藤谦一. Владелец: WETA TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2007-12-19.

Film forming apparatus, film forming system, and film forming method

Номер патента: JP5203584B2. Автор: 俊久 野沢,和基 茂山. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-06-05.

Film forming apparatus, film forming method and method for manufacturing piezoelectric actuator

Номер патента: US7908993B2. Автор: Jun Akedo,Motohiro Yasui. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2011-03-22.

Film forming device, film forming system, and film forming method

Номер патента: WO2008018500A1. Автор: Shinji Matsubayashi,Kazuki Moyama,Yasuhiro Tobe. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2008-02-14.

Film forming apparatus, film forming method, method for manufacturing organic light emitting element, and organic light emitting element

Номер патента: WO2012127982A1. Автор: 小野　裕司,林　輝幸,拓岳 桑田,森田　治. Владелец: 東京エレクトロン株式会社. Дата публикации: 2012-09-27.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN111434798A. Автор: 铃木健太郎,冈部俊介. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-07-21.

Film forming apparatus and film forming method, information acquisition apparatus, alignment method, and electronic device manufacturing apparatus and manufacturing method

Номер патента: CN112626475A. Автор: 铃木健太郎,高津和正,樽茶友昭. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2021-04-09.

Droplet discharge device and driving method thereof, film forming device and film forming method, color filter manufacturing method, organic EL device manufacturing method, and electronic apparatus

Номер патента: JP4007020B2. Автор: 秀範 臼田. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2007-11-14.

Thin film forming method, solution and apparatus for use in the method, and electronic device fabricating method

Номер патента: US6808749B2. Автор: Takashi Masuda,Katsuyuki Morii. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-10-26.

Film-forming ink, film-forming method, film-equipped device, and electronic apparatus

Номер патента: EP3228668A1. Автор: TAKUYA Sonoyama,Shotaro Watanabe. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-10-11.

Film-forming ink, film-forming method, film-equipped device, and electronic apparatus

Номер патента: EP3228668A4. Автор: TAKUYA Sonoyama,Shotaro Watanabe. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-05-23.

Film Forming Method and Method for Manufacturing Film-Formation Substrate

Номер патента: US20130022757A1. Автор: Satoshi Inoue,Hisao Ikeda,Tomoya Aoyama,Tohru Sonoda. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2013-01-24.

Metal pattern forming method, metal pattern obtained by the same, printed wiring board, conductive film forming method, and conductive film obtained by the same

Номер патента: EP1698218A1. Автор: Takeyoshi c/o FUJI PHOTO FILM CO. LTD. KANO,Koichi C/O Fuji Photo Film Co. Ltd. Kawamura. Владелец: Fuji Photo Film Co Ltd. Дата публикации: 2006-09-06.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP2022173248A. Автор: Yukio Matsumoto,達哉 岩崎,行生 松本,Tatsuya Iwasaki. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-11-18.

Orientation film forming device, orientation film forming method, drawing device, and drawing method

Номер патента: KR100720348B1. Автор: 다카히로 우스이. Владелец: 세이코 엡슨 가부시키가이샤. Дата публикации: 2007-05-21.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP7199889B2. Автор: 一史 柏倉,博 石井. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-01-06.

Orientation film forming device, orientation film forming method, drawing device, and drawing method

Номер патента: TW200540535A. Автор: Takahiro Usui. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2005-12-16.

Orientation film forming device, orientation film forming method, drawing device, and drawing method

Номер патента: US20050270328A1. Автор: Takahiro Usui. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2005-12-08.

Film forming equipment, film forming method, and manufacturing method of electronic devices

Номер патента: JP7078696B2. Автор: 一史 柏倉,博 石井. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-05-31.

Alignment and film forming apparatus, alignment and film forming method, and method of manufacturing electronic device

Номер патента: CN111118445A. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-05-08.

Orientation film forming device, orientation film forming method, drawing device, and drawing method

Номер патента: CN100445843C. Автор: 臼井隆宽. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2008-12-24.

Color display substrate, color filter substrate, color luminescent substrate, manufacturing method of color display substrate, electro-optical apparatus, electronic device, film-forming method, film-forming apparatus, and display motherboard

Номер патента: US20020167268A1. Автор: Hiroshi Kiguchi,Satoru Katagami,Yoshiaki Yamada,Hisashi Aruga. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2002-11-14.

Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102501617B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-02-17.

Film forming method, film forming apparatus, method of manufacturing device, and apparatus for manufacturing device

Номер патента: TW200406310A. Автор: Minoru Koyama. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-05-01.

THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER ELEMENT, LIQUID EJECTING HEAD, AND INKJET RECORDING APPARATUS

Номер патента: US20130194350A1. Автор: Shimofuku Akira,Machida Osamu,Watanabe Yasuhiro,TAKEUCHI Atsushi,Tashiro Ryo. Владелец: RICOH COMPANY, LTD.. Дата публикации: 2013-08-01.

Foreign substance removing method, film forming method, article manufacturing method, and foreign substance removing apparatus

Номер патента: US20240316603A1. Автор: Ken Katsuta. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-09-26.

Film Forming Apparatus, Film Forming Method, and Formed Film

Номер патента: US20230234084A1. Автор: Tadayuki Sogi,Hiroaki Matsui,Mitsuaki Echigo,Hiroki Tsuda,Kentaro Shinoda,Jun Akedo,Hisao Ohnishi,Kyohei Manabe,Rintaro Aoyagi,Katsuki Higaki. Владелец: Osaka Gas Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-27.

Titanium Oxide Coating Agent and Titanium Oxide Film Forming Method

Номер патента: US20080280103A1. Автор: Akira Fujishima,Tetsuya Shichi,Katsuhiko Takagi,Hiroshi UETSUKA,Koji Oshika. Владелец: Central Japan Railway Co. Дата публикации: 2008-11-13.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US12065725B2. Автор: Akifumi Gawase,Atsuko Sakata,Toshihiko Nagase,Takeshi Iwasaki,Kohei Nagata,Ryohei Kitao,Yuta Konno. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Film forming method, film forming apparatus and multilayer body

Номер патента: EP4303338A1. Автор: Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-10.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20060115581A1. Автор: Osamu Kasuga. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2006-06-01.

Liquid-Repellent Film Forming Method, Inkjet Head and Inkjet Recording Appparatus

Номер патента: US20110074880A1. Автор: Hiroki Uchiyama. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2011-03-31.

Film forming apparatus, film forming method, method for optimizing rotational speed, and storage medium

Номер патента: US9200364B2. Автор: Shozo Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-01.

Film forming method for forming metal film and film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US11718923B2. Автор: Yuki Sato. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2023-08-08.

Film forming method for forming metal film and film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US20220380923A1. Автор: Yuki Sato. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2022-12-01.

Film forming method

Номер патента: CA2854434C. Автор: Jun Masubuchi. Владелец: Nippon Steel and Sumitomo Metal Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US11851768B2. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US20230100603A1. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US20200024745A1. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US11549185B2. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-10.

Thin film application device and thin film forming method

Номер патента: US20190200732A1. Автор: Masayo SHINODA,Takashi Shiga,Kazuma Tsujita,Hiroshi Kanemaru. Владелец: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd. Дата публикации: 2019-07-04.

Original plate for forming ink film, pattern forming method, pattern film forming method, and pattern film forming apparatus

Номер патента: US20190202194A1. Автор: Hirofumi Hayata,Kengo Ikeda,Mayuko MATSUSAKI. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2019-07-04.

Pore array layer structure, chip device, nanopore sequencing device, and film forming method and use thereof

Номер патента: EP4310487A1. Автор: Lu Song,Zhe Zhang,Shilong REN. Владелец: Chengdu Qitan Technology Ltd. Дата публикации: 2024-01-24.

Process for forming an aqueous dispersion of copolymers, an adhesive composition including such copolymers, a film or an article comprising the same, and a method of coating a substrate

Номер патента: WO2024100162A1. Автор: Amitabha Mitra,Christian HARTMAN,Ryan Hollingsworth. Владелец: Wacker Chemie AG. Дата публикации: 2024-05-16.

Method for producing a polylactic acid-based film or sheet

Номер патента: US20160024265A1. Автор: Shigeki Ishiguro,Hiroki Senda. Владелец: Nitto Denko Corp. Дата публикации: 2016-01-28.

Information processing method for deciding arrangement of droplets in film formation

Номер патента: US20240264529A1. Автор: Yuichiro Oguchi,Naoki Kiyohara,Sentaro Aihara. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-08-08.

Method for producing resin film, casting die, device for producing resin film, resin film, polarizing plate, and liquid crystal display device

Номер патента: US20130207300A1. Автор: Keisuke Mizoguchi. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2013-08-15.

Method and apparatus for forming an optical multilayer filter

Номер патента: EP1170396A3. Автор: Emiko Japan Aviation Elec. Ind. Ltd. Nishida,Noboru Japan Aviation Elec. Ind. Ltd. Uehara. Владелец: Japan Aviation Electronics Industry Ltd. Дата публикации: 2003-01-02.

Film forming method for forming metal film

Номер патента: US20240229278A9. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Apparatus for forming an optical multilayer filter

Номер патента: US20040076740A1. Автор: Noboru Uehara,Emiko Nishida. Владелец: Japan Aviation Electronics Industry Ltd. Дата публикации: 2004-04-22.

