Film Forming Method and Film Forming Apparatus
Номер патента: US20200308696A1
Опубликовано: 01-10-2020
Автор(ы): FUJITA Keisuke, KANEMURA Rui, KUMAGAI Keita, TAKEZAWA Yoshihiro
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-10-2020
Автор(ы): FUJITA Keisuke, KANEMURA Rui, KUMAGAI Keita, TAKEZAWA Yoshihiro
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film forming method and film forming device
Номер патента: US09777377B2. Автор: Hajime Yamanaka,Shigeyuki Okura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.