Method of forming silicon nitride films

Номер патента: US20090087586A1. Автор: Toshiya Takahashi. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2009-04-02.

Preparation method for wear-resistant super-hydrophobic coating on surface of sampling needle

Номер патента: EP4088829A1. Автор: Lidong SUN,Kaiqi ZHAO. Владелец: Chongqing University. Дата публикации: 2022-11-16.

Device for controlling film formation, film forming device, and film forming method

Номер патента: EP4431632A1. Автор: Takeshi Yamaguchi,Mitsuhiro Miyauchi,Takayuki Matsudaira,Yoshiyuki OHTAKI. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-18.

Resist film forming apparatus, resist film forming method, and mold original plate production method

Номер патента: US20130143166A1. Автор: Tomohide Jozaki. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2013-06-06.

Spray coating film, engine having the spray coating film and film-forming method of the spray coating film

Номер патента: US09840982B2. Автор: Kazuaki Nishio,Kenji Shimoda,Hiromichi Nakata,Toshiaki Hamaguri. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2017-12-12.

Film-forming method and film-formed article

Номер патента: MY166262A. Автор: Kenji Harada,Kenichiro Aii. Владелец: SK Kaken Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-22.

CLEANING METHOD OF SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS, SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD, AND SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150267292A1. Автор: Shimizu Akira,IKEUCHI Toshiyuki,KIM Cheoljung. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-24.

Film-forming method and film-formed article

Номер патента: SG183132A1. Автор: Kenji Harada,Kenichiro Aii. Владелец: SK Kaken Co Ltd. Дата публикации: 2012-09-27.

Gas supply mechanism, gas supplying method, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: US09938620B2. Автор: Masayuki Moroi,Hajime Yamanaka,Yasushi Aiba,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-04-10.

Film-Forming Apparatus and Film-Forming Method

Номер патента: US20200208267A1. Автор: Takashi Kamio,Tetsuya Saitou,Kai Shiono. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-07-02.

Simulation method, simulation apparatus, storage medium, film forming method, and method of producing cured product

Номер патента: US12079551B2. Автор: Junichi Seki,Tosiya Asano,Yuichiro Oguchi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

Simulation method, simulation apparatus, storage medium, film forming method, and method of producing cured product

Номер патента: US20240346209A1. Автор: Junichi Seki,Tosiya Asano,Yuichiro Oguchi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-17.

Film forming apparatus, wafer holder, and film forming method

Номер патента: US20120067274A1. Автор: Kazuhiro Shimura,Daisuke Hara,Yukitomo Hirochi,Masaki Murobayashi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2012-03-22.

Multilayered film forming method, apparatus for controlling vacuum film forming apparatus, and vacuum film forming apparatus

Номер патента: TW593729B. Автор: Kenji Yamakawa,Takahiko Kondo,Nao Watabe. Владелец: Shin Meiwa Ind Co Ltd. Дата публикации: 2004-06-21.

Thin film forming method, optical film, polarizing film and image display method

Номер патента: TW581819B. Автор: Takashi Murakami,Kazuhiro Fukuda. Владелец: Konishiroku Photo Ind. Дата публикации: 2004-04-01.

Method for forming a thermal protective film

Номер патента: RU2662843C1. Автор: Хидео ЯМАСИТА. Владелец: Тойота Дзидося Кабусики Кайся. Дата публикации: 2018-07-31.

Forming method of intermediate layer formed between base material and DLC film, DLC film forming method, and intermediate layer formed between base material and DLC film

Номер патента: US10006116B2. Автор: Hiroyuki Matsuoka,Motohiro Watanabe,Wataru Sakakibara,Soichiro Nogami. Владелец: Dowa Thermotech Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-26.

Method for producing a cellelose ester resin film

Номер патента: WO2007066825A1. Автор: Kiyokazu Hashimoto,Tatsuya Ishizaka,Yasuo Mukunoki. Владелец: FUJIFILM Corporation. Дата публикации: 2007-06-14.

Vacuum film forming apparatus and vacuum film forming method

Номер патента: TWI431133B. Автор: Yasuhiro Koizumi,Junpei Maruyama. Владелец: Shinmaywa Ind Ltd. Дата публикации: 2014-03-21.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: EP4047108A4. Автор: Hiroshi Murotani,Tomokazu Hasegawa,Mitsuhiro Miyauchi,Takayuki Matsudaira,Yoshiyuki OHTAKI. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-14.

Film-forming composition and film-forming method using same

Номер патента: EP3048146B1. Автор: Masakazu Kobayashi,Shunji Kawato,Yuki Ozaki,Noboru SATAKE. Владелец: Merck Patent GmBH. Дата публикации: 2024-03-27.

A sputtering film forming method for a workpiece having a three-dimensional shape, and a device for use therefor

Номер патента: TWI481734B. Автор: Kuniaki Horie,Junichiro Yoshioka. Владелец: Ebara Udylite Kk. Дата публикации: 2015-04-21.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: TWI535883B. Автор: Takahiro Sasaki,Masaya Oda,Toshimi Hitora. Владелец: Flosfia Inc. Дата публикации: 2016-06-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201009098A. Автор: Nobuhiro Hayashi,Masayuki Iijima,Isao Tada,Yousuke Kobayashi. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-03-01.

Photoluminescent coating material composition and multilayer coating film forming method

Номер патента: EP4434639A1. Автор: Akinori Nagai,Keiji Sugamoto. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-25.

Method for forming multiple layered coating film and coated object

Номер патента: EP2695680A1. Автор: Hiroshi Kitagawa,Masami Kobata,Kazuaki Kitazono. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2014-02-12.

Method for forming corrosion-resistant film and high-temperature apparatus member

Номер патента: US20080241558A1. Автор: Hiroshi Yakuwa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2008-10-02.

Method for forming corrosion-resistant film and high-temperature apparatus member

Номер патента: EP1978129A3. Автор: Hiroshi Yakuwa. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2014-12-17.

Film forming agent for tapping screws, film forming method for forming a film covering the outer periphery of the tapping screw using the film forming agent, and a tapping screw with a film formed with the film forming agent

Номер патента: JP4742007B2. Автор: 茂人 森,洋輔 岡村,真弓 松野. Владелец: Topura Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-10.

Multi-layered blown film forming apparatus and multi-layered blown film forming method

Номер патента: CA2536367C. Автор: Yoshiyuki Kitauji,Takahiro Nishida,Akitaka Andou,Hideo Kometani,Hidetoshi Kitajima,Shinichiro Goma,Masayuki Nyuko,Shigeru Yoshihara,Takashi Futagawa,Noritaka Hasegawa. Владелец: Shikoku Kakoh Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-26.

Tapping screw film forming agent, film forming agent preparing method, film forming method using film forming agent to form film covering outer periphery of tapping screw, and tapping screw with film formed by film forming agent

Номер патента: JP2008095793A. Автор: Shigeto Mori,Mayumi Matsuno,茂人 森,洋輔 岡村,真弓 松野,Yosuke Okamura. Владелец: Topura Co Ltd. Дата публикации: 2008-04-24.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20240117486A1. Автор: Yasunobu Suzuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Spray nozzle, coating forming device, and method for forming coating

Номер патента: EP3928872A1. Автор: Masaki Hirano. Владелец: Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-29.

Method for producing photocatalyst electrode for water decomposition

Номер патента: US20170362721A1. Автор: Kazunari Domen,Takashi Hisatomi,Chisato Katayama,Tsutomu Minegishi,Chizhong WANG. Владелец: Japan Technological Research Association of Artificial Photosynthetic Chemical Process. Дата публикации: 2017-12-21.

Method for producing photocatalyst electrode for water decomposition

Номер патента: US10337112B2. Автор: Kazunari Domen,Takashi Hisatomi,Chisato Katayama,Tsutomu Minegishi,Chizhong WANG. Владелец: Japan Technological Research Association of Artificial Photosynthetic Chemical Process. Дата публикации: 2019-07-02.

Polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US6949618B2. Автор: Takashi Kato. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 2005-09-27.

Coating material composition, kit, coating film, and coating film forming method

Номер патента: US20240010873A1. Автор: Kenji Horiguchi,Shuto NOGUCHI. Владелец: Tosoh Corp. Дата публикации: 2024-01-11.

Polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US7087311B2. Автор: Takashi Kato. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 2006-08-08.

Novel polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US20060019109A1. Автор: Takashi Kato. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-01-26.

Film forming apparatus, film forming tray, film forming method, and method for manufacturing film forming tray

Номер патента: CN109423626B. Автор: 中山孝,西山隆司. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2021-07-09.

Film forming method for solid electrolyte, film forming method for fuel electrode, and film forming method for solid electrolyte and fuel electrode

Номер патента: JPH1116583A. Автор: Shinji Takeuchi,淳一 藤田,Masataka Mochizuki,正孝 望月,伸二 竹内,Junichi Fujita,Mikiyuki Ono,幹幸 小野,Masakatsu Nagata,雅克 永田,Tsutomu Iwazawa,力 岩澤,波子 兼田,Namiko Kaneda. Владелец: Kansai Electric Power Co Inc. Дата публикации: 1999-01-22.

Optical element, optical apparatus, film forming method, film forming apparatus and device fabrication method

Номер патента: US7295367B2. Автор: Keisui Banno,Yoichi Yasaki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2007-11-13.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: EP4047108A1. Автор: Hiroshi Murotani,Tomokazu Hasegawa,Mitsuhiro Miyauchi,Takayuki Matsudaira,Yoshiyuki OHTAKI. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-24.

Optical element, optical apparatus, film forming method, film forming apparatus and device fabrication method

Номер патента: US20050270636A1. Автор: Keisui Banno,Yoichi Yasaki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-12-08.

Film forming apparatus, film forming method, manufacturing method of article, and storage medium

Номер патента: US20240069435A1. Автор: Shintaro Narioka. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Apparatus for forming a deposited film by plasma chemical vapor deposition

Номер патента: US6135053A. Автор: Ryuji Okamura. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2000-10-24.

Apparatus for manufacturing thermoplastic resin film, and method for manufacturing thermoplastic resin film

Номер патента: US20090146346A1. Автор: Masahiko Noritsune. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2009-06-11.

Resist film forming method and resist coating apparatus

Номер патента: US6410194B1. Автор: Kosuke Yoshihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-06-25.

Metal film and metal film-coated member, metal oxide film and metal oxide film-coated member, thin film forming apparatus and thin film forming method for producing metal film and metal oxide film

Номер патента: USRE41747E1. Автор: Kazuya Shimizu,Takahiro Okura,Masakazu Takei. Владелец: Kyocera Optec Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-21.

Composition, film, film forming method, pattern forming method, method for forming organic underlayer film reversal pattern, and composition production method

Номер патента: WO2021060495A1. Автор: 龍一 芹澤,一憲 酒井,裕介 大坪. Владелец: Jsr株式会社. Дата публикации: 2021-04-01.

Film forming system and film forming method

Номер патента: US20230070274A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-09.

Masking material, and film forming apparatus and film forming method for forming metal film using same

Номер патента: US20240141533A1. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH,Soma Higashikozono. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-05-02.

Film forming method for forming metal film

Номер патента: US20240133068A1. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-04-25.

Anodizing device, continuous anodizing device, and film forming method

Номер патента: US20140097090A1. Автор: Keigo Sato,Shigenori Yuya,Ryozo Kaito. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2014-04-10.

FILM FORMING METHOD FOR METAL FILM AND FILM FORMING APPARATUS FOR METAL FILM

Номер патента: US20190093247A1. Автор: Iisaka Hirofumi. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2019-03-28.

Method for cleaning film forming apparatus, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: EP2511946A1. Автор: KATSUSHI Kishimoto,Kazuhiko Isshiki. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2012-10-17.

Laminate used for production of electronic component, method for producing laminate, film sensor, touch panel device provided with film sensor, and film forming method for forming concentration gradient metal layer

Номер патента: CN105102219A. Автор: 高桥正泰,中岛达司. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2015-11-25.

Laminate used for production of electronic component, method for producing laminate, film sensor, touch panel device provided with film sensor, and film forming method for forming concentration gradient metal layer

Номер патента: KR20160006676A. Автор: 마사히로 다카하시,다츠지 나카지마. Владелец: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤. Дата публикации: 2016-01-19.

Film forming method for metal film and film forming apparatus for metal film

Номер патента: EP3461934B1. Автор: Hirofumi Iisaka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2020-01-01.

ORIGINAL PLATE FOR FORMING INK FILM, PATTERN FORMING METHOD, PATTERN FILM FORMING METHOD, AND PATTERN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190202194A1. Автор: MATSUSAKI Mayuko,IKEDA Kengo,HAYATA Hirofumi. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-04.

Method for Improving Chemical Resistance of Polymerized Film, Polymerized Film Forming Method, Film Forming Apparatus, and Electronic Product Manufacturing Method

Номер патента: US20150240121A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,SUGITA Kippei,FUJIKAWA Makoto,MORISADA Yoshinori. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-27.

FORMING METHOD OF INTERMEDIATE LAYER FORMED BETWEEN BASE MATERIAL AND DLC FILM, DLC FILM FORMING METHOD, AND INTERMEDIATE LAYER FORMED BETWEEN BASE MATERIAL AND DLC FILM

Номер патента: US20160265099A1. Автор: Matsuoka Hiroyuki,Watanabe Motohiro,Sakakibara Wataru,Nogami Soichiro. Владелец: DOWA THERMOTECH CO., LTD.. Дата публикации: 2016-09-15.

Carbon film forming apparatus, carbon film forming method, method for producing negative electrode material for lithium ion battery, and method for producing lithium ion battery

Номер патента: JP6280515B2. Автор: 秀哉 吉武,憲二 福田,敦雄 川田,福田　憲二,秀和 上原,上原　秀和. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-14.

The intermediate layer formed between the forming method in the intermediate layer formed between base material and DLC film, DLC film forming method and base material and DLC film

Номер патента: CN105705675B. Автор: 松冈宏之,渡边元浩,榊原渉,野上惣郎,野上惣一郎. Владелец: Dowa Thermotech Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-01.

Copper oxide thin film low-friction material and film-forming method therefor

Номер патента: US7713635B2. Автор: Masahiro Goto,Kazuhiro Yoshihara,Akira Kasahara,Masahiro Tosa. Владелец: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE. Дата публикации: 2010-05-11.

Copper oxide thin film low-friction material and film-forming method therefor

Номер патента: EP1642997A4. Автор: Masahiro Goto,Kazuhiro Yoshihara,Akira Kasahara,Tetsuo Oishi,Masahiro Tosa. Владелец: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE. Дата публикации: 2008-04-02.

Film-forming device, film-forming unit, and film-forming method

Номер патента: US20230304140A1. Автор: Takashi Iizuka. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-09-28.

Copper Oxide Thin Film Low-Friction Material And Film-Forming Method Therefor

Номер патента: US20080113219A1. Автор: Masahiro Goto,Kazuhiro Yoshihara,Akira Kasahara,Tetsuo Oishi,Masahiro Tosa. Владелец: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE. Дата публикации: 2008-05-15.

FILM-FORMING POWDER, FILM FORMING METHOD, AND FILM-FORMING POWDER PREPARING METHOD

Номер патента: US20200024745A1. Автор: Takai Yasushi,KIMURA Yuji,Nakamura Shigeyuki. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2020-01-23.

METAL-FILM FORMING METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING A METAL-FILM FORMED PRODUCT AND SYSTEM FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20150093516A1. Автор: Yamasaki Kazuhiko,ARAGA Shinji,MIYAGI Nobuyuki,YAMAGUCHI Mitsugu,NAKATA Kentaro,MITA Mamoru,MAEKAWA Katsuhiro. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-02.

COMPOSITION FOR FORMING RESIST UNDERLAYER FILM, RESIST UNDERLAYER FILM AND RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING METHOD, AND PATTERN-FORMING METHOD

Номер патента: US20140272722A1. Автор: Komura Kazuhiko,Murakami Satoru,TAKIMOTO Yoshio,NAKAFUJI Shin-ya,Motonari Masayuki,MIZOGUCHI Katsuhisa. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2014-09-18.

COMPOSITION FOR FORMING RESIST UNDERLAYER FILM, RESIST UNDERLAYER FILM AND RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING METHOD, AND PATTERN-FORMING METHOD

Номер патента: US20150198882A9. Автор: Komura Kazuhiko,Murakami Satoru,TAKIMOTO Yoshio,NAKAFUJI Shin-ya,Motonari Masayuki,MIZOGUCHI Katsuhisa. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2015-07-16.

FILM FORMING METHOD FOR METAL FILM AND FILM FORMING APPARATUS THEREFOR

Номер патента: US20190249321A1. Автор: HIRAOKA Motoki,Iisaka Hirofumi,SATO Yuki. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2019-08-15.

FILM FORMING METHOD FOR METAL FILM AND FILM FORMING APPARATUS THEREFOR

Номер патента: US20170335479A1. Автор: HIRAOKA Motoki,Iisaka Hirofumi,SATO Yuki. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-11-23.

Naphthalene derivative and method for producing the same, resist underlayer film material, resist underlayer film forming method and pattern forming method

Номер патента: JP5556773B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,剛 金生,勝也 竹村,大佑 郡. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2014-07-23.

Film forming apparatus and film forming method for dlc film

Номер патента: WO2021090793A1. Автор: 坂本　仁志,英児 佐藤. Владелец: 株式会社クリエイティブコーティングス. Дата публикации: 2021-05-14.

Metal-film forming method, method for manufacturing a metal-film formed product and system for manufacturing the same

Номер патента: PH12014000271A1. Автор: Kazuhiko Yamasaki,Mitsugu Yamaguchi,Mamoru Mita,Katsuhiro Maekawa,Shinji Araga,Nobuyuki Miyagi,Kentaro Nakata. Владелец: M And M Res Lab Co Ltd. Дата публикации: 2016-04-11.

Aqueous coating material composition and coated article using same, and multilayer coating film forming method

Номер патента: US20240279482A1. Автор: Takayuki Ono,Takumu Honda,Keita OHNO. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Printing apparatus and film forming method

Номер патента: TW201016475A. Автор: Shinsuke Iguchi,Gen Fujii. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-05-01.

Solder connection structure and film forming method

Номер патента: EP3396021A4. Автор: Masaki Hirano. Владелец: Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-08.

Film forming method

Номер патента: TW201217068A. Автор: Tomokazu Ito,Yasutaka NITTA. Владелец: TOTO LTD. Дата публикации: 2012-05-01.

An anodic oxide film forming method and an aluminum alloy member using the same

Номер патента: TWI402379B. Автор: Koji Wada,Jun Hisamoto. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2013-07-21.

Multilayer coating film forming method

Номер патента: EP3827904B1. Автор: Satoshi Ishida,Akiko Senda,Kenta TAKEMURA. Владелец: Nippon Paint Automotive Coatings Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-18.

Projected film forming method

Номер патента: TW200305549A. Автор: Toshifumi Tsujino,Tetsuya Yoshitake. Владелец: Nippon Sheet Glass Co Ltd. Дата публикации: 2003-11-01.

Film forming apparatus, film forming method, method for optimizing rotational speed, and storage medium

Номер патента: US20120315394A1. Автор: Shozo Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-13.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS AND CONTROL UNIT FOR THE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150053547A1. Автор: YAMAMOTO Shunsuke. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-26.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING SYSTEM, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220081757A1. Автор: Watanabe Naoki,Abarra Einstein Noel,TOSHIMA Hiroyuki,ISHIBASHI Shota,SHINADA Masato,Miyashita Tetsuya. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-17.

Method for cleaning film forming apparatus and film forming method

Номер патента: JP4738528B2. Автор: 和彦 一色,克史 岸本. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2011-08-03.

New tetracarboxylic dianhydride, polyimide resin and its manufacturing method, photosensitive resin composition, pattern forming method and cured film forming method, interlayer insulating film, surface protective film, electronic parts

Номер патента: JP6810677B2. Автор: 勝也 竹村,和也 本田,匡史 飯尾,竹村　勝也,宏之 浦野,広季 鷹野. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2021-01-06.

Film forming method for jet pump and dipping apparatus for forming film

Номер патента: JP6173806B2. Автор: 啓 森,森　啓,裕介 青木,邦彦 衣笠,裕紀 湊,祥希 石崎,英寿 佐々木,梢 松川. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2017-08-02.

Film forming mold, film forming method using mold, and film forming control system

Номер патента: EP1637308B1. Автор: Motosuke c/o Mitsuba Corporation ISHIZAWA,Takao c/o Oshima Electric Works Co. Ltd UMEZAWA. Владелец: Mitsuba Corp. Дата публикации: 2013-08-21.

Film-forming device, film-forming head, and film-forming method

Номер патента: TW201130182A. Автор: Teruyuki Hayashi,Yuji Ono. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-09-01.

FERROELECTRIC FILM, SOL-GEL SOLUTION, FILM FORMING METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING FERROELECTRIC FILM

Номер патента: US20130165313A1. Автор: Kijima Takeshi,Honda Yuuji,SHIGENAI Takekazu. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-27.

BARRIER-FILM FORMING APPARATUS, BARRIER-FILM FORMING METHOD, AND BARRIER-FILM COATED CONTAINER

Номер патента: US20150108031A1. Автор: YAMAKOSHI Hideo,GOTO Seiji,Asahara Yuji,Danno Minoru,Nakaya Masaki,Shirakura Akira,HIROYA Kiyoshi. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-23.

Amorphous Silicon Crystallizing Method, Crystallized Silicon Film Forming Method, Semiconductor Device Manufacturing Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20150159295A1. Автор: Okada Mitsuhiro,TAKAHASHI Kazuya,FURUSAWA Yoshikazu,YONEKURA Hiromasa. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-11.

Thin-film forming apparatus, thin-film forming method, piezoelectric-element forming method, droplet discharging head, and ink-jet recording apparatus

Номер патента: US8833921B2. Автор: Osamu Machida,Yoshikazu Akiyama,Masahiro Yagi,Takakazu KIHIRA,Ryoh Tashiro. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-16.

Sputtering film forming apparatus, sputtering film forming method therefor, and compound thin film

Номер патента: TW202031918A. Автор: 長江亦周,稻瀨陽介,菅原卓哉. Владелец: 日商新柯隆股份有限公司. Дата публикации: 2020-09-01.

Titanium oxide film forming coating agent, titanium oxide film forming method, and metal substrate coated with titanium oxide film

Номер патента: JPWO2003037996A1. Автор: 理 磯崎,泰彦 春田,彰典 永井,潤 阿久井,阿久井　潤,春田　泰彦,磯崎　理. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2005-02-17.

Proton conductive film forming composition, proton conductive film forming method, and proton conductive film

Номер патента: JP4438953B2. Автор: 昭 山本,正明 山谷,基夫 福島,善紀 米田. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2010-03-24.

Film forming apparatus for metal coating film and film forming method therefor

Номер патента: WO2015072481A1. Автор: 博 柳本,祐規 佐藤,平岡　基記. Владелец: トヨタ自動車株式会社. Дата публикации: 2015-05-21.

Amorphous silicon crystallizing method, crystallized silicon film forming method, semiconductor device manufacturing method and film forming apparatus

Номер патента: KR101791727B1. Автор: 가즈야 다카하시,미츠히로 오카다,요시카즈 후루사와,히로마사 요네쿠라. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-10-30.

A metal oxide film forming apparatus, a metal oxide film forming method and a metal oxide film

Номер патента: DE112010005624T5. Автор: Akio Yoshida,Shizuo Fujita,Takahiro Shirahata,Hiroyuki Orita,Toshiyuki Kawaharamura. Владелец: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp. Дата публикации: 2013-03-21.

Continuous film-forming manufacturing device of wet-type colloidal film and film-forming method thereof

Номер патента: CN104972590A. Автор: 林宇岳. Владелец: BOHONG BIOTECHNOLOGY CO LTD. Дата публикации: 2015-10-14.

Film-forming method, production method for product with ceramic film, and product with ceramic film

Номер патента: US10494710B1. Автор: Naohisa Takahashi,Takehiro Uhara. Владелец: Yamaha Motor Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-03.

Film forming method, film forming device, liquid crystal arrangement method, liquid crystal arrangement device, liquid crystal device, liquid crystal device production method and electronic equipment

Номер патента: KR100691687B1. Автор: 히루마게이. Владелец: 세이코 엡슨 가부시키가이샤. Дата публикации: 2007-03-09.

Film forming apparatus for metal coating film and film forming method therefor

Номер патента: KR101799710B1. Автор: 유키 사토,히로시 야나기모토,모토키 히라오카. Владелец: 도요타 지도샤（주）. Дата публикации: 2017-11-20.

Layered Thin Film Structure, Layered Thin Film Forming Method, Film Forming System and Storage Medium

Номер патента: US20080070017A1. Автор: Hiroshi Sato,Yasuhiko Kojima,Naoki Yoshii. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-03-20.

Film forming apparatus for metal coating film and film forming method therefor

Номер патента: EP3070191A4. Автор: Hiroshi Yanagimoto,Yuki Sato,Motoki Hiraoka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2016-11-09.

Titanium oxide film forming coating agent, titanium oxide film forming method, and metal substrate coated with titanium oxide film

Номер патента: JP4154466B2. Автор: 理 磯崎,泰彦 春田,彰典 永井,潤 阿久井. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2008-09-24.

Antireflection film forming method, antireflection film and film forming apparatus

Номер патента: JPWO2010044265A1. Автор: 暁 石橋,治彦 山本,高橋　明久,明久 高橋,石橋　暁,秀典 柳坪. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-03-15.

Film forming method, film forming device liquid crystal arrangement method, liquid crystal arrangement device, liquid crystal device, liquid crystal device production method and electronic equipment

Номер патента: US20040234690A1. Автор: Kei Hiruma. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-11-25.

A molding with a film formed, method for forming a film and deposition system

Номер патента: TW200639040A. Автор: Takao Umezawa. Владелец: Oshima Electric Works Co Ltd. Дата публикации: 2006-11-16.

RESIST FILM FORMING APPARATUS, RESIST FILM FORMING METHOD, AND MOLD ORIGINAL PLATE PRODUCTION METHOD

Номер патента: US20130143166A1. Автор: Jozaki Tomohide. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-06.

RESIN COMPOSITION, RESIST UNDERLAYER FILM, RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING METHOD AND PATTERN-FORMING METHOD

Номер патента: US20130153535A1. Автор: Murakami Satoru,MATSUMURA Yuushi,NAKAFUJI Shin-ya,Motonari Masayuki,KOUMURA Kazuhiko,MIZOGUCHI Katsuhisa. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2013-06-20.

METHOD OF PROTECTING COMPONENT OF FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20130251896A1. Автор: TAKAHASHI Nobuhiro,SASAKI Koji,Suzuki Keisuke,TONEGAWA Yamato,SATO Hidenobu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-09-26.

DEPOSITION FILM FORMING APPARATUS, DEPOSITION FILM FORMING METHOD AND ELECTROPHOTOGRAPHIC PHOTOSENSITIVE MEMBER MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20130302734A1. Автор: HOSOI Kazuto,AKIYAMA Kazuyoshi,ABE Yukihiro,YAMADA Motoya. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-14.

RESIN COMPOSITION, RESIST UNDERLAYER FILM, RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING METHOD AND PATTERN-FORMING METHOD

Номер патента: US20140014620A9. Автор: Murakami Satoru,MATSUMURA Yuushi,NAKAFUJI Shin-ya,Motonari Masayuki,KOUMURA Kazuhiko,MIZOGUCHI Katsuhisa. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2014-01-16.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING SYSTEM AND SURFACE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20180037989A1. Автор: TAKAHASHI Tsuyoshi,Kaneko Miyako,YAMAZAKI Kazuyoshi,NORO Naotaka. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-08.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

Номер патента: US20200117096A1. Автор: KUROSAWA Hiroshi. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, IMAGE FORMING METHOD, FILM FORMING METHOD, RESIN, IMAGE, AND FILM

Номер патента: US20180162979A1. Автор: Suzuki Shota,Sato Noriaki,SAWAMURA Yasuhiro,Slater Sean. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-14.

Gas Supply Mechanism, Gas Supplying Method, Film Forming Apparatus and Film Forming Method Using the Same

Номер патента: US20150275367A1. Автор: MOROI Masayuki,HOTTA Takanobu,AIBA Yasushi,Yamanaka Hajime. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-01.

FILM FORMING METHOD, IMAGE FORMING METHOD, FILM, AND INK COMPOSITION

Номер патента: US20170313897A1. Автор: Kobayashi Motokazu,Kotani Yoshinori,IIDA Kenichi,Yamabi Satoshi,Honma Takeshi,Yoshikawa Shinichirou,Sugimoto Toshihiko. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, IMAGE FORMING METHOD, FILM FORMING METHOD, RESIN, IMAGE, AND FILM

Номер патента: US20190338061A1. Автор: Suzuki Shota,Sato Noriaki,SAWAMURA Yasuhiro,Slater Sean. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-07.

CONTROL DEVICE, FILM FORMING APPARATUS, CONTROL METHOD, FILM FORMING METHOD, AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20190390347A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,FUJIKAWA Makoto,NOZAWA Syuji. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-26.

Organic el device manufacturing device and method of manufacturing the same, film forming device and film forming method

Номер патента: KR101322530B1. Автор: 히로끼 가메야마,노부히로 니라사와,겐지 유미바,유끼오 오찌아이. Владелец: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈. Дата публикации: 2013-10-25.

Water-based paint compositions and the coating film-forming methods and method of forming layered coating film using the water-based paint compositions

Номер патента: CN102822289B. Автор: 云林院崇宏,筱田宪昌. Владелец: Nippon Paint Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-27.

Aqueous coating composition, coating film forming method and multilayer coating film forming method using the aqueous coating composition

Номер патента: JPWO2011118790A1. Автор: 崇宏 雲林院,憲昌 篠田. Владелец: Nippon Paint Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2013-07-04.

Drying apparatus, method for drying film and solution film forming method

Номер патента: KR101858752B1. Автор: ?이치 요시다,진 가토우. Владелец: 후지필름 가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-06-28.

Film forming method for forming imaged design to panel and its formed panel using the method thereof

Номер патента: KR100962289B1. Автор: 박찬. Владелец: 에스티인 주식회사. Дата публикации: 2010-06-11.

Film forming apparatus, raw material introducing method, and film forming method

Номер патента: JP4370529B2. Автор: 裕之 大出. Владелец: Elpida Memory Inc. Дата публикации: 2009-11-25.

Method for producing part incorporating silicon substrate whose surface is covered with silicon carbide film

Номер патента: RU2286616C2. Автор: Сергей Константинович Гордеев,Светлана Борисовна Корчагина,Сергей Арсеньевич Кукушкин,Андрей Викторович Осипов. Владелец: Общество С Ограниченной Ответственностью "Управляющая Компания "Созвездие" (Ооо "Ук "Созвездие"). Дата публикации: 2006-10-27.

Method for stretching film and solution film forming method

Номер патента: KR101957520B1. Автор: 도시로우 에사키. Владелец: 후지필름 가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-03-12.

Gas supply mechanism, gas supplying method, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: CN104947082A. Автор: 诸井政幸,山中孟,饗场康,堀田隼史. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-09-30.

Coating film forming method, coating film forming apparatus, and toning paint preparation method

Номер патента: JP4906513B2. Автор: 徹 竹内. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2012-03-28.

Photosensitive composition, image forming method, film forming method, resin, image, and film

Номер патента: AU2016311962B2. Автор: Shota Suzuki,Noriaki Sato,Yasuhiro Sawamura,Sean Slater. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2018-11-15.

Liquid film forming method and solid film forming method

Номер патента: US20030072886A1. Автор: Shinichi Ito. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2003-04-17.

Inorganic film-forming coating composition preparation method thereof and inorganic film-forming method

Номер патента: GB0013789D0. Автор: . Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2000-07-26.

Organic electroluminescent light making apparatus and organic electroluminescent light manufacturing method and film forming apparatus and film forming method

Номер патента: TWI428968B. Автор: Fumio Kataoka,Kenji Yumiba,Kenji Katagiri,Ryo Izaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2014-03-01.

Inorganic film-forming coating composition, preparation method therof and inorganic film-forming method

Номер патента: GB2350841B. Автор: Osamu Isozaki. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2001-12-19.

Thin film forming method, thin film forming apparatus, solar cell panel manufacturing method, and solar cell panel manufacturing apparatus

Номер патента: JP5221234B2. Автор: 正樹 荒木,良 井崎. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2013-06-26.

Multilayer film forming apparatus, optical characteristic measuring method and film forming method

Номер патента: JP3405562B2. Автор: 継博 是永,英雄 黒川,真司 内田,亮人 沢田. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2003-05-12.

Electrode material film forming method and electrode material film forming method

Номер патента: JP5590450B2. Автор: 博 中村,継貴 櫻井,順一 飯坂. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2014-09-17.

Coating film forming method, coating film forming apparatus, and toning paint preparation method

Номер патента: JPWO2006054726A1. Автор: 徹 竹内,竹内　徹. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2008-06-05.

Cellulose ester film, film-forming method for the cellulose ester film, polarizing plate and liquid crystal display device

Номер патента: KR101498321B1. Автор: 미노리 다마가와. Владелец: 코니카 미놀타 어드밴스드 레이어즈 인코포레이티드. Дата публикации: 2015-03-03.

Photosensitive composition, image forming method, film forming method, resin, image, and film

Номер патента: JP6771623B2. Автор: 憲晃 佐藤,昭太 鈴木,泰弘 澤村,ショーン スレーター. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2020-10-21.

Film forming method, image forming method, film, and ink composition

Номер патента: US10647863B2. Автор: Toshihiko Sugimoto,Takeshi Honma,Motokazu Kobayashi,Yoshinori Kotani,Kenichi Iida,Satoshi YAMABI,Shinichirou Yoshikawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2020-05-12.

Method and apparatus for forming flexible film, and solution film forming method

Номер патента: KR101945537B1. Автор: 노부요시 스즈키,나오키 나카무라. Владелец: 후지필름 가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-02-07.

Fluorescent film, film-forming method therefor, multilayer dielectric film, optical element, optical system, imaging unit, instrument for measuring optical characteristics, method of measuring optical characteristics, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method

Номер патента: WO2009113544A1. Автор: 均 石沢,嘉信 江面. Владелец: 株式会社ニコン. Дата публикации: 2009-09-17.

Double-sided transcription type sheet/film forming roll apparatus and double-sided transcription type sheet/film forming method

Номер патента: US20190022920A1. Автор: Koji Mizunuma,Akihiro Iwata,Tomonori Yamaguchi,Ryota OKE. Владелец: Toshiba Machine Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-24.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20120031748A1. Автор: Shigenori Ishihara. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2012-02-09.

FILM-FORMING DEVICE AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130092528A1. Автор: Fujii Yoshinori,Nakamura Shinya. Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2013-04-18.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130152853A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,SATO Yuusuke,ITO Hideki,TSUCHIDA Hidekazu,KAMATA Isaho,ITO Masahiko,NAITO Masami,FUJIBAYASHI Hiroaki,ADACHI Ayumu,NISHIKAWA Koichi. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-20.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130156950A1. Автор: SATO Yuusuke,Yamada Takumi. Владелец: NUFLARE TECHNOLOGY, INC. Дата публикации: 2013-06-20.

THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130216710A1. Автор: Suu Koukou,Masuda Takeshi,Kajinuma Masahiko,Ideno Takuya,Odajima Nobuhiro,Uchida Yohei. Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2013-08-22.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130220539A1. Автор: Takenouchi Takashi,Serizawa Hideki. Владелец: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY. Дата публикации: 2013-08-29.

THIN-FILM FORMING METHOD AND THIN-FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130224381A1. Автор: Suu Koukou,Masuda Takeshi,Kajinuma Masahiko,Ideno Takuya,Odajima Nobuhiro,Uchida Yohei. Владелец: ULVAC, INC. Дата публикации: 2013-08-29.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING DEVICE

Номер патента: US20130323421A1. Автор: Honma Koji,Inuzuka Hitoshi. Владелец: SANKEI ENGINEERING CO., LTD. Дата публикации: 2013-12-05.

THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140021037A1. Автор: Chikama Yoshimasa,SUZUKI Iwao. Владелец: SHARP KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2014-01-23.

Optical element, optical thin film forming apparatus, and optical thin film forming method

Номер патента: US20150009556A1. Автор: Teruo Yamashita,Shuichiro KAWAGISHI. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2015-01-08.

FILM-FORMING PROCESSING APPARATUS, FILM-FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20170009345A1. Автор: KATO Hitoshi,HASEBE Kazuhide. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-12.

POWDER FILM FORMING METHOD AND POWDER FILM FORMING DEVICE

Номер патента: US20200009607A1. Автор: SUGIYO Takeshi,FUKUI Hideyuki,NISHIURA Sousuke. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-09.

FILM FORMING APPARATUS, SUSCEPTOR, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160024652A1. Автор: SUZUKI Katsumi,ITO Hideki,TSUCHIDA Hidekazu,KAMATA Isaho,ITO Masahiko,NAITO Masami,FUJIBAYASHI Hiroaki,NISHIKAWA Koichi. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

FILM-FORMING METAL SOUTION AND METAL FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20160024675A1. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi,AKAMATSU Kensuke. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-01-28.

DOUBLE-SIDED TRANSCRIPTION TYPE SHEET/FILM FORMING ROLL APPARATUS AND DOUBLE-SIDED TRANSCRIPTION TYPE SHEET/FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190022920A1. Автор: YAMAGUCHI Tomonori,MIZUNUMA Koji,Oke Ryota,IWATA AKIHIRO. Владелец: TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2019-01-24.

FILM FORMING APPARATUS SOURCE SUPPLY APPARATUS, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200024740A1. Автор: TANAKA Masayuki,FURUYA Yuichi. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20210047724A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,FUJIKAWA Makoto,NOZAWA Syuji. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210047727A1. Автор: OTA Kazuki,Monden Taichi,ZENKO Tetsu. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

Spray nozzle, film forming device, and film forming method

Номер патента: US20190047001A1. Автор: Masaki Hirano. Владелец: Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd. Дата публикации: 2019-02-14.

FILM-FORMING APPARATUS, FILM-FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20180051374A1. Автор: KATO Hitoshi,MURATA Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-22.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20170058398A1. Автор: Shimizu Keisuke,Murakami Yosuke,Kobayashi Toshiyuki,Kadono Koji,Mizuguchi Yukiko. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-02.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20200056287A1. Автор: Nakamura Hideo,TAKAHASHI Tsuyoshi,YAMAZAKI Kazuyoshi,IDENO Yoshikazu. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200063258A1. Автор: TAKAHASHI Tsuyoshi,Miyagawa Noboru,Arima Susumu,HONG Seokhyoung,ASHIZAWA Hiroaki. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-27.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20150072075A1. Автор: Wada Norio. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2015-03-12.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220098717A1. Автор: GOMI Atsushi,SATO Keisuke,Imakita Kenichi,ONO Kazunaga,KITADA Toru,YOKOHARA Hiroyuki,SONE Hiroshi. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220098726A1. Автор: Harashima Masayuki,Nakamura Michikazu,SANO Yukio,Kobayashi Hirokatsu. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20210087669A1. Автор: Sakata Atsuko,Nagase Toshihiko,GAWASE Akifumi,Iwasaki Takeshi,KONNO Yuta,KITAO Ryohei,Nagata Kohei. Владелец: Kioxia Corporation. Дата публикации: 2021-03-25.

THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140170320A1. Автор: Yamamoto Kazuya,ITO Yuichi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-06-19.

FILM FORMING METHOD, NON-TRANSITORY COMPUTER STORAGE MEDIUM AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140170332A1. Автор: Shimura Satoru,IWAO Fumiko. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-06-19.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20150110959A1. Автор: Hiroaki Ashizawa,Misuzu SATO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-23.

MICROCHIP AND FILM FORMING METHOD FOR METAL THIN FILM OF MICROCHIP

Номер патента: US20160109356A1. Автор: Kawaguchi Toshikazu,MORITA Kinichi. Владелец: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-04-21.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20180112312A1. Автор: Nakamura Hideo,TAKAHASHI Tsuyoshi,YAMAZAKI Kazuyoshi,IDENO Yoshikazu,KUWADA Hirotaka,ODAGIRI Masaya,EHARA Hiroki,TAMEGAI Yukihiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20160122872A1. Автор: KATO Hitoshi,Miura Shigehiro,AIKAWA Katsuyoshi,Kikuchi Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-05.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220266294A1. Автор: TODA Naohiro. Владелец: . Дата публикации: 2022-08-25.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20150140212A1. Автор: Keisuke Shimizu,Toshiyuki Kobayashi,Yosuke Murakami,Koji Kadono,Yukiko Mizuguchi. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2015-05-21.

Spray Coating Film, Engine Having the Spray Coating Film and Film-Forming Method of the Spray Coating Film

Номер патента: US20160146148A1. Автор: Shimoda Kenji,Nishio Kazuaki,NAKATA Hiromichi,HAMAGURI Toshiaki. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-05-26.

Film Forming Method and Film Forming Device

Номер патента: US20150152557A1. Автор: OKURA Shigeyuki,Yamanaka Hajime. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2015-06-04.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20160151964A1. Автор: Takenouchi Takashi,Serizawa Hideki. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-02.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180154382A1. Автор: Hirano Satoshi,KAWASAKI KOICHI. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-07.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200149168A1. Автор: HONMA Manabu. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-14.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20140246325A1. Автор: Tsuchiya Takayuki,KONDO Kazuo,Marunaka Masao,Koizumi Yasuhiro. Владелец: SHINMAYWA INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2014-09-04.

COBALT BASE FILM-FORMING METHOD, COBALT BASE FILM-FORMING MATERIAL, AND NOVEL COMPOUND

Номер патента: US20140248427A1. Автор: Kawano Yumiko,ISHIKAWA Masato,MACHIDA Hideaki,Iwai Kazutoshi,Sudoh Hiroshi. Владелец: . Дата публикации: 2014-09-04.

FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20150174605A1. Автор: OKAMOTO Takashi,SHINODA Kentaro,TAKI Kazunari,KANADA Hideki,KOUSAKA Hiroyuki,TAKAOKA Yasuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-25.

FILM-FORMING PROCESSING APPARATUS, FILM-FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20200157683A1. Автор: KATO Hitoshi,HASEBE Kazuhide. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2020-05-21.

METAL-FILM FORMING APPARATUS AND METAL-FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160186354A1. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-06-30.

FILM FORMING APPARATUS, GAS SUPPLY DEVICE AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140295083A1. Автор: Sano Masaki,NUNOSHIGE Yu,NASU Masayuki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-10-02.

Film-Forming Apparatus and Film-Forming Method

Номер патента: US20200208267A1. Автор: SAITOU Tetsuya,KAMIO Takashi,SHIONO Kai. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

POLYMERIZED FILM FORMING METHOD AND POLYMERIZED FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150232702A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,MORISADA Yoshinori. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

Polymerized Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20150240120A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,FUJIKAWA Makoto. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-27.

FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160237566A1. Автор: Miyatake Naomasa,Hattori Nozomu,Mori Yasunari,NAKASHIMA Yoshiharu. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-18.

FILM-FORMING COMPOSITION AND FILM-FORMING METHOD USING SAME

Номер патента: US20160244638A1. Автор: Ozaki Yuki,KOBAYASHI Masakazu,SATAKE Noboru,KAWATO Shunji. Владелец: AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L.. Дата публикации: 2016-08-25.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150251196A1. Автор: Hirano Satoshi. Владелец: NHK SPRING CO., LTD.. Дата публикации: 2015-09-10.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20150259796A1. Автор: HISHIYA Shingo,Suzuki Keisuke,KADONAGA Kentaro,MURAKAMI Hiroki,OBATA Minoru. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-17.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160265126A1. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-09-15.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20160265136A1. Автор: WATANABE Yosuke,UMEZAWA Kota. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20180264516A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,Hashimoto Hiroyuki,NIINO Reiji,FUJIKAWA Makoto,NOZAWA Syuji. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-20.

SHEET/FILM FORMING ROLL APPARATUS, SHEET/FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20170282418A1. Автор: YAMAGUCHI Tomonori,MIZUNUMA Koji,Oke Ryota,IWATA AKIHIRO. Владелец: TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-10-05.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20190276932A1. Автор: Naoki Yoshioka,Satoru Ozaki,Takaharu Nishihara,Suguru TANAKA,Yuu TOKUTAKE. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2019-09-12.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190292662A1. Автор: Ogawa Jun,OSHIMO Kentaro,Otsuki Shimon,KOBAYASHI Yasuo,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki,IKEGAWA Hiroaki. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-26.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20200291514A1. Автор: TSUDA Einosuke. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-17.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20170306492A1. Автор: IIZUKA Kazutaka. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-10-26.

Film-Forming Apparatus and Film-Forming Method

Номер патента: US20190316257A1. Автор: IIZUKA Yoji. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-17.

Film Forming Apparatus, Film Forming Method, and Recording Medium

Номер патента: US20180327906A1. Автор: KATO Hitoshi,Miura Shigehiro,AIKAWA Katsuyoshi,Kikuchi Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2018-11-15.

FILM-FORMING STRUCTURE ON WORK AND FILM-FORMING METHOD ON WORK

Номер патента: US20160362792A1. Автор: Yoshida Hideo,SUYAMA Yasuhiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-15.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200340111A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,Kikuchi Yasuaki,Obara Kazuteru,Kusajima Ryuji. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-29.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150368802A1. Автор: MORISHIMA Masato,YAMADA Kazuki,Ouchi Kenji,KATOU Taiki. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-24.

FILM FORMING METHOD, STORAGE MEDIUM, AND FILM FORMING SYSTEM

Номер патента: US20180361428A1. Автор: Yoshida Yuichi,Yoshihara Kousuke,Shibata Naoki,Yoshihara Kentaro. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-20.

METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120003842A1. Автор: Tanaka Yoshinobu,Ueda Hirokazu,Ohsawa Yusuke. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

OPTICAL MODULATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120003767A1. Автор: . Владелец: NEC Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

Номер патента: US20120001255A1. Автор: PARK JIN WON. Владелец: HYNIX SEMICONDUCTOR INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20120164327A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-06-28.

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING OF SAME

Номер патента: US20120001321A1. Автор: IMAMURA Tomomi,Natsuda Tetsuo,Nishijo Yoshinosuke. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

Film forming device, film modification device, film forming method and film modification method

Номер патента: TW345687B. Автор: Masahito Sugiura,Hiroshi Kamiriki. Владелец: Tokyo Electron Co Ltd. Дата публикации: 1998-11-21.

Film forming method, multilayer film reflector manufacturing method, and film forming device

Номер патента: AU2002233737A1. Автор: Noriaki Kandaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-10-08.

ANNEALED WAFER, METHOD FOR PRODUCING ANNEALED WAFER AND METHOD FOR FABRICATING DEVICE

Номер патента: US20120001301A1. Автор: Ebara Koji,KIKUCHI Hiroyasu,Hayamizu Yoshinori. Владелец: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD OF OBTAINING CONVERTER OF VACUUM ULTRAVIOLET RADIATION INTO VISIBLE RANGE RADIATION IN FORM OF AMORPHOUS SILICON OXIDE SiOX FILM ON SILICON SUBSTRATE

Номер патента: RU2534173C2. Автор: Всеволод Семенович Кортов,Анатолий Федорович Зацепин,Евгений Александрович Бунтов. Владелец: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина". Дата публикации: 2014-11-27.

Thin film forming method and thin film forming device

Номер патента: AU2002315775A1. Автор: Yasushi Ohbayashi. Владелец: Hamamatsu Photonics KK. Дата публикации: 2003-01-21.

Method for producing film-forming composition, film-forming composition, film-forming method, and silica-based film

Номер патента: JP4483015B2. Автор: 公一 長谷川,英治 林,榮秀 徐. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2010-06-16.

Film forming method for forming protective film on copper surface

Номер патента: TW200728067A. Автор: zhong-jie Chen. Владелец: Nano Tech Chemical & System Ltd. Дата публикации: 2007-08-01.

Film forming apparatus, film forming method, program for causing film forming apparatus to execute film forming method, and computer-readable storage medium storing the same

Номер патента: JP5276386B2. Автор: 寿 加藤,学 本間,一輝 小原. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-08-28.

Film depositing method, film forming method, method of forming film depositing device, film forming device, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic appratus

Номер патента: JP2007019131A. Автор: 亮介 山▲崎▼,Ryosuke Yamazaki. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2007-01-25.

SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACATURING METHOD AND SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20120034754A1. Автор: Sekine Katsuyuki,NAKAZAWA Keisuke,Nakao Takashi,Kai Tetsuya,HOSHI Takeshi,MATSUO Shogo,Kato Ryu,Iwasawa Kazuaki. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-02-09.

Method for producing organosilicon polymer, film forming composition, film forming method, and silica film

Номер патента: JP3705122B2. Автор: 通則 西川,欣司 山田,淳司 川井,靖健 井上. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2005-10-12.

Method for improving film uniformity in film forming apparatus and film forming method

Номер патента: JP4068783B2. Автор: 雄一 山本,博継 鎌本,昌 新城,秀一 米村. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-03-26.

METHOD OF CLEANING A THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120015525A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-19.

METHOD OF CLEANING FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120251723A1. Автор: Kishimoto Katsushi,Isshiki Kazuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2012-10-04.

Conductive barrier film forming material, conductive barrier film forming method, and wiring film forming method

Номер патента: JP3862900B2. Автор: 英明 町田,茂樹 日色,淑恵 鈴木,麻子 星野. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2006-12-27.

Radiation-sensitive resin composition and silicon oxide film forming method

Номер патента: JP3633987B2. Автор: 美和 坂田. Владелец: Oki Electric Industry Co Ltd. Дата публикации: 2005-03-30.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5554469B2. Автор: 充弘 岡田,大和 戸根川,聡 高木,亮 孫,正彦 冨田. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-07-23.

Silicon oxide film forming method

Номер патента: JP2801604B2. Автор: 晴雄 岡野,禎久 野口. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1998-09-21.

Conductive barrier film forming material, conductive barrier film forming method, and wiring film forming method

Номер патента: JP5170589B2. Автор: 英明 町田,茂樹 日色,淑恵 鈴木,麻子 星野. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2013-03-27.

Conductive barrier film forming material, conductive barrier film forming method, and wiring film forming method

Номер патента: JP4666339B2. Автор: 英明 町田,茂樹 日色,淑恵 鈴木,麻子 星野. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2011-04-06.

Film-forming device, film-forming method of thin-film film, and manufacturing method of organic EL display device

Номер патента: JP6754474B2. Автор: 克彦 岸本,崎尾　進,進 崎尾,秀謙 尾方. Владелец: Sakai Display Products Corp. Дата публикации: 2020-09-09.

System for manufacturing quartz oscillator, film forming device, method for manufacturing the quartz oscillator, and film forming method

Номер патента: JP2010101852A. Автор: Yusuke Muraoka,祐介 村岡,健吾 藤原,Kengo Fujiwara,Hideji Hirohama,秀次 廣濱. Владелец: Seems Inc. Дата публикации: 2010-05-06.

Spatter device and spatter film forming method

Номер патента: AU2002230162A1. Автор: Eiji Shidoji,Tomohiro Yamada,Eiichi Ando,Takahiro Mashimo. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2002-08-19.

Filament and film forming method and apparatus

Номер патента: CA416123A. Автор: Worthington Hood. Владелец: Canadian Industries Ltd. Дата публикации: 1943-11-02.

Polarizing film forming method

Номер патента: TWI363187B. Автор: Yu Hong CHEN,Meng Chia Cheng,Hung Chieh Chen. Владелец: BenQ Materials Corp. Дата публикации: 2012-05-01.

Film forming method

Номер патента: JPS5379953A. Автор: Kouji Ootake. Владелец: Toppan Printing Co Ltd. Дата публикации: 1978-07-14.

Polarizing film forming method

Номер патента: TW200928421A. Автор: Hung-Chieh Chen,Meng-Chia CHENG,Yu-Hong Chen. Владелец: Daxon Technology Inc. Дата публикации: 2009-07-01.

FILM-FORMING INK, FILM-FORMING METHOD, LIQUID DROPLET DISCHARGING DEVICE, METHOD FOR PREPARING LIGHT-EMITTING ELEMENT, LIGHT-EMITTING ELEMENT, LIGHT-EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS

Номер патента: US20120049172A1. Автор: Goto Masashi,WATANABE Shotaro. Владелец: SEIKO EPSON CORPORATION. Дата публикации: 2012-03-01.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120094483A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-04-19.

The film-forming method of producing an inorganic protective film on the metal surface

Номер патента: TW200632013A. Автор: zhong-jie Chen. Владелец: Nano Tech Chemical & System Ltd. Дата публикации: 2006-09-16.

Film forming method, multilayer film reflector manufacturing method, and film forming device

Номер патента: EP1380669A1. Автор: Noriaki Kandaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2004-01-14.

THIN-FILM FORMING APPARATUS, THIN-FILM FORMING METHOD, PIEZOELECTRIC-ELEMENT FORMING METHOD, DROPLET DISCHARGING HEAD, AND INK-JET RECORDING APPARATUS

Номер патента: US20120026249A1. Автор: Machida Osamu,Tashiro Ryoh,Yagi Masahiro,Akiyama Yoshikazu,Kihira Takakazu. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-02.

CONDUCTIVE FILM FORMING METHOD, CONDUCTIVE FILM FORMING APPARATUS AND CONDUCTIVE FILM

Номер патента: US20120070621A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-03-22.

PBNZT FERROELECTRIC FILM, SOL-GEL SOLUTION, FILM FORMING METHOD AND METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC FILM

Номер патента: US20130022839A1. Автор: Kijima Takeshi,Honda Yuuji. Владелец: . Дата публикации: 2013-01-24.

Metal compound film, film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5043464B2. Автор: 祐史 長谷川,佳史 大村,真人 奥村,真 瀧. Владелец: Onward Giken Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-10.

Coating film, film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4759258B2. Автор: 隆行 高萩,弘之 坂上,正三 新宮原,昌彦 内山,秀俊 本宮,由久 渡部. Владелец: Rorze Corp. Дата публикации: 2011-08-31.

Dielectric film forming composition, dielectric film forming method and dielectric film

Номер патента: CN103193477A. Автор: 藤井顺,樱井英章,曽山信幸. Владелец: Mitsubishi Materials Corp. Дата публикации: 2013-07-10.

Forming method of epitaxial film, thin film forming method using the same and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: JP2006080486A. Автор: Jae-Young Park,Jong Wook Lee,Yu-Gyun Shin,裕均 申,栽永 朴,鍾▲ウー▼ 李,Cha Dong Yeo,次東 呂,Yong Hoon Son,龍勳 孫. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2006-03-23.

Cu wiring forming method, Cu film forming method, and film forming system

Номер патента: JP5767570B2. Автор: 敦 横山,正道 原,健二 鈴木,忠大 石坂,宏至 戸島,達夫 波多野,淳 五味,佐久間　隆,隆 佐久間,寧 水澤,千晃 安室,鈴木　健二,石坂　忠大,五味　淳,多佳良 加藤,横山　敦,波多野　達夫,原　正道. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-19.

Film forming apparatus, film forming method, magnetic recording medium manufacturing method, and magnetic recording apparatus manufacturing method

Номер патента: JP4983595B2. Автор: 司 井谷. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2012-07-25.

Resist underlayer film forming composition, resist underlayer film forming method, and pattern forming method

Номер патента: JP5257009B2. Автор: 信也 峯岸,光央 佐藤,洋助 今野. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2013-08-07.

Film forming composition, film forming method and film

Номер патента: JP3906916B2. Автор: 淳 塩田,公一 長谷川,将宏 秋山,英治 林. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2007-04-18.

Insulating film forming composition, insulating film forming method, and silica-based film

Номер патента: JP4840547B2. Автор: 通則 西川,欣司 山田,英治 林. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2011-12-21.

Inflation film forming apparatus, film forming method, and thermoplastic liquid crystal polymer film

Номер патента: JP4060983B2. Автор: 敏昭 佐藤,淳夫 吉川,善喜 田中. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2008-03-12.

Composition for forming ferroelectric film, forming method of ferroelectric film and ferroelectric film

Номер патента: CN102219507B. Автор: 藤井顺,曽山信幸,桜井英章. Владелец: Mitsubishi Materials Corp. Дата публикации: 2014-12-03.

Optical thin film forming apparatus equipped with film thickness measuring device and optical thin film forming method

Номер патента: JP4547489B2. Автор: 清 細川,修 白井,和弘 高木,敏夫 笠原,義昭 野村. Владелец: 株式会社昭和真空. Дата публикации: 2010-09-22.

CARBON FILM FORMING METHOD, MAGNETIC-RECORDING-MEDIUM MANUFACTURING METHOD, AND CARBON FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120128895A1. Автор: . Владелец: SHOWA DENKO HD SINGAPORE PTE. LTD.. Дата публикации: 2012-05-24.

FILM FORMING METHOD, RESPUTTERING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120247949A1. Автор: Hayashi Shiro,Sakuma Takashi,ISHIZAKA Tadahiro,TOSHIMA Hiroyuki,HATANO Tatsuo,FUJISATO Toshiaki,YOKOHARA Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2012-10-04.

Thin film forming device, thin film forming method and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: JP2005079302A. Автор: HIROSHI Yoshioka,寛 吉岡. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2005-03-24.

ORGANIC EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS, ITS MANUFACTURING METHOD, FILM-FORMING APPARATUS, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: JP4951712B2. Автор: 賢治 弓場,信広 韮沢,幹夫 浅田,雅 若林,行雄 落合. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-06-13.

Thin film forming apparatus cleaning method and thin film forming method

Номер патента: JP5197554B2. Автор: 一秀 長谷部,充弘 岡田,淳 小川,貴司 千葉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-15.

Film forming ink, film forming method, and light emitting element manufacturing method

Номер патента: JP6106917B2. Автор: 宏志 瀧口,昭太朗 渡辺. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-04-05.

Spherical thermosetting powder clear paint particles, method for producing spherical thermosetting powder clear paint particles, multi-layer coating film forming method, and multi-layer coating film obtained therefrom

Номер патента: JP4462675B2. Автор: 豊 原田,晴彦 佐藤,敦司 山田. Владелец: Nippon Paint Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2010-05-12.

Silicon film, silicon film forming method, and gate electrode forming method

Номер патента: JP3809106B2. Автор: 正幸 橋本,暢男 東海. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2006-08-16.

Plasma film forming device, plasma film forming method, method of manufacturing semiconductor device, liquid crystal display device, and organic el element

Номер патента: JP2005093737A. Автор: Hiroaki Tanaka,Tadahiro Omi,忠弘 大見,宏明 田中,Tetsuya Goto,哲也 後藤,章伸 寺本,Akinobu Teramoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2005-04-07.

ITO film forming method and SiOx film forming method

Номер патента: JP3958871B2. Автор: 本 要 司 岩,東 良 一 大. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2007-08-15.

Magnetic film forming method, magnetic film forming apparatus, and magnetic recording disk manufacturing method

Номер патента: JP4502160B2. Автор: 直樹 渡辺,徹哉 遠藤,美保 坂井. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2010-07-14.

Film forming ink, film forming method, and light emitting element manufacturing method

Номер патента: JP6078947B2. Автор: 宏志 瀧口,昭太朗 渡辺. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2017-02-15.

Superconducting thin film forming method, heater unit used in the method, and superconducting thin film forming apparatus

Номер патента: JP2937187B1. Автор: 伸義 榊原,昌廣 川村,博紀 星崎. Владелец: 株式会社移動体通信先端技術研究所. Дата публикации: 1999-08-23.

Film forming apparatus, film forming method, and cleaning method

Номер патента: JP7191558B2. Автор: 伸幸 加藤,和広 本田,正信 畠中,貴一 山田,建昌 李,和広 園田. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2022-12-19.

Thin film forming apparatus, thin film forming method, and display panel manufacturing method

Номер патента: JP4304954B2. Автор: 信一郎 金子,竜一 八浪,英樹 丸山,哲 宮西. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2009-07-29.

Deposited film forming apparatus, deposited film forming method, and electrophotographic photoreceptor manufacturing method

Номер патента: JP4827608B2. Автор: 寿康 白砂,誠 青木,康夫 小島. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-11-30.

Resist film forming method by spray coating, and resist film forming device by using the method

Номер патента: JP2003236799A. Автор: Kazuhiro Hane,Minoru Sasaki,佐々木　　実,羽根一博. Владелец: HANE Kazuhiro. Дата публикации: 2003-08-26.

THIN FILM FORMING DEVICE AND THIN FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20120009349A1. Автор: Shimada Takashi,Yamamoto Masahiro,SHIBUTANI Satoshi,HONDA Kazuyoshi,Kamiyama Yuma,SHINOKAWA Yasuharu. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-12.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20120064349A1. Автор: Sato Tsuyoshi,Ooshiro Kenichi. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-03-15.

FILM FORMING APPARATUS, WAFER HOLDER, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20120067274A1. Автор: Hara Daisuke,HIROCHI Yukitomo,MUROBAYASHI Masaki,SHIMURA Kazuhiro. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.. Дата публикации: 2012-03-22.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20120070577A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,ITO Hideki,DEURA Kaori,HIGASHI Shinya. Владелец: . Дата публикации: 2012-03-22.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20120088030A1. Автор: KATO Hitoshi,TAKEUCHI Yasushi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-04-12.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120115257A1. Автор: Wada Takehito,MATSUYAMA Hideaki. Владелец: FUJI ELECTRIC CO., LTD.. Дата публикации: 2012-05-10.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120118725A1. Автор: . Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2012-05-17.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120171365A1. Автор: Kojima Yasuhiko,AZUMO Shuji. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-07-05.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20120199471A1. Автор: . Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-08-09.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120244721A1. Автор: HIROTA Toshiyuki,AKIYAMA Koji,HISHIYA Shingo,MOROZUMI Yuichiro,Kiyomura Takakazu,SUGAWARA Takuya. Владелец: . Дата публикации: 2012-09-27.

RUTHENIUM FILM-FORMING MATERIAL AND RUTHENIUM FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20120282414A1. Автор: Sakai Tatsuya,Nishimura Hideki,Saito Ryuichi,CHUNG Kang-go. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2012-11-08.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20120325138A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-12-27.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130017328A1. Автор: Itoh Hitoshi,Sato Hiroshi,Miyoshi Hidenori. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-01-17.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130084390A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,SATO Yuusuke. Владелец: . Дата публикации: 2013-04-04.

THIN FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130084693A1. Автор: Endo Atsushi,Takagi Satoshi,KAKIMOTO Akinobu,NAKAJIMA Shigeru,Igarashi Kazumasa,MIYAHARA Takahiro. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-04-04.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130104800A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,SATO Yuusuke,Moriyama Yoshikazu. Владелец: NUFLARE TECHNOLOGY, INC. Дата публикации: 2013-05-02.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